Aberration measurement of projection optics in lithographic tools based on two-beam interference theory

The degradation of image quality caused by aberrations of projection optics in lithographic tools is a serious problem in optical lithography. We propose what we believe to be a novel technique for measuring aberrations of projection optics based on two-beam interference theory. By utilizing the partial coherent imaging theory, a novel model that accurately characterizes the relative image displacement of a fine grating pattern to a large pattern induced by aberrations is derived. Both even and odd aberrations are extracted independently from the relative image displacements of the printed patterns by two-beam interference imaging of the zeroth and positive first orders. The simulation results show that by using this technique we can measure the aberrations present in the lithographic tool with higher accuracy. (c) 2006 Optical Society of America.

Aberration measurement of projection optics in lithographic tools by use of an alternating phase-shifting mask

As a critical dimension shrinks, the degradation in image quality caused by wavefront aberrations of projection optics in lithographic tools becomes a serious problem. It is necessary to establish a technique for a fast and accurate in situ aberration measurement. We introduce what we believe to be a novel technique for characterizing the aberrations of projection optics by using an alternating phase-shifting mask. The even aberrations, such as spherical aberration and astigmatism, and the odd aberrations, such as coma, are extracted from focus shifts and image displacements of the phase-shifted pattern, respectively. The focus shifts and the image displacements are measured by a transmission image sensor. The simulation results show that, compared with the accuracy of the previous straightforward measurement technique, the accuracy of the coma measurement increases by more than 30% and the accuracy of the spherical-aberration measurement increases by approximately 20%. (c) 2006 Optical Society of America.

Measurement technique for in situ characterizing aberrations of projection optics in lithographic tools

As the feature size decreases, degradation of image quality caused by wavefront aberrations of projection optics in lithographic tools has become a serious problem in the low-k1 process. We propose a novel measurement technique for in situ characterizing aberrations of projection optics in lithographic tools. Considering the impact of the partial coherence illumination, we introduce a novel algorithm that accurately describes the pattern displacement and focus shift induced by aberrations. Employing the algorithm, the measurement condition is extended from three-beam interference to two-, three-, and hybrid-beam interferences. The experiments are performed to measure the aberrations of projection optics in an ArF scanner. (C) 2006 Optical Society of America.

Coleta seletiva e compostagem na Vila do Abraão (Ilha Grande, RJ): aspectos e recomendações

Muitos programas de coleta seletiva e Usinas de Triagem e Compostagem (UTC) brasileiras tem se mostrado problemáticos, ineficientes ou, até mesmo, inviáveis. Apesar disso, continua a ser uma solução visada por parte de órgãos gestores e da população. Observando que a coleta seletiva e a instalação e operação de UTC são peças importantes para a prática da reciclagem, dentro do contexto de Gerenciamento Integrado de Resíduos Sólidos (GIRS), verifica-se a necessidade de melhor entendimento dos problemas a elas associados para que haja um melhor planejamento e minimização destes problemas. O presente trabalho tem por objetivo principal a recomendação de diretrizes para um estudo de viabilidade e implantação de coleta seletiva e Unidade de Triagem e Compostagem na Vila do Abraão (Angra dos Reis, RJ), observando as características locais e as dificuldades normalmente existentes em programas de coleta seletiva e em operações de UTCs. A análise, que foi feita através de revisão bibliográfica de artigos científicos sobre estudos de casos brasileiros acerca de coleta seletiva, UTC e compostagem, mostrou que as principais dificuldades associadas a estes programas estão relacionadas: aos custos de operação e manutenção dos programas e das UTCs; às falhas administrativas e operacionais das UTCs; à capacitação inadequada dos trabalhadores; à falta de conscientização ambiental da população; ao desenvolvimento de soluções isoladas (fora do contexto de gerenciamento integrado) e que desconsideram os fatores locais. Também foi feito um levantamento das características locais da Vila através de observações in loco, entrevistas e trabalhos de campo. Sobre a Vila do Abraão constatou-se que ainda são necessários entendimentos entre os gestores locais (subprefeitura, Parque Estadual da Ilha Grande), a população e a municipalidade em Angra dos Reis, assim como, faz-se necessário um estudo mais aprofundado sobre a operação da UTC, incluindo aí as parcerias necessárias (cooperativas, catadores, prefeitura, ONGs etc) e sobre um programa de educação ambiental, para a efetiva participação da comunidade local. Além das recomendações feitas aos gestores locais, são indicados estudos que podem complementar o presente trabalho

Coma measurement of projection optics in lithographic tools based on relative image displacements at multiple illumination settings

In this paper, we propose a novel method for measuring the coma aberrations of lithographic projection optics based on relative image displacements at multiple illumination settings. The measurement accuracy of coma can be improved because the phase-shifting gratings are more sensitive to the aberrations than the binary gratings used in the TAMIS technique, and the impact of distortion on displacements of aerial image can be eliminated when the relative image displacements are measured. The PROLITH simulation results show that, the measurement accuracy of coma increases by more than 25% under conventional illumination, and the measurement accuracy of primary coma increases by more than 20% under annular illumination, compared with the TAMIS technique. (c) 2007 Optical Society of America.

Global and local challenges for best practices in assessment. The 9th Conference on the International Test Commission. Book of abstracts

The 9th International Test Commission Conference (ITC) took place at the Miramar Palace in San Sebastian, Spain, between the 2nd and 5th of July, 2014. The Conference was titled, “Global and Local Challenges for Best Practices in Assessment.” The International Test Commission, ITC (www.intestcom.org), is an association of national psychological associations, test commissions, publishers, and other organizations, as well as individuals who are committed to the promotion of effective testing and assessment policies and to the proper development, evaluation, and uses of educational and psychological instruments. The ITC facilitates the exchange of information among members and stimulates their cooperation on problems related to the construction, distribution, and uses of psychological and educational tests and other psychodiagnostic tools. This volume contains the abstracts of the contributions presented at the 9th International Test Commission Conference. The four themes of the Conference were closely linked to the goals of the ITC: - Challenges and Opportunities in International Assessment. - Application of New Technoloogies and New Psychometric Models in Testing. - Standards and Guidelines for Best Testing Practices. - Testing in Multilingual and Multicultural Contexts.

Sistema de Gerenciamento Integrado de resíduos perigosos: modelagem e validação nos laboratórios da Universidade do Estado do Rio de Janeiro

Apesar dos impactos ambientais ocasionados pela poluição e acidentes químicos, constata-se que algumas organizações ainda investem pouco na prevenção, redução ou eliminação de seus resíduos. Em algumas Instituições de Ensino e Pesquisa (IES) do Brasil, não é incomum o manejo inadequado dos resíduos perigosos gerados em laboratórios de ensino e pesquisa, aumentando tais riscos. Para minimizar ou eliminar tais riscos, há que se realizarem investimentos em processos tecnológicos de tratamento e na seleção de métodos adequados ao gerenciamento. O objetivo desta pesquisa foi modelar um Sistema de Gerenciamento Integrado de Resíduos Perigosos e validá-lo através de sua aplicação em estudo piloto nos laboratórios dos Institutos de Química e Biologia da Universidade do Estado do Rio de Janeiro. A pesquisa empírica e exploratória foi realizada através de revisão bibliográfica e coleta de dados sobre o estado da arte no gerenciamento de resíduos em algumas IES nacionais e internacionais, seguido da seleção do sistema adequado a ser modelado e aplicado nestes contextos. O trabalho de campo consistiu na coleta de dados através de observação direta e aplicação de questionário junto aos responsáveis pelos laboratórios. As etapas do estudo foram: levantamento das instalações dos laboratórios; observação do manejo e geração dos resíduos; elaboração do banco de dados; análise qualitativa e quantitativa dos dados; modelagem do Sistema de Gerenciamento Integrado de Resíduos Perigosos SIGIRPE; implantação do modelo; apresentação e avaliação dos resultados; elaboração do manual para uso do sistema. O monitoramento quantitativo de resíduos foi feito através de ferramentas do sistema para a sua análise temporal. Os resultados da pesquisa permitiram conhecer a dinâmica e os problemas existentes nos laboratórios, bem como verificar a potencialidade do modelo. Conclui-se que o SIGIRPE pode ser aplicado a outros contextos desde que seja adequado para tal fim. É imprescindível ter uma estrutura institucional que elabore o Plano de Gerenciamento Integrado de Resíduos e viabilize sua implementação. A universidade, enquanto formadora dos futuros profissionais, é um lócus privilegiado na construção e disseminação do conhecimento, tendo o dever de realizar boas práticas no trato das questões ambientais, em particular, com relação aos resíduos. Assim, elas devem estabelecer entre suas estratégias de ação, a inclusão de políticas ambientais em seus campi, onde a Educação Ambiental deve ser permanente. Espera-se que este trabalho contribua com o planejamento e o gerenciamento dos resíduos perigosos gerados em laboratórios e com as mudanças necessárias rumo à sustentabilidade ambiental. O SIGIRPE foi elaborado e testado, mas não foi possível verificar sua aplicação por outros usuários. É o que se espera com a continuidade desta pesquisa e no desenvolvimento de futuros trabalhos, tais como: teste do sistema em hospitais, laboratórios, clínicas; estudar outras aplicações na área de segurança química de laboratórios através da inclusão de roteiro de transporte interno de resíduos, rotas de fuga, mapas de risco, localização de equipamentos de proteção individual e coletiva; demonstrar a potencialidade de uso do sistema e sensibilizar os segmentos envolvidos através de palestras, mini-cursos e outras estratégias de informação em revistas científicas especializadas.

Uso de hipermídia adaptativa no desenvolvimento de cursos virtuais de computação gráfica

O Ensino à distância (EaD) procura utilizar propostas pedagógicas para desenvolver sistemas inclusivos de ensino e aprendizagem. Estas propostas tem colaborado no sucesso que a EaD tem alcançado no meio empresarial corporativo. Neste meio, a demanda por cursos de formação técnica tem sido tão alta, que as empresas envolvidas no design instrucional de EaD criaram a noção de cursos à distância expressos, ou seja, cursos cuja a concepção e elaboração devem atender as tradicionais necessidades de rapidez do mercado de trabalho. Esta dissertação procura soluções para um tipo de ensino à distância ainda pouco explorado. O cenário que procuramos equacionar é o do ensino de ferramentas (softwares) para desenho vetorial, onde a metodologia de ensino é parte do processo de ensino corporativo. No processo atual de ensino de ferramentas de computação gráfica, o aluno submete ao professor, normalmente pela internet, o seu trabalho para que uma avaliação seja feita. Nesta dissertação sugerimos que este processo seja modificado de duas formas. Primeiro, no design instrucional para esta situação, trabalhamos constantemente a questão de avaliação não só na sua forma tradicional (atribuição de graus e valores) mas também como aperfeiçoamento do processo de ensino. A hipermídia adaptativa entra nesta proposta como facilitador da relação alunoprofessor-conhecimento, permitindo individualização de um ensino voltado para as massas. Em segundo lugar, propomos que a avaliação das tarefas sejam automatizada. O aluno oferece as partes (objetos) da solução que são avaliadas individualmente através de algoritmos computacionais. Isto permite uma menor participação do professor, o que é compatível com a proposta de cursos expressos. Para que isto seja possível a tarefa proposta pelo professor é dividida em objetos componentes, sendo o aluno estimulado a criar cada objeto segundo o modelo padrão oferecido. A comparaçào de cada objeto criado pelo aluno com o padrão a ser alcançado pode ser feita por diversos algoritmos computacionais existentes ou criados especificamente pelo autor do curso. Neste trabalho apresentamos exemplos desta abordagem e um protótipo que demonstra a viabilidade da proposta.

Duzentos anos de ensino médico no Brasil

Esta tese analisa o ensino médico brasileiro, nos 200 anos de existência, identificando os marcos e o contexto político, econômico, social e mundial. A metodologia escolhida foi a grounded teory (teoria fundamentada). A análise dos dados foi feita sob a luz do referencial teórico. Do levantamento quantitativo e qualitativo das escolas médicas brasileiras destacam-se distintos momentos de expansão das escolas médicas no Brasil. Registram-se, também, a evolução da criação das escolas médicas, a distribuição regional e os processos de avaliação governamental (Provão/SINAES) e da sociedade (CINAEM). Discute o papel indutor dos mecanismos de incentivos conduzidos pelo Estado, na interface da saúde e da educação. Foi detalhada a distribuição atual das 167 escolas médicas, que ofertaram 16.228 vagas no processo vestibular de 2007.

Methods and tools for the assessment of daylight transmittance through expanded metal meshes

306 p.

As práticas desenvolvidas no cuidado realizado por enfermeiros: um estudo de caso na rede básica de saúde no município do Rio de Janeiro

Esta pesquisa tem como objetivo geral, compreender as práticas desenvolvidas no cuidado realizado por enfermeiros nos Programas Nacionais de Saúde em uma unidade da rede básica de saúde no município do Rio de Janeiro. Este estudo corresponde ao desdobramento do projeto Práticas de cuidado no SUS: o papel do enfermeiro na Atenção Básica, apoiado por bolsa de produtividade em pesquisa da Universidade do Estado do Rio de Janeiro (UERJ/ Prociência). A presente dissertação trata-se de um estudo de caso realizado no âmbito da Atenção Básica, e, possui como cenário o Centro Municipal de Saúde (CMS) Milton Fontes Magarão. Os sujeitos da pesquisa corresponderam a oito enfermeiros, sendo sete entrevistas e um depoimento. Os instrumentos de coleta de dados utilizados, durante o período de julho a setembro de 2011, foram: observação sistemática, entrevista semi-estruturada, depoimento, formulário e pesquisa em fontes documentais. Para a avaliação dos resultados utilizou-se a técnica de análise temática, proposta por Minayo. No plano metodológico a análise foi qualitativa, no entanto, no tratamento dos dados, a análise aplicada se apropriou de elementos da abordagem quantitativa, com o objetivo de encontrar os núcleos de sentido contextualizados nas entrevistas. A partir dos resultados alcançados foi possível elaborar três categorias. A primeira categoria focou uma abordagem temática sobre as práticas desenvolvidas no cuidado realizado por enfermeiros nos Programas Nacionais. A segunda categoria buscou descrever a visão do enfermeiro sobre o desenvolvimento de suas práticas e do cuidado realizado, no qual, foram discutidas duas temáticas centrais: noções acerca das atividades realizadas pelos enfermeiros e noções dos enfermeiros acerca dos princípios e diretrizes para atenção à saúde. A terceira categoria direcionou-se para os fatores que interferem nas práticas e no cuidado realizado pelos enfermeiros. A prática e o cuidado realizados pelos enfermeiros foram analisados e discutidos, a partir dos relatos dos profissionais sobre suas vivências. Sendo assim, não coube a expressão de uma única forma de prática ou de uma única dimensão do cuidado, visto que essas práticas parecem estar entrelaçadas a diversos aspectos subjetivos, epistemológicos, culturais e sócio-econômicos. As práticas realizadas, independente do Programa Nacional de atuação dos enfermeiros, estão voltadas principalmente para a consulta de enfermagem, a prática educativa, a organização do fluxo de entrada, o sistema de referência e a visita domiciliar. Pôde-se inferir que diversos são os fatores que influenciam, de forma positiva ou negativa, o desenvolvimento das atividades diárias. Por fim, cabe ressaltar a necessidade de novos estudos sobre a temática a fim de estimular a construção de saberes teórico-práticos e a formulação de uma visão crítica sobre o cuidado profissional realizado pelo enfermeiro no âmbito da Atenção Básica.