五自由度纳米级定位工作台的设计研究

提出一种新型的五自由度精密定位平台的工作原理及其设计方法。工作台采用柔性导向机构实现平移及转动功能，采用压电陶瓷作为驱动元件，外置纳米级电容传感器作为位移量测量反馈元件，采用数字PID控制方法，可以实现纳米级精度的定位。给出了多种形式柔性导向机构刚度计算公式及设计实例。

Design and control of an ultraprecision stage used in grating tiling

In petawatt laser system, the gratings used to compose pulse compressor are very large in size which can be only acquired currently by arraying small aperture gratings to form a large one instead, an approach referred to as grating tiling. Theory and experiments have demonstrated that the coherent addition of multiple small gratings to form a larger grating is viable, the key technology of which is to control the relative position and orientation of each grating with high precision. According to the main factors that affect the performance of the grating tiling, a 5-DOF ultraprecision stage is developed for the grating tiling experiment. The mechanism is formed by serial structures. The motion of the mechanism is guided by flexure hinges and driven by piezoelectric actuators and the movement resolution of which can achieve nanometer level. To keep the stability of the mechanism, capacitive position sensors with nanometer accuracy are fixed on it to provide feedback signals with which to realize closed-loop control, thus the positioning precision of the mechanism is within several nanometers range through voltage control and digital PID algorithm. Results of experiments indicate that the performance of the mechanism can meet the requirement of precision for grating tiling.}

电子束蒸发镀膜速率控制

介绍了电子束蒸发镀膜速率控制的基本原理和方法,选取实际生产中大量使用且蒸发特性较难控制的SiO_2和HfO_2,对两者的电子束蒸发速率控制分别进行了实验研究。采用比例积分微分(PID)闭环反馈控制,通过Ziegler-Nichols工程经验公式进行原始参量整定,并在实验的基础上对控制器的原始参量进行调整以及对积分作用和微分作用进行分区处理,速率控制的实验结果表明,采用该参量整定方法并结合工艺流程的改进,能获得良好的速率控制。针对速率控制中存在的难点问题进行了分析,并提出改进措施:将速率控制和电子枪扫描控制相结合能进一步改善速率控制。

A simulation model of body contact structure in PD SOI analogue circuit

As a solution of accurate simulation of the body effect in PD SOI analogue circuit, a simulation model of distributed body contact resistance and parasitical capacitance is presented. Based on this model, we have designed and simulated a sense amplifier that applied to V a 0.8um PD SOI 64K SRAM.

基于改进网络模型的大时滞网络拥塞控制算法

　随着对网络拥塞控制的深入研究,出现了许多有关网络流量的控制理论及网络模型.Misra等人于2000年基于流体流(fluidflow)理论提出的模型被研究人员广为采用.但模型在推导过程中的一些近似却使得模型对网络行为描述不精确.本文对此从理论和实验结果两方面进行了详细分析,并对原模型进行了改进.基于改进的模型,把一种PID(ProportionalIntegralDifferential)及类PID设计方法用于AQM(ActiveQueueManagement)控制器的设计.对比仿真结果表明,该算法具有更好的性能.

NS2网络仿真器功能扩展方法及实现

NS2作为开源软件缺少对最新研究算法的模拟能力 .在现有软件基础上对其进行功能扩展极其必要 ,是模拟研究新理论新算法的基础 .本文着重探讨网络仿真软件 NS2的功能扩展原理及设计实现 ,展示运用 NS2仿真器对网络行为进行研究的过程 .最后对该算法进行模拟实验 ,并与已有 RED和 PI算法进行性能对比分析 .

基于D稳定域和ITAE准则的主动队列管理算法

主动队列管理（active queue management，简称AQM）是网络拥塞控制的研究热点之一，其中的关键问题是如何设计反馈控制策略．提出一种新的基于D稳定域和时间乘以误差绝对值乘积积分（integral of time-weighted absolute error,简称ITAE）性能准则的比例-积分-微分（proportional-integral-differential，简称PID）优化设计方法（简称DITAE-PID），并用于AQM控制器的设计，控制闭环系统的理想动态性能．首先在复平面上设定一组理想的D稳定域，然后以ITAE为目标函数，通过数值优化算法求出控制器的参数，使得闭环系统的所有特征根都在D稳定域内，以降低排队延时，提高有效吞吐量．对比仿真实验结果表明孩算法能够预先探测和控制拥塞，有较好的鲁棒性，链路利用率更高，丢包率更小，平均队列长度更趋于期望值，同时，趋于期望队列长度的时间更短，其综合性能明显优于典型的随机早期探测（random early detection，简称RED）和比例-积分（proportional-integral，简称PI）算法．

用于平面光波导的控温模块的设计与制作

研制了一种用于平面光波导（PLC）的控温模块。该模块采用比例微分积分（PID）控制回路控温，针对PLC控温特点，采用了优化模块的导热与散热，调整控温电路中的PID参数并采用H桥电流输出等方案对整个控温模块进行了优化设计。该模块体积小，长宽高分别为7cm×6cm×4cm；控温面积为3cm×3cm，适用于大尺寸的PLC芯片；控温范围广，从0～70℃；控温速率快、精度高，能将温度稳定到土0．15℃内。

半导体激光器温度控制研究

温度对半导体激光器的特性有很大的影响.为了使半导体激光器输出功率稳定,必须对其温度进行高精度的控制.利用PID控制网络设计了温控系统,控制精度达到±0.01℃,与无PID控制网络相比,极大的提高了系统的瞬态特性,并且试验发现采用带有温控系统的半导体激光器的输出功率稳定性比没有温控系统的输出功率得到显著改善。

一种无需ADC的变步长反馈DC-DC转换器数控方式

数控DC-DC变换器由于其自身的特点，易于与数字系统进行单片集成。DC-DC的数字控制算法有很多种，其中比较复杂的算法（如PID）需要在片内集成ADC，增加了设计难度。较为简单的控制方案只使用单一的比较器作为反馈输入部件，但动态性能较差。本文在已有的单比较器恒定步长反馈数控Buck转换器的基础上，提出了一类变步长反馈的方案。由于仍使用单比较器或窗口比较器，它的结构简单且易于集成。它借鉴了对分搜索的思路，能根据输出电压反馈的结果动态地改变占空比的变化步长，从而明显地提高了原有恒定步长反馈数控变换器的动态性能。

Droplet Image Feedback Control System in Evaporation Experiment

In order to realize the steady-state droplet evaporation, image feedback control system is designed based on DSP. The system has three main functions: to capture and store droplet images during the experiment; to calculate droplet geometrical and physical parameters such as volume, surface area, surface tension and evaporation velocity at a high-precision level; to keep the droplet volume constant. The DSP can drive an injection controller with the PID control to inject liquid so as to keep the droplet volume constant. The evaporation velocity of droplet can be calculated by measuring the injected volume during the evaporation. The structure of hardware and software of the control system, key processing methods such as contour fitting and experimental results are described.

基于TMS320C6713的数字电源调节器

本文介绍一种基于TMS320C6713的高精度数字电源调节器的设计方案。针对TMS320C6713的特点,从系统的角度分析并探讨了调节器的实现途径,并给出了相应的原理框图。

基于TMS320C6713的数字调节器设计

本文介绍一种基于TMS320C6713的高精度数字电源调节器的设计方案。针对TMS320C6713的特点,从系统的角度分析并探讨了调节器的实现途径,并给出了相应的原理框图。

离子源分布式控制系统设计

将NI公司的可编程自动化控制器(PAC)CompactFieldPoint应用于离子源系统控制中,可充分发其易于使用、可扩展性强、可重用度高以及具有实时的运载软件的平台,结合稳定的I/O模块实现ECR离子源的分布式网络系统控制。使用PID控制算法控制定标参量;并通过远程面板技术,用户通过本地(Client端)计算机打开并操作位于远程(WebServer端)上的VI前面板,实现了测试数据的远程共享和用户对系统的远程操控。

真空冻干计算机控制系统的设计与应用

介绍了真空冻干的控制系统的总体设计思路，首先讨论了控制对象的特殊性，选择合适的控制算法，在传统的PID控制算法的基础上根据控制对象的特点对控制算法加以改进，以获得良好的动稳态响应，并对Windows操作系统下控制软件需要解决的实时性问题和MFC编程应用程序结构的组织问题进行了论述。