Untersuchungen zur ionenstromangepassten Prozessführung und zu Verfahrensvarianten im gepulsten Vakuumbogen-Beschichtungsprozess

Vacuum arc, deposition, ion current, plasma properties, power electronics, bias voltage

Magnetische Beeinflussung von Pulsprozessen bei Vakuumbogenentladungen

Vacuum arc, magnetic field, pulsed process, spot movement, ion current, plasma properties, deposition rate

Grundlagenuntersuchungen zur Entwicklung eines langzeitstabilen Kaltkathoden-Ionisationsmanometers vom inversen Magnetron-Typ

Cold-cathode gauge, vacuum gauge, inverted magnetron gauge, crossed-field gauge, Penning gauge, contamination, ion baffle, measuring stability