Magnetische Beeinflussung von Pulsprozessen bei Vakuumbogenentladungen


Autoria(s): Hettkamp, Enrico
Data(s)

2006

Resumo

Vacuum arc, magnetic field, pulsed process, spot movement, ion current, plasma properties, deposition rate

Magdeburg, Univ., Fak. für Elektrotechnik und Informationstechnik, Diss., 2006

von Enrico Hettkamp

Formato

Online-Ressource (PDF-Datei: 157 S., 6011 KB)

Identificador

urn:nbn:de:101:1-201010181034

http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:101:1-201010181034

system:515088498

Idioma(s)

ger

Publicador

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