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Analyse des processus de dérive lors de la gravure profonde du silicium dans des plasmas SF6 et C4F8
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L’objectif de ce mémoire de maîtrise est de développer des outils de diagnostics non-invasifs et de caractériser in-situ les dérives de procédé dans un réacteur industriel utilisé en production pour la gravure profonde du silicium par le procédé Bosch. Ce dernier repose sur l’alternance d’un plasma de SF6 pour la gravure isotrope du Si et d’un plasma de C4F8 pour la passivation des parois dans l’optique d’obtenir des tranchées profondes et étroites. Dans un premier temps, nous avons installé une sonde courant-tension sur la ligne de transmission du signal rf au porte-substrat pour l’étude de son impédance caractéristique et un spectromètre optique pour l’étude de l’émission optique du plasma. Nos travaux ont montré que l’évolution temporelle de l’impédance constitue un excellent moyen pour identifier des changements dans la dynamique du procédé, notamment une gravure complète de la photorésine. De plus, à partir des spectres d’émission, nous avons pu montrer que des produits carbonés sont libérés du substrat et des parois lors de l’alternance passivation/gravure et que ceux-ci modifient considérablement la concentration de fluor atomique dans le plasma. Dans un second temps, nous avons développé un réacteur à « substrat-tournant » pour l’analyse in-situ des interactions plasma-parois dans le procédé Bosch. Nos travaux sur ce réacteur visaient à caractériser par spectrométrie de masse l’évolution temporelle des populations de neutres réactifs et d’ions positifs. Dans les conditions opératoires étudiées, le SF6 se dissocie à près de 45% alors que le degré de dissociation du C4F8 atteint 70%. Le SF6 est avant tout dissocié en F et SF3 et l’ion dominant est le SF3+ alors que le C4F8 est fragmenté en CF, CF3 et CF4 et nous mesurons plusieurs ions significatifs. Dans les deux cas, la chaîne de dissociation demeure loin d’être complète. Nous avons noté une désorption importante des parois de CF4 lors du passage du cycle de passivation au cycle de gravure. Un modèle d’interactions plasmas-parois est proposé pour expliquer cette observation.
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Le motif imidazole, un hétérocycle à 5 atomes contenant 2 atomes d’azote et trois atomes de carbone, présente des propriétés physico-chimiques intéressantes qui en font un composé de choix pour plusieurs applications. Parmi ces propriétés, la fonctionnalisation simple des deux atomes d’azote pour former un sel d’imidazolium est très intéressante. Ces sels sont d’excellents précurseurs de carbènes N-hétérocycliques (NHC) et sont couramment utilisés pour synthétiser des ligands en vue d’une utilisation en catalyse organométallique. D’autre part, cette famille de composés possède des propriétés anionophores permettant une utilisation en transport anionique. Le présent travail contient les résultats de travaux concernant ces deux domaines, soit la catalyse et le transport anionique. Dans un premier temps, les propriétés de dérivés de l’imidazole sont exploitées pour former un catalyseur de type palladium-NHC qui est utilisé pour catalyser la réaction de Suzuki-Miyaura en milieu aqueux. L’efficacité de ce catalyseur a été démontrée en utilisant aussi peu que 0,001 mol% pour un rendement quantitatif. Il s’agit de la première occurrence d’un processus hétérogène et recyclable dans l’eau, utilisant un catalyseur de type Pd-NHC et qui ne nécessite aucun additif ou co-solvant. Le recyclage a été prouvé jusqu’à 10 cycles sans diminution apparente de l’activité du catalyseur. Dans un second temps, plusieurs sels d’imidazolium ont été testés en tant que transporteurs transmembranaires d’anions chlorures. Les propriétés intrinsèques des sels utilisés qui en font des transporteurs efficaces ont été élucidées. Ainsi, les paramètres qui semblent affecter le plus le transport anionique sont le changement du contre-anion du sel d’imidazolium de même que la propension de ce dernier à s’auto-assembler via une succession d’empilements-π. De plus, les propriétés du transport ont été élucidées, montrant la formation de canaux transmembranaires qui permettent non-seulement la diffusion d’ions Cl-, mais aussi le transport de protons et d’ions Ca2+. L’intérêt de cette recherche repose d’abord dans le traitement de diverses pathologies voyant leur origine dans le dysfonctionnement du transport anionique. Cependant, les propriétés bactéricides des sels d’imidazolium utilisés ont été identifiées lors des dernières expériences.
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Essai doctoral présenté à la Faculté des Arts et des Sciences Humaines en vue de l'obtention du grade de doctorat en psychologie clinique (D.Psy)
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Dans le cadre du cours PHT-6113 Travail dirigé
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Travail dirigé présenté à la Faculté des sciences infirmières en vue de l’obtention du grade de Maître ès sciences (M.Sc.) en sciences infirmières option administration des services infirmiers
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Travail dirigé présenté à la Faculté des études supérieures et postdoctorales en vue de l’obtention du grade de Maître ès sciences (M. Sc.) en sciences infirmières Option Expertise-Conseil
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Rapport de stage présenté à la Faculté des sciences infirmières en vue de l'obtention du grade de Maître ès sciences (M.Sc.) en sciences infirmières option formation
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Context and objectives. While 11% of all drivers are aged between 16 and 24, they represent 20% of all fatally injured drivers on the road network of the Province of Quebec. In collaboration with the Sûreté du Québec (SQ), this study seeks to: (1) offer a detailed description of the process (script) leading to fatal collisions involving young drivers; and (2) to recommend prevention measures. Methodology. The script perspective was used to relate the process leading to a fatal collision. The script perspective accounts for all steps that lead to the collision by focusing on: (1) all parties (the driver, friends, parents) and their actions; (2) contexts; and (3) environments. Data were collected from collision and investigation files (n=179). Descriptive and comparative analyses were then conducted to construct the script(s). Results. Results show that fatal collision scripts for 16-29 are different from scripts involving drivers of other age categories (30-59 year-old and 60 year-old and over). The typical script involves a young driver using his car to take part in leisure or festive activities. The latest often occur in a private residence, a bar or a restaurant. On site, young drivers frequently consume psychoactive substances (between 21 and 63.5% of them according to the scene of the script) and are accompanied by friends (between 18.4 and 73.9% according to the scene of the script). Friends often encourage drivers to have alcohol and/or drugs, and to adopt reckless behaviours (speeding and drinking-and-driving are respectively involved in 29.9 and 28.6% of fatal collisions). Conclusion and implications for prevention. Results suggest that fatal collisions involving young drivers could be avoided by encouraging prevention measures aimed at: (1) separating drinking and driving; (2) limiting access to alcohol and peer pressure; (3) raising awareness among potential guardians (e.g. responsible waiters, friends); and (4) increasing arrest risk.
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Depuis le début du nouveau millénaire, le cinéma s’est vu envahi par une pratique qui n’avait jamais atteint une telle ampleur : le remake. Lorsque comparée à son film source, la nouvelle version est à tout coup semblable, mais différente à la fois; ont-ils plus de points en commun qu’ils en ont avec les films de leurs époques respectives? En utilisant cette vague de remakes des années 2000, la présente étude propose une analyse comparative afin de démontrer l’évolution de la représentation du mal et de la violence retrouvée dans les remakes d’horreur de type slashers. En guise de première partie, ce mémoire débute avec l’élaboration de la fonction du genre ainsi que celle du remake. Puis, un second chapitre est dédié à la constitution des premiers cycles des slashers afin de comprendre le cheminement du sous-genre. L’étude se conclut par la comparaison de ces informations avec les résultats de l’analyse des remakes de slashers.
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Travail dirigé présenté à la Faculté des sciences infirmières en vue de l’obtention du grade de Maître ès sciences (M.Sc.) en sciences infirmières option formation des sciences infirmières
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Essai doctoral présenté à la Faculté des études supérieures en vue de l’obtention du grade de Docteur en psychologie (D.Psy.), option clinique
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Rapport de stage présenté à la Faculté des études supérieures en vue de l'obtention du grade de Maitre ès sciences (M.Sc.) en criminologie option intervention
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Travail dirigé présenté à la Faculté des sciences infirmières en vue de l’obtention du grade de Maître ès sciences (M. Sc.) en sciences infirmières option administration des services infirmiers
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Travail dirigé présenté à la Faculté des études supérieures et postdoctorales en vue de l’obtention du grade de Maîtrise ès sciences (M.Sc.) option Administration des services infirmiers
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Rapport de stage présenté à la Faculté des études supérieures en vue de l’obtention du grade de Maitrise en criminologie, option intervention