用于平面光波导的控温模块的设计与制作


Autoria(s): 吴黎; 韩培德; 窦金峰; 叶志成; 全宇军; 陆晓东
Data(s)

2006

Resumo

研制了一种用于平面光波导(PLC)的控温模块。该模块采用比例微分积分(PID)控制回路控温,针对PLC控温特点,采用了优化模块的导热与散热,调整控温电路中的PID参数并采用H桥电流输出等方案对整个控温模块进行了优化设计。该模块体积小,长宽高分别为7cm×6cm×4cm;控温面积为3cm×3cm,适用于大尺寸的PLC芯片;控温范围广,从0~70℃;控温速率快、精度高,能将温度稳定到土0.15℃内。

国家“863”计划资助项目,国家自然科学基金资助项目

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16559

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/102917

Idioma(s)

中文

Fonte

吴黎;韩培德;窦金峰;叶志成;全宇军;陆晓东.用于平面光波导的控温模块的设计与制作,光电子·激光,2006,17(6):654-657

Palavras-Chave #微电子学
Tipo

期刊论文