高激光损伤阈值溶胶-凝胶ZrO2薄膜

采用醇热法水解氧氯化锆（ZrOCl2·8H2O）制备ZrO2溶胶，提拉法涂膜。采用粘度、粒度分布、折射率、IR、DSC、AFM等测试手段对溶胶和薄膜性能进行表征。结果表明，ZrO2溶胶颗粒的平均粒径为18．9nm，薄膜经300℃热处理后折射率可高达1．95，膜层表面均匀平整，表面平均粗糙度仅为0．561nm，膜层的激光损伤阈值为14J／cm^2（1064nm，1ns）。