Electrochemical RNA genosensors for toxic algal species: enhancing selectivity and sensitivity

Harmful algal blooms (HABs) are becoming more frequent as climate changes, with tropical species moving northward. Monitoring programs detecting the presence of toxic algae before they bloom are of paramount importance to protect aquatic ecosystems, aquaculture, human health and local economies. Rapid and reliable species identification methods using molecular barcodes coupled to biosensor detection tools have received increasing attention over the past decade as an alternative to the impractical standard microscopic counting-based techniques. This work reports on a PCR amplification-free electrochemical genosensor for the enhanced selective and sensitive detection of RNA from multiple Mediterranean toxic algal species. For a sandwich hybridization (SHA), we designed longer capture and signal probes for more specific target discrimination against a single base-pair mismatch from closely related species and for reproducible signals. We optimized experimental conditions, viz., minimal probe concentration in the SHA on a screen-printed gold electrode and selected the best electrochemical mediator. Probes from 13 Mediterranean dinoflagellate species were tested under optimized conditions and the format further tested for quantification of RNA from environmental samples. We not only enhanced the selectivity and sensitivity of the state-of-the-art toxic algal genosensors but also increased the repertoire of toxic algal biosensors in the Mediterranean, towards an integral and automatic monitoring system.

Electrochemical RNA genosensors for toxic algal species: enhancing selectivity and sensitivity

Harmful algal blooms (HABs) are becoming more frequent as climate changes, with tropical species moving northward. Monitoring programs detecting the presence of toxic algae before they bloom are of paramount importance to protect aquatic ecosystems, aquaculture, human health and local economies. Rapid and reliable species identification methods using molecular barcodes coupled to biosensor detection tools have received increasing attention over the past decade as an alternative to the impractical standard microscopic counting-based techniques. This work reports on a PCR amplification-free electrochemical genosensor for the enhanced selective and sensitive detection of RNA from multiple Mediterranean toxic algal species. For a sandwich hybridization (SHA), we designed longer capture and signal probes for more specific target discrimination against a single base-pair mismatch from closely related species and for reproducible signals. We optimized experimental conditions, viz., minimal probe concentration in the SHA on a screen-printed gold electrode and selected the best electrochemical mediator. Probes from 13 Mediterranean dinoflagellate species were tested under optimized conditions and the format further tested for quantification of RNA from environmental samples. We not only enhanced the selectivity and sensitivity of the state-of-the-art toxic algal genosensors but also increased the repertoire of toxic algal biosensors in the Mediterranean, towards an integral and automatic monitoring system.

2.2 eV luminescence in GaN

The yellow Luminescence in GaN centered at 2.2 eV has been studied in various epitaxial layers grown by MOVPE on sapphire and by the sandwich sublimation method on 6H-SiC substrates. The photoluminescence and optically detected magnetic resonance results can be consistently explained by a recombination model involving shallow donors and deep donors.

Studio di un'imbarcazione a motore dotato di foiling a geometria variabile

Il presente elaborato tratta la progettazione preliminare di un’imbarcazione dotata di foils a geometria variabile. In particolare, il progetto riguarda un’imbarcazione da turismo che, sfruttando l’utilizzo di appendici al di sotto dello scafo, emerga completamente dall’acqua permettendo l’abbattimento della resistenza e consentendo il raggiungimento di velocità elevate anche mediante una motorizzazione modesta. A questo scopo sono state esaminate alcune componenti al fine di raggiungere gli obbiettivi proposti. In primo luogo, è stata fatta un’analisi dei concorrenti per avere un confronto con altre realtà già presenti sul mercato. In seguito, è stata eseguita una stima fondamentale per ogni parte del progetto successiva. La riduzione del peso dell’imbarcazione consente alla stessa di raggiungere velocità più elevate. Per tale ragione sono state discussi due possibili modelli dell’imbarcazione ovvero una con lo scafo costituito completamente da carbonio, l’altro costituito da un sandwich di carbonio e termanto. In seguito si è analizzata l’analisi statica dell’imbarcazione per cercare di comprendere se i pesi stimati in precedenza consentissero al natante di avere un assetto corretto. Alla luce delle predette risultanze, si sono affrontate le tematiche più complesse: l’analisi della resistenza all’avanzamento e lo studio delle appendici che permettano il foiling. Per quanto attiene l’analisi della resistenza si sono dovuti considerare sia il caso di avanzamento in dislocamento e planata sia il caso di avanzamento in foiling. Per il raggiungimento del foiling è stato necessario dimensionare le ali da applicare all’imbarcazione. Innanzitutto è stata eseguita un’analisi idrodinamica e in seguito un’analisi dell’equilibrio dell’imbarcazione, considerando tutte le sollecitazioni applicate. Infine, sono stati generati dei layout possibili per i foils in modo che tutte le caratteristiche determinate precedentemente sulla base degli studi fossero rispettate.

Avaliação do ciclo de vida de um pavimento flutuante de cortiça

A consciencialização ambiental vem assumindo um papel preponderante na construção civil. Nesse sentido, o desenvolvimento de materiais sustentáveis e ecológicos é essencial para a satisfação de fabricantes e consumidores, respeitando diversos requisitos: níveis reduzidos de poluição e toxicidade, durabilidade dos materiais, possibilidade de reutilização e/ou reciclagem, a proveniência das matérias-primas e a possibilidade de contaminação do ar no interior dos edifícios. As declarações ambientais de produto (DAP) permitem informar o consumidor do desempenho ambiental dos materiais dos produtos. Assim, ao longo de todo o processo de fabrico são registados os consumos de recursos e emissões ambientais e, através da metodologia de avaliação de ciclo de vida, é quantificada a contribuição resultante para impactes ambientais. Esta dissertação visa analisar os possíveis impactes ambientais no decurso do processo de produção de um pavimento flutuante de cortiça, constituído por cortiça, High Density Fibreboard (HDF) e acabamento de superfície, denominado Artcomfort Floating NPC e elaborar de um relatório de suporte, que servirá de base para a DAP do pavimento Artcomfort Floating NPC do sistema do Institut Bauen und Umwelt (IBU). Esta dissertação inclui um relatório de fundo, para a avaliação do ciclo de vida do pavimento flutuante Artcomfort Floating NPC da empresa Amorim Revestimentos, que servirá de base para a elaboração da declaração ambiental de produto (DAP) do mesmo. Para tal, recorreu-se ao software SimaPro para análise dos impactes ambientais das várias fases do processo de fabrico do pavimento em estudo, sendo as fases consideradas, a produção da camada base de cortiça aglomerada, camada backing de cortiça aglomerada, montagem da sanduiche, placa pintada, placa acabada e corte e embalagem. A fase que tem maior contribuição para os impactes ambientais do processo de fabrico do produto, em todas as categorias de impacte analisadas, com exceção da depleção dos recursos abióticos sem combustíveis fósseis, foi a fase de montagem da sanduiche.

Qualitätssicherung zwischen Diversifizierung der Hochschulen und Vereinheitlichung von Standards. Beiträge zur 2. AQ Austria Jahrestagung 2014

Die Jahrestagung 2014 der AQ Austria widmete sich einerseits dem Spannungsfeld zunehmender Diversifizierung von Hochschulen und standardisierten Qualitätssicherungsverfahren andererseits. Im vorliegenden Jahrestagungsband finden sich neben dem Hauptvortrag des Basler Universitätsrektors Loprieno über die Herausforderungen der Diversifizierung für Qualität sowie der Qualitätskultur an Hochschulen auch internationale Beiträge als Antwort aus der Sicht von Qualitätssicherungsagenturen auf die Diversifizierung. Weitere Artikel zu Themen wie duale Studiengänge, Studierbarkeit, Berufungsverfahren sowie Forschungskultur und Qualitätskultur runden die Diskussion über Qualitätssicherung und Diversifizierung in der vorliegenden Publikation ab. Mit Beiträgen von: Loprieno, Antonio; Hanft, Anke; Pichl, Elmar; Jackson, Stephen; Lund, Øystein; Cox, Jeremy; Fink, Kerstin; Brandstätter, Ursula; Bischof, Horst; Gaberscik, Gerald; Janger, Jürgen; Kastner, Johann; Steiger, Anna; Wilhelm, Elena; Holzinger, Helmut; Esca-Scheuringer, Heidi; Kecht, Maria-Regina; Schulmeister, Rolf; Haas, Johannes.

Estudo das propriedades mecânicas de laminados com cortiça micro-aglomerada

Esta tese desenvolveu-se a partir de uma proposta de uma conceituada empresa portuguesa especializada em kayaks e consistiu em desenvolver um laminado de base natural e com núcleo de cortiça, capaz de se assemelhar em termos mecanicos aos de fibra de vidro e resina epóxi já utilizados. Após uma alargada pesquisa de materiais e fornecedores, procedeu-se ao fabrico de várias placas diferentes. Os materiais de base foram o núcleo de cortiça, peles em fibra de linho e bio-resina epóxi. De modo a avaliar as respostas mecânicas em regime estático e dinamico, foram realizados ensaios de flexão e impacto. As conclusões obtidas após exaustiva análise dos resultados permitem concluir que os laminados naturais podem oferecer propriedades mecânicas interessantes e quiça rivalizar com os seus concorrentes sintéticos, mantendo as óbvias vantagens em termos de responsabilidade ambiental. Ficam também directrizes para o caso de se pretender o fabrico de um protótipo utilizando estes materiais.

Sisältömarkkinoinnin johtaminen - Tapaustutkimus ravintola Olon ja ravintola Emon sisältömarkkinoinnista

Tämän tutkimuksen tarkoituksena oli tuottaa ymmärrystä siitä, miten sisältömarkkinointia, eli vetovoimaista markkinointia johdetaan. Tutkimuksessa pyrittiin myös vastaamaan kysymyksiin, kuten miten muodostetaan merkityksellinen sisältömarkkinointistrategia sekä mikä on sisältömarkkinoinnin ja perinteisen markkinoinnin suhde. Sisältömarkkinoinnin tutkiminen koettiin arvokkaaksi sekä ajankohtaiseksi aiheeksi, sillä sisältöön painotettu markkinointi on markkinoinnin osa-alue, joka on suhteellisen tuore, ja näin ollen käsitys siitä, mitä sisältömarkkinointi on, vakiinnuttaa vielä asemaansa. Tutkielma koostui teoriaosuudesta sekä empiriaosuudesta. Teoriaosuudessa luotiin käsitys siitä, miten tehokas sisältömarkkinointistrategia luodaan, sekä miten jatkuvaa, laadukasta sisältöä johdetaan. Teorian perusteella johdettiin viitekehys, jonka jälkeen toteutettiin sisältömarkkinointia koskeva empiirinen tutkimus. Tutkimuksessa suoritettiin tapaustutkimus, joka käsitteli kahden helsinkiläisen luksusravintolan sisältömarkkinointia. Tapaustutkimusta varten suoritettiin kolme teemahaastattelua sekä hyödynnettiin sekundääriaineistoa. Tavoitteena oli tuottaa yksityiskohtaista tietoa ravintoloiden sisältömarkkinoinnista. Tutkimuksen keskeisimmät tulokset osoittavat, että sisältömarkkinointi on hyvin laajaa taustatyötä vaativaa markkinointia, jonka lopputulos ei parhaimmillaan vaikuta kaupalliselta markkinoinnilta. Tutkimuksessa luotiin sisältömarkkinoinnille kolmivaiheinen malli, jonka avulla luodaan laadukas sisältömarkkinointistrategia. Teoriaan pohjautuen vaiheiksi määriteltiin kartoitus, analyysit ja prosessit. Ollakseen laadukasta, sisältöstrategian tulee sisältää vaiheiden lisäksi neljä elementtiä: tavoitteellisuus, mitattavuus, relevanttius ja jaettavuus. Sisältömarkkinoinnin luominen on näin ollen melko vaivaa vievää ja mekaanista, mutta lopputuloksen tulee vaikuttaa hyvin vaivattomalta. Tutkimuksen perusteella nykypäivänä sisältömarkkinoinnin uskotaan kasvattavan asemaansa markkinoinnin alalla, sillä digitalisaation myötä kuluttajalla on valta valita mitä sisältöä ja markkinointia kuluttaa.

Modélisation des structures sandwiches avec un amortissement viscoélastique intégré par une méthode hybride FEM-TMM

Cette thèse traite de la modélisation numérique de la réponse vibro-acoustique de structures sandwiches-composites avec matériaux viscoélastiques intégrés soumises à différents types d’excitations mécaniques et acoustiques. Dans une première phase, nous avons utilisé une approche de synthèse modale pour calculer les principaux indicateurs vibro-acoustiques de la structure : la vitesse quadratique, la puissance rayonnée, la perte par transmission…Ensuite, l’intégrale de Rayleigh a été exploitée pour calculer la puissance rayonnée de chaque structure. L’obstacle majeur que nous avons alors surmonté, était de gérer efficacement la dépendance en fréquence des propriétés de la couche viscoélastique dans l’approche de synthèse modale. Dans une second phase, en partant du champ vibratoire calculé dans la première étape, nous avons développé une méthode hybride FEM-TMM (méthode des éléments finis – méthode de matrices de transfert) pour prédire avec précision et en un temps de calcul acceptable, et jusqu’en hautes fréquences, les principaux paramètres de conception vibro-acoustique de ces structures, notamment l’amortissement équivalent et les nombres d’ondes suivant les deux directions spatiales x et y de propagation de l’onde acoustique. Les validations numériques que nous avons effectuées, montrent bien la robustesse de l'algorithme que nous avons développé. Ce dernier reste toutefois limité à des structures planes. Dans une troisième phase de ce travail, une étude paramétrique sur l’effet de l’emplacement et de la forme de la couche viscoélastique a été réalisée. Cette étude a été faite en se servant de la méthode hybride FEM-TMM pour calculer la réponse acoustique (puissance transmise et perte par transmission).

Rapid detection and quantification of the marine toxic algae, Alexandrium minutum, using a super-paramagnetic immunochromatographic strip test

The dinoflagellates of Alexandrium genus are known to be producers of paralytic shellfish toxins that regularly impact the shellfish aquaculture industry and fisheries. Accurate detection of Alexandrium including A. minutum is crucial for environmental monitoring and sanitary issues. In this study, we firstly developed a quantitative lateral flow immunoassay (LFIA) using super-paramagnetic nanobeads for A. minutum whole cells. This dipstick assay relies on two distinct monoclonal antibodies used in a sandwich format and directed against surface antigens of this organism. No sample preparation is required. Either frozen or live cells can be detected and quantified. The specificity and sensitivity are assessed by using phytoplankton culture and field samples spiked with a known amount of cultured A. minutum cells. This LFIA is shown to be highly specific for A. minutum and able to detect reproducibly 105 cells/L within 30 min. The test is applied to environmental samples already characterized by light microscopy counting. No significant difference is observed between the cell densities obtained by these two methods. This handy super-paramagnetic lateral flow immnunoassay biosensor can greatly assist water quality monitoring programs as well as ecological research.

Avaliação de hábitos de consumo e adequação nutricional de refeições rápidas cuja base é o pão

As rápidas alterações sociais, económicas, culturais e ambientais determinaram mudanças significativas nos estilos de vida e contribuíram para o crescimento e generalização do consumo de alimentos e refeições fora de casa. Portugal acompanha a tendência de aumento do consumo alimentar fora de casa, assim, as refeições fora de casa, que há uns anos eram um acontecimento fortuito, são hoje uma prática habitual das famílias portuguesas, não só durante a semana de trabalho, mas também nos fins-de-semana. As, visitas aos centros comerciais que se tornaram um hábito no nosso país incluem uma paragem nas Praças de Alimentação, espaços de excelência pela diversidade alimentar onde predominam as refeições de fast-food. Porém é fundamental a escolha adequada/equilibrada dos alimentos que se vão consumir. O presente trabalho procurou avaliar os hábitos e percepção dos consumidores de refeições rápidas com base numa ementa específica cujo alimento principal é o pão. Posteriormente e de acordo com as preferências de consumo procedeu-se à avaliação nutricional das escolhas. Neste estudo participaram 150 indivíduos que frequentaram as instalações de um restaurante de comida rápida situada na praça de alimentação de um centro comercial situado em Viseu. Foi aplicado um questionário de autopreenchimento, por nós elaborado dividido em 4 partes: caracterização sociodemográfica; hábitos de consumo dos inquiridos; produtos escolhidos pelos inquiridos; grau de satisfação face aos produtos escolhidos. As análises estatísticas foram efectuadas com recurso ao Programa informático Statistical Package for the Social Sciences - SPSS® for Windows, versão 22. Realizam-se testes de Qui-quadrado com simulação de Monte Carlo, considerando o nível de significância de 0,05. Com base nas escolhas mais frequentes feitas pelos inquiridos procedeu-se à avaliação nutricional dos menus recorrendo ao programa DIAL 1.19 versão 1 e quando não se encontrou informação neste utilizou-se a tabela de composição de alimentos portugueses on line (INSA, 2010). Compararam-se os valores obtidos para o Valor Calórico Total, os macronutrientes, a fibra, o colesterol e o sódio com as Doses Diárias Recomendadas. A amostra era composta por 68,7% mulheres e 31,3% homens, com uma média de idades de 29,9 ± 3 anos e, maioritariamente empregados (64,7%). O grau de instrução da maioria dos inquiridos (54,7%) era o ensino superior. Grande parte da amostra não se considera consumidora habitual de fast-food,referindo ainda efectuar frequentemente uma alimentação equilibrada. Sendo que apenas 5 % frequenta as instalações mais de uma vez por semana. De entre os produtos disponíveis, a preferência fez-se pela sandes e batata-frita, sendo o momento de maior consumo o almoçoA avaliação nutricional das escolhas preferenciais dos inquiridos mostrou que o VCT do menu que inclui água como bebida está dentro dos limites calóricos preconizados para o almoço excepção feita ao menu que inclui sandes quente de frango em pão de orégãos e sandes fria de queijo fresco que se destacam por apresentar um valor inferior ao limite mínimo recomendado. Pelo contrário, a inclusão no menu do refrigerante faz com que haja um aumento do VCT, independentemente da sandes considerada, em 18%. Uma análise detalhada mostra que estas ementas são desequilibradas, apresentando 33,3% delas valores de proteínas superiores à DDR enquanto que os valores de HC e lípidos se encontram maioritariamente dentro dos limites havendo apenas 13,3% das ementas fora desses valores. Relativamente ao aporte de fibra e de sódio 86,7% das ementas aparecem desenquadradas com valores excessivos de sódio e valores de fibra 33% abaixo do limite mínimo recomendado. Tratando-se de um estudo de caso em que apenas se inclui um único restaurante de uma praça de alimentação, que fornece ementas à base de pão (sandes) os resultados são interpretados de forma cautelosa e sem generalização. Podemos no entanto concluir, face aos resultados obtidos a necessidade de redução do teor de sal das ementas. Para além disso parece-nos fundamental, para que o consumidor possa comparar opções alimentares e tomar decisões informadas, a disponibilização da informação nutricional das ementas propostas.

MICROFLUIDIC ASSAY PERFORMANCE ENHANCEMENT USING POROUS VOLUMETRIC DETECTION ELEMENTS FOR IMPEDEMETRIC AND OPTICAL SENSING

Microfluidic technologies have great potential to help create automated, cost-effective, portable devices for rapid point of care (POC) diagnostics in diverse patient settings. Unfortunately commercialization is currently constrained by the materials, reagents, and instrumentation required and detection element performance. While most microfluidic studies utilize planar detection elements, this dissertation demonstrates the utility of porous volumetric detection elements to improve detection sensitivity and reduce assay times. Impedemetric immunoassays were performed utilizing silver enhanced gold nanoparticle immunoconjugates (AuIgGs) and porous polymer monolith or silica bead bed detection elements within a thermoplastic microchannel. For a direct assay with 10 µm spaced electrodes the detection limit was 0.13 fM AuIgG with a 3 log dynamic range. The same assay was performed with electrode spacing of 15, 40, and 100 µm with no significant difference between configurations. For a sandwich assay the detection limit was10 ng/mL with a 4 log dynamic range. While most impedemetric assays rely on expensive high resolution electrodes to enhance planar senor performance, this study demonstrates the employment of porous volumetric detection elements to achieve similar performance using lower resolution electrodes and shorter incubation times. Optical immunoassays were performed using porous volumetric capture elements perfused with refractive index matching solutions to limit light scattering and enhance signal. First, fluorescence signal enhancement was demonstrated with a porous polymer monolith within a silica capillary. Next, transmission enhancement of a direct assay was demonstrated by infusing aqueous sucrose solutions through silica bead beds with captured silver enhanced AuIgGs yielding a detection limit of 0.1 ng/mL and a 5 log dynamic range. Finally, ex situ functionalized porous silica monolith segments were integrated into thermoplastic channels for a reflectance based sandwich assay yielding a detection limit of 1 ng/mL and a 5 log dynamic range. The simple techniques for optical signal enhancement and ex situ element integration enable development of sensitive, multiplexed microfluidic sensors. Collectively the demonstrated experiments validate the use of porous volumetric detection elements to enhance impedemetric and optical microfluidic assays. The techniques rely on commercial reagents, materials compatible with manufacturing, and measurement instrumentation adaptable to POC diagnostics.

MANIPULATION OF IONS, ELECTRONS, AND PHOTONS IN 2D MATERIALS BY ION INTERCALATION

2D materials have attracted tremendous attention due to their unique physical and chemical properties since the discovery of graphene. Despite these intrinsic properties, various modification methods have been applied to 2D materials that yield even more exciting results. Among all modification methods, the intercalation of 2D materials provides the highest possible doping and/or phase change to the pristine 2D materials. This doping effect highly modifies 2D materials, with extraordinary electrical transport as well as optical, thermal, magnetic, and catalytic properties, which are advantageous for optoelectronics, superconductors, thermoelectronics, catalysis and energy storage applications. To study the property changes of 2D materials, we designed and built a planar nanobattery that allows electrochemical ion intercalation in 2D materials. More importantly, this planar nanobattery enables characterization of electrical, optical and structural properties of 2D materials in situ and real time upon ion intercalation. With this device, we successfully intercalated Li-ions into few layer graphene (FLG) and ultrathin graphite, heavily dopes the graphene to 0.6 x 10^15 /cm2, which simultaneously increased its conductivity and transmittance in the visible range. The intercalated LiC6 single crystallite achieved extraordinary optoelectronic properties, in which an eight-layered Li intercalated FLG achieved transmittance of 91.7% (at 550 nm) and sheet resistance of 3 ohm/sq. We extend the research to obtain scalable, printable graphene based transparent conductors with ion intercalation. Surfactant free, printed reduced graphene oxide transparent conductor thin film with Na-ion intercalation is obtained with transmittance of 79% and sheet resistance of 300 ohm/sq (at 550 nm). The figure of merit is calculated as the best pure rGO based transparent conductors. We further improved the tunability of the reduced graphene oxide film by using two layers of CNT films to sandwich it. The tunable range of rGO film is demonstrated from 0.9 um to 10 um in wavelength. Other ions such as K-ion is also studied of its intercalation chemistry and optical properties in graphitic materials. We also used the in situ characterization tools to understand the fundamental properties and improve the performance of battery electrode materials. We investigated the Na-ion interaction with rGO by in situ Transmission electron microscopy (TEM). For the first time, we observed reversible Na metal cluster (with diameter larger than 10 nm) deposition on rGO surface, which we evidenced with atom-resolved HRTEM image of Na metal and electron diffraction pattern. This discovery leads to a porous reduced graphene oxide sodium ion battery anode with record high reversible specific capacity around 450 mAh/g at 25mA/g, a high rate performance of 200 mAh/g at 250 mA/g, and stable cycling performance up to 750 cycles. In addition, direct observation of irreversible formation of Na2O on rGO unveils the origin of commonly observed low 1st Columbic Efficiency of rGO containing electrodes. Another example for in situ characterization for battery electrode is using the planar nanobattery for 2D MoS2 crystallite. Planar nanobattery allows the intrinsic electrical conductivity measurement with single crystalline 2D battery electrode upon ion intercalation and deintercalation process, which is lacking in conventional battery characterization techniques. We discovered that with a “rapid-charging” process at the first cycle, the lithiated MoS2 undergoes a drastic resistance decrease, which in a regular lithiation process, the resistance always increases after lithiation at its final stage. This discovery leads to a 2- fold increase in specific capacity with with rapid first lithiated MoS2 composite electrode material, compare with the regular first lithiated MoS2 composite electrode material, at current density of 250 mA/g.

Post-CMOS compatible high-throughput fabrication of AIN-based piezoelectric microcantilevers

A post-complementary metal oxide semiconductor (CMOS) compatible microfabrication process of piezoelectric cantilevers has been developed. The fabrication process is suitable for standard silicon technology and provides low-cost and high-throughput manufacturing. This work reports design, fabrication and characterization of piezoelectric cantilevers based on aluminum nitride (AlN) thin films synthesized at room temperature. The proposed microcantilever system is a sandwich structure composed of chromium (Cr) electrodes and a sputtered AlN film. The key issue for cantilever fabrication is the growth at room temperature of the AlN layer by reactive sputtering, making possible the innovative compatibility of piezoelectric MEMS devices with CMOS circuits already processed. AlN and Cr have been etched by inductively coupled plasma (ICP) dry etching using a BCl3–Cl2–Ar plasma chemistry. As part of the novelty of the post-CMOS micromachining process presented here, a silicon Si (1 0 0) wafer has been used as substrate as well as the sacrificial layer used to release the microcantilevers. In order to achieve this, the Si surface underneath the structure has been wet etched using an HNA (hydrofluoric acid + nitric acid + acetic acid) based solution. X-ray diffraction (XRD) characterization indicated the high crystalline quality of the AlN film. An atomic force microscope (AFM) has been used to determine the Cr electrode surface roughness. The morphology of the fabricated devices has been studied by scanning electron microscope (SEM). The cantilevers have been piezoelectrically actuated and their out-of-plane vibration modes were detected by vibrometry.