Untersuchungen zur ionenstromangepassten Prozessführung und zu Verfahrensvarianten im gepulsten Vakuumbogen-Beschichtungsprozess
| Data(s) |
2004
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|---|---|
| Resumo |
Vacuum arc, deposition, ion current, plasma properties, power electronics, bias voltage Magdeburg, Univ., Fak. für Elektrotechnik und Informationstechnik, Diss., 2004 von Henning Fuchs |
| Formato |
Online-Ressource (PDF-Datei: 149 S., 5785 KB) |
| Identificador |
urn:nbn:de:101:1-201010123141 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:101:1-201010123141 system:474540502 |
| Idioma(s) |
ger |
| Publicador |
Universitätsbibliothek |
| Palavras-Chave | #Hochschulschrift #Online-Publikation |
