Profile simulations of gas chopping etching processes : model development and comparison with experiments

The progress in microsystem technology or nano technology places extended requirements to the fabrication processes. The trend is moving towards structuring within the nanometer scale on the one hand, and towards fabrication of structures with high aspect ratio (ratio of vertical vs. lateral dimensions) and large depths in the 100 µm scale on the other hand. Current procedures for the microstructuring of silicon are wet chemical etching and dry or plasma etching. A modern plasma etching technique for the structuring of silicon is the so-called "gas chopping" etching technique (also called "time-multiplexed etching"). In this etching technique, passivation cycles, which prevent lateral underetching of sidewalls, and etching cycles, which etch preferably in the vertical direction because of the sidewall passivation, are constantly alternated during the complete etching process. To do this, a CHF3/CH4 plasma, which generates CF monomeres is employed during the passivation cycle, and a SF6/Ar, which generates fluorine radicals and ions plasma is employed during the etching cycle. Depending on the requirements on the etched profile, the durations of the individual passivation and etching cycles are in the range of a few seconds up to several minutes. The profiles achieved with this etching process crucially depend on the flow of reactants, i.e. CF monomeres during the passivation cycle, and ions and fluorine radicals during the etching cycle, to the bottom of the profile, especially for profiles with high aspect ratio. With regard to the predictability of the etching processes, knowledge of the fundamental effects taking place during a gas chopping etching process, and their impact onto the resulting profile is required. For this purpose in the context of this work, a model for the description of the profile evolution of such etching processes is proposed, which considers the reactions (etching or deposition) at the sample surface on a phenomenological basis. Furthermore, the reactant transport inside the etching trench is modelled, based on angular distribution functions and on absorption probabilities at the sidewalls and bottom of the trench. A comparison of the simulated profiles with corresponding experimental profiles reveals that the proposed model reproduces the experimental profiles, if the angular distribution functions and absorption probabilities employed in the model is in agreement with data found in the literature. Therefor the model developed in the context of this work is an adequate description of the effects taking place during a gas chopping plasma etching process.

Practice english and music with songs and games

Cuaderno de trabajo dirigido a alumnos de Ense??anza Primaria que puede ser utilizado como material de apoyo y complementario. Se presenta un total de 22 unidades organizadas en dos partes: la primera presenta la canci??n o rima y la segunda una partitura con la melod??a. Se incluye un cap??tulo dedicado a la autoevaluaci??n con un total de 100 preguntas y otro dedicado al vocabulario. Se complementa este trabajo con un CD cuyo objetivo es combinar el aprendizaje y la pr??ctica del idioma ingl??s con el uso de las nuevas tecnolog??as.

Cybergrooming : Risk factors, coping strategies and associations with cyberbullying

Resumen tomado de la publicaci??n

Global and dominance with concentric hierarchical stimuli and orientation classification task. 'Dominancia global y local con est??mulos conc??ntricos y tareas de clasificaci??n de la orientaci??n'

Resumen tomado de la publicaci??n. Resumen tambi??n en ingl??s

Lupus nephritis in colombians: Contrasts and comparisons with other populations

Lupus nephritis (LN) is one of the most serious complications of systemic lupus erythematosus (SLE) since it is the major predictor of poor prognosis. The purpose of this study was to examine the clinical and immunological characteristics associated with LN development during the course of SLE in Colombians. Therefore, patients with SLE followed at five different referral centers in Medellin, Bogota, and Cali were included in this cross-sectional and multicenter study. Factors influencing LN were assessed by conditional logistic regression analysis, adjusting by gender, age at onset, duration of disease, and city of origin. The entire sample population included 467 patients, of whom 51% presented with LN. The presence of anti-dsDNA antibodies (adjusted odds ratio (AOR), 2.06; 95% confidence interval (CI), 1.16–3.65), pleuritis (AOR, 3.82; 95% CI, 1.38–10.54), and hypertension (AOR, 2.63; 95% CI, 1.23–5.62) were positively associated with LN, whereas the presence of anti-La antibodies was a protective factor against LN development (AOR, 0.4; 95% CI, 0.19–0.85). A review of literature on LN in different populations is made. The identified clinical- and laboratory-associated factors would assist earlier diagnosis and guide decisions on therapeutic interventions on this critical and frequent complication of SLE.

Learn and sing with us. 'Aprende y canta con nosotros'.

Con la ayuda de una serie de tres CD, cuyo título es Learn and with us, los niños de 3 a 5 años aprenden inglés a través canciones tradicionales. El objetivo es que los pequeños se diviertan cantando y bailando al tiempo que se van familiarizando con la lengua. El equipo educativo de la escuela recopila y selecciona canciones que son adaptadas a ritmos modernos (reagge, rock, rap, etc.) para que los niños adquieran la comprensión y el nivel comunicativo necesarios para el aprendizaje del inglés.

Food and drink, with over 50 reusable stickers.

Los niños en edad preescolar aprenden a conocer algunos alimentos y bebidas tanto calientes como frías. También aprenden a preparar algunos platos de cocina como una tarta, con el nombre de sus ingredientes y de algunos utensilios de cocina. Las pegatinas reutilizables les sirven para repetir actividades y mejorar en el aprendizaje.

Mix and match, with over 50 reusable stickers.

Se enseña a los niños las diferencias entre los conceptos de mezclar y combinar objetos, también les aparecen en las ilustraciones las distinciones entre pares de objetos y objetos complementarios, así como, disfraces de cuentos de hadas. Los adhesivos reutilizables les ayudan a practicar las actividades repetidas veces y aprender jugando.

Conflicts. 15 masterpieces of struggle and conflict : with exercises to make you think.

Contiene quince historias de alta calidad literaria con distintos niveles de lectura. Los ejercicios han sido especialmente diseñados para animar a: pensar, contar acerca de la historia, manejar las nuevas palabras de vocabulario, identificar los elementos narrativos, saber leer críticamente.

Learning and teaching with maps.

El rápido crecimiento de mapas en internet, atlas digitales y Sistemas de Información Geográfica (SIG) exige nuevas habilidades, junto con las tradicionales como la localización de lugares utilizando un mapa. Este recurso explica a los niños y a los jóvenes cómo leer, comprender e interpretar los mapas y a los profesores la manera más eficaz de enseñar con los mapas. Presta especial atención a la forma de aprendizaje con este material que puede contribuir al desarrollo cognitivo y a desarrollar habilidades en aritmética. Describe cómo los profesores pueden planificar un programa de estudios y sugiere actividades para los alumnos desde la escuela primaria a la secundaria. Incluye todos los aspectos del uso de mapas, que abarca todas las modalidades, incluidas los globos y atlas. El texto está ampliamente ilustrado con ejemplos, incluyendo los mapas realizados por los propios niños con materiales convencionales, así como programas informáticos. Una característica particular de este recurso es la integración de mapas digitales y convencionales, de internet adecuados a las necesidades de educación primaria y secundaria. Tiene apéndice con web de organizaciones y recursos citados en el texto, bibliografía e índice alfabético.

Art and crafts with children.

Proporciona a los niños una manera de aprender el lenguaje al mismo tiempo que desarrollan habilidades creativas y toman conciencia del mundo que hay a su alrededor. Tiene actividades creativas e imaginativas, que no requieren muchos recursos y no necesitan experiencia artística especial por parte del profesor.

Unlocking learning and teaching with ICT : identifying and overcoming barriers.

En primer lugar, identifica las barreras que aún existen para la integración con éxito de las tecnologías de la información y la comunicación (TIC) en las escuelas, así como propone métodos y estrategias para su superación. También, muestra cómo la utilización de estas tecnologías ayuda a los niños a aprender y a mejorar sus capacidades.

Creating critical classrooms : K-8 reading and writing with an edge.

Libro dirigido a profesores y cursos de métodos de alfabetización. Propone un modelo para la enseñanza de la alfabetización crítica con ejemplos y prácticas que pueden realizarse en el día a día de la escuela primaria o secundaria. Los materiales que presenta permiten a los estudiantes utilizar el lenguaje para cuestionar el mundo en su vida diaria, investigar la relación entre lenguaje y poder, analizar la cultura popular, entender cómo las relaciones fuertes están construidas socialmente, y considerar las acciones a realizar para conseguir una justicia social.

Learning English and music with song and games : five potatoes, six potatoes. 'Aprendiendo inglés y música con canciones y juegos : cinco patatas, seis patatas'.

Premios Nacionales 1999 a la Innovación Educativa. Anexo Memoria en C-Innov.63. En memoria descriptiva aparece bajo el título de: Incidencia de las canciones en el aprendizaje del inglés y en la aproximación a su cultura : creación de un libro y un CDROM para la educación primaria

Personal self-concept and satisfaction with life in adolescence, youth and adulthood

Resumen tomado de la publicaci??n