Growth and characterization of ZnO films on (0 0 1), (1 0 0) and (0 1 0) LiGaO<inf>2</inf> substrates

ZnO films were fabricated on LiGaO2 (0 0 1), (10 0) and (0 10) planes by RF magnetron sputtering. The structural, morphological and optical properties of as-grown ZnO films were investigated by X-ray diffraction (XRD), atomic force microscopy (AFM), Raman spectra and photoluminescence (PL) spectra. It is found that the orientation of ZnO films is strongly dependent on the substrate plane. [0 0 0 11, [1 (1) over bar 00] and [11 (2) over bar0] oriented ZnO films are deposited on LiGaO2 (001), (100) and (010), respectively. AFM shows the (0001) ZnO film consists of well-aligned regular hexagonal grains. Raman spectra reveal a tensile stress in the (0 0 0 1) ZnO film and a compressive stress in (110 0) and (112 0) ZnO films. PL spectra of all ZnO films exhibit only a near-band-edge UV emission peak. (C) 2008 Elsevier B.V. All rights reserved.

Composite substrate LiGaO2(001)/beta-Ga2O3(100) fabricated by vapor transport equilibration

Highly (001) orientation LiGaO2 layers have been successfully fabricated on (100) beta-Ga2O3 surface by vapor transport equilibration (VTE) technique. The temperature is very important for the WE treatment. At low temperature (800 degrees C), LiGaO(2)layers are textured. As the temperature was raised to 1100 C the layer becomes highly oriented in the [100] direction. It shows that the best temperature for WE treatment is 1100 degrees C. This technique is promising to fabricate small lattice mismatch composite substrate of LiGaO2 (001)//beta-Ga2O3 (100) for GaN films. (c) 2006 Elsevier B.V. All rights reserved.

������������������������������LiGaO2������

������������GaN���������������������������������������������������������������������������������VTE���������100�����-Ga2O3���������������������������[001]������LiGaO2������������������������X���������������������������������������������������LiGaO2������������������������������SEM���������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������X������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������LiGaO2���������������������������������������������������������������������������

���������LiGaO2���������������������������������

���������������������������������������������LiGaO2���������,���������������������������������������������������������X������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������,���������������������,���001������������������������������������������16.2arcsec,������������001���������100���������010������������������������������������������,������������������������10^4/cm^2;LiGaO2������������������������220nm;������������������������������������������������,���������������������������0.1nm���5��5��m^2������

LiGaO_2���������ZnO���������������������������������

������������������������(001)���(100)���(010)LiGaO2������������������ZnO������,������X������������(XRD)���������������������(AFM)������������������������������������(PL)������������������������������������������������������������������������LiGaO2������������������������������ZnO���������������������������������,���(001)(���100)���(010)LiGaO2������������������[0001][���1100]���[1120]���������ZnO������;���������������ZnO������������������������������;������������������������������������������������;���ZnO������������������������������������������������378 nm������������������,������������������������������������,(1100)������������������������������������������,������������������,���������������������������������������������������������������