Profile simulations of gas chopping etching processes : model development and comparison with experiments

The progress in microsystem technology or nano technology places extended requirements to the fabrication processes. The trend is moving towards structuring within the nanometer scale on the one hand, and towards fabrication of structures with high aspect ratio (ratio of vertical vs. lateral dimensions) and large depths in the 100 µm scale on the other hand. Current procedures for the microstructuring of silicon are wet chemical etching and dry or plasma etching. A modern plasma etching technique for the structuring of silicon is the so-called "gas chopping" etching technique (also called "time-multiplexed etching"). In this etching technique, passivation cycles, which prevent lateral underetching of sidewalls, and etching cycles, which etch preferably in the vertical direction because of the sidewall passivation, are constantly alternated during the complete etching process. To do this, a CHF3/CH4 plasma, which generates CF monomeres is employed during the passivation cycle, and a SF6/Ar, which generates fluorine radicals and ions plasma is employed during the etching cycle. Depending on the requirements on the etched profile, the durations of the individual passivation and etching cycles are in the range of a few seconds up to several minutes. The profiles achieved with this etching process crucially depend on the flow of reactants, i.e. CF monomeres during the passivation cycle, and ions and fluorine radicals during the etching cycle, to the bottom of the profile, especially for profiles with high aspect ratio. With regard to the predictability of the etching processes, knowledge of the fundamental effects taking place during a gas chopping etching process, and their impact onto the resulting profile is required. For this purpose in the context of this work, a model for the description of the profile evolution of such etching processes is proposed, which considers the reactions (etching or deposition) at the sample surface on a phenomenological basis. Furthermore, the reactant transport inside the etching trench is modelled, based on angular distribution functions and on absorption probabilities at the sidewalls and bottom of the trench. A comparison of the simulated profiles with corresponding experimental profiles reveals that the proposed model reproduces the experimental profiles, if the angular distribution functions and absorption probabilities employed in the model is in agreement with data found in the literature. Therefor the model developed in the context of this work is an adequate description of the effects taking place during a gas chopping plasma etching process.

Sustainable development and biodiversity

Das Tondokument ist die Rede von Vandana Shiva / Indien, die sie am 22.5.2008 im Giesshaus der Universität Kassel zum Thema Biodiversität und Nachhaltigkeit im Kontext urbaner Gärten gehalten hat. Diese Veranstaltung war ein Teil der "Tagung Gärten als Alltagskultur im internationalen Vergleich", veranstaltet von Doris Gstach, Heidrun Hubenthal und Maria Spitthöver. Das Tondokument wurde von Klaus Schaake aufgezeichnet und erstmals veröffentlicht am 23.5.2008 bei der Onlinezeitung www.kassel-zeitung.de

Private Higher Education in the Sultanate of Oman: Rationales, Development and Challenges

Diese Studie stellt die Entwicklung des privaten Hochschulbereichs im Oman dar und analysiert sie auf die damit verbundenen Erwartungen. Sie untersucht die wesentlichen Herausforderungen, denen sich dieser Sektor zu stellen hat, und formuliert einige Empfehlungen, um die Rolle der privaten Hochschulbildung im Oman zu fördern. Um die Situation in Oman einordnen zu konnen, wurde die Literatur zu Systemen der privaten Hochschulbildung in verschiedenen Ländern vergleichend aufgearbeitet. Der Autor dieser Dissertation hat zudem zahlreiche offizielle Dokumente, Statistiken der Regierung, Berichte, Korrespondenzen und auch unveröffentlichtes Material zum Thema Bildung, Wirtschaft und zur Personalentwicklung geprüft und analysiert. Halb-strukturierte Interviews wurden mit Präsidenten und Dekanen privater Hochschulen sowie mit einigen externen Akteuren durchgeführt, um die Stärken und Schwächen, Herausforderungen und Ziele des privaten Hochschulsektors in Oman zu analysieren.

Development and applications of density matrix functional theory of generalized Hubbard Models

In dieser Doktorarbeit wird eine akkurate Methode zur Bestimmung von Grundzustandseigenschaften stark korrelierter Elektronen im Rahmen von Gittermodellen entwickelt und angewandt. In der Dichtematrix-Funktional-Theorie (LDFT, vom englischen lattice density functional theory) ist die Ein-Teilchen-Dichtematrix γ die fundamentale Variable. Auf der Basis eines verallgemeinerten Hohenberg-Kohn-Theorems ergibt sich die Grundzustandsenergie Egs[γgs] = min° E[γ] durch die Minimierung des Energiefunktionals E[γ] bezüglich aller physikalischer bzw. repräsentativer γ. Das Energiefunktional kann in zwei Beiträge aufgeteilt werden: Das Funktional der kinetischen Energie T[γ], dessen lineare Abhängigkeit von γ genau bekannt ist, und das Funktional der Korrelationsenergie W[γ], dessen Abhängigkeit von γ nicht explizit bekannt ist. Das Auffinden präziser Näherungen für W[γ] stellt die tatsächliche Herausforderung dieser These dar. Einem Teil dieser Arbeit liegen vorausgegangene Studien zu Grunde, in denen eine Näherung des Funktionals W[γ] für das Hubbardmodell, basierend auf Skalierungshypothesen und exakten analytischen Ergebnissen für das Dimer, hergeleitet wird. Jedoch ist dieser Ansatz begrenzt auf spin-unabhängige und homogene Systeme. Um den Anwendungsbereich von LDFT zu erweitern, entwickeln wir drei verschiedene Ansätze zur Herleitung von W[γ], die das Studium von Systemen mit gebrochener Symmetrie ermöglichen. Zuerst wird das bisherige Skalierungsfunktional erweitert auf Systeme mit Ladungstransfer. Eine systematische Untersuchung der Abhängigkeit des Funktionals W[γ] von der Ladungsverteilung ergibt ähnliche Skalierungseigenschaften wie für den homogenen Fall. Daraufhin wird eine Erweiterung auf das Hubbardmodell auf bipartiten Gittern hergeleitet und an sowohl endlichen als auch unendlichen Systemen mit repulsiver und attraktiver Wechselwirkung angewandt. Die hohe Genauigkeit dieses Funktionals wird aufgezeigt. Es erweist sich jedoch als schwierig, diesen Ansatz auf komplexere Systeme zu übertragen, da bei der Berechnung von W[γ] das System als ganzes betrachtet wird. Um dieses Problem zu bewältigen, leiten wir eine weitere Näherung basierend auf lokalen Skalierungseigenschaften her. Dieses Funktional ist lokal bezüglich der Gitterplätze formuliert und ist daher anwendbar auf jede Art von geordneten oder ungeordneten Hamiltonoperatoren mit lokalen Wechselwirkungen. Als Anwendungen untersuchen wir den Metall-Isolator-Übergang sowohl im ionischen Hubbardmodell in einer und zwei Dimensionen als auch in eindimensionalen Hubbardketten mit nächsten und übernächsten Nachbarn. Schließlich entwickeln wir ein numerisches Verfahren zur Berechnung von W[γ], basierend auf exakten Diagonalisierungen eines effektiven Vielteilchen-Hamilton-Operators, welcher einen von einem effektiven Medium umgebenen Cluster beschreibt. Dieser effektive Hamiltonoperator hängt von der Dichtematrix γ ab und erlaubt die Herleitung von Näherungen an W[γ], dessen Qualität sich systematisch mit steigender Clustergröße verbessert. Die Formulierung ist spinabhängig und ermöglicht eine direkte Verallgemeinerung auf korrelierte Systeme mit mehreren Orbitalen, wie zum Beispiel auf den spd-Hamilton-Operator. Darüber hinaus berücksichtigt sie die Effekte kurzreichweitiger Ladungs- und Spinfluktuationen in dem Funktional. Für das Hubbardmodell wird die Genauigkeit der Methode durch Vergleich mit Bethe-Ansatz-Resultaten (1D) und Quanten-Monte-Carlo-Simulationen (2D) veranschaulicht. Zum Abschluss wird ein Ausblick auf relevante zukünftige Entwicklungen dieser Theorie gegeben.

Double burden malnutrition of preschool children and its association with brain development and milk consumption

Protecting the quality of children growth and development becomes a supreme qualification for the betterment of a nation. Double burden child malnutrition is emerging worldwide which might have a strong influence to the quality of child brain development and could not be paid-off on later life. Milk places a notable portion during the infancy and childhood. Thus, the deep insight on milk consumption pattern might explain the phenomenon of double burden child malnutrition correlated to the cognitive impairments. Objective: Current study is intended (1) to examine the current face of Indonesian double burden child malnutrition: a case study in Bogor, West Java, Indonesia, (2) to investigate the association of this phenomenon with child brain development, and (3) to examine the contribution of socioeconomic status and milk consumption on this phenomenon so that able to formulate some possible solutions to encounter this problem. Design: A cross-sectional study using a structured coded questionnaire was conducted among 387 children age 5-6 years old and their parents from 8 areas in Bogor, West-Java, Indonesia on November 2012 to December 2013, to record some socioeconomic status, anthropometric measurements, and history of breast feeding. Diet and probability of milk intake was assessed by two 24 h dietary recalls and food frequency questionnaire (FFQ). Usual daily milk intake was calculated using Multiple Source Method (MSM). Some brain development indicators (IQ, EQ, learning, and memory ability) using Projective Multi-phase Orientation method was also executed to learn the correlation between double burden child malnutrition and some brain development indicator. Results and conclusions: A small picture of child double burden malnutrition is shown in Bogor, West Java, Indonesia, where prevalence of Severe Acute Malnutrition (SAM) is 27.1%, Moderate Acute Malnutrition (MAM) is 24.9%, and overnutrition is 7.7%. This phenomenon proves to impair the child brain development. The malnourished children, both under- and over- nourished children have significantly (P-value<0.05) lower memory ability compared to the normal children (memory score, N; SAM = 45.2, 60; MAM = 48.5, 61; overweight = 48.4, 43; obesity = 47.9, 60; normal = 52.4, 163). The plausible reasons behind these evidences are the lack of nutrient intake during the sprout growth period on undernourished children or increasing adiposity on overnourished children might influence the growth of hippocampus area which responsible to the memory ability. Either undernutrition or overnutrition, the preventive action on this problem is preferable to avoid ongoing cognitive performance loss of the next generation. Some possible solutions for this phenomenon are promoting breast feeding initiation and exclusive breast feeding practices for infants, supporting the consumption of a normal portion of milk (250 to 500 ml per day) for children, and breaking the chain of poverty by socioeconomic improvement. And, the national food security becomes the fundamental point for the betterment of the next. In the global context, the causes of under- and over- nutrition have to be opposed through integrated and systemic approaches for a better quality of the next generation of human beings.

Development and validation of the Statistical Anxiety Scale. 'Desarrollo y validaci??n de la Escala de Ansiedad ante la Estad??stica'

Resumen tomado de la publicaci??n

Development and initial validation of the Classroom Motivational Climate Questionnaire (CMCQ)

Resumen tomado de la publicaci??n

Forms of Student Engagement: development and application of the Southampton post-course research (UKSE) iSurvey for a traditionally taught module

Forms of Student Engagement: development and application of the Southampton post-course research (UKSE) iSurvey for a traditionally taught module

Sustainable Development and the Right to Water in Colombia

Water, considered as an environmental resource and as an economic and social good, should be part of the Colombian public agenda, not only not only in terms of the use and preservation of hydro resources, but also in terms of the social implications of its possession and use. The world wide preoccupation with the diminution of natural resources, species extinction and water shortage has its origins in the seventies. One of the results was the establishment of international conventions and agreements to achieve responsible management of natural resources. Regarding water as a resource, it is intrinsically bound to the Earth’s natural processes and ecosystems. As regards the Colombian case, the “right to water in Colombia” is analyzed taking into account: water as an integral part of sustainable development, the right to water as a global debate and, finally, the right to water in the Colombian context within the explanatory framework of the Water Referendum.

Development and/or change of the notion of permanent object and operative causality: empirical evidence in the first year of life

This study examines the notion of permanent object during the first year of life, taking into account the controversy of two approaches about the nature of change: developmental change and cognitive change. Using a longitudinal/cross-sectional design, tasks adapted of the subscale of permanent object and operative causality of the Uzgiris-Hunt Scale (Uzgiris and Hunt, 1975) (Uzgiris & Hunt, 1975) were presented to 110 infants of 0, 3, 6 and 9 months-old, which reside in three cities of Colombia. The results showed three types of strategies: (a) Not resolution; (b) Exploratory and (c) Resolution, which follow different trajectories in children’s performance. This allows affirming that adaptive conquests of the cognitive development stay together with the variety of strategies. Using strategies reveals adjustments and transformations of action programs that consolidate the notion of permanent object not necessarily with age, but with self-regulatory processes. Empirical evidence contributes to the understanding of the relations between the emergence of novelty in the development and performance variability

The new Facultad de Ciencias Naturales y Matemáticas at the Universidad del Rosario “Knowledge for sustainable development and welfare of society”

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Stock return comovements and integration within the Latin American integrated market

Financial integration has been pursued aggressively across the globe in the last fifty years; however, there is no conclusive evidence on the diversification gains (or losses) of such efforts. These gains (or losses) are related to the degree of comovements and synchronization among increasingly integrated global markets. We quantify the degree of comovements within the integrated Latin American market (MILA). We use dynamic correlation models to quantify comovements across securities as well as a direct integration measure. Our results show an increase in comovements when we look at the country indexes, however, the increase in the trend of correlation is previous to the institutional efforts to establish an integrated market in the region. On the other hand, when we look at sector indexes and an integration measure, we find a decreased in comovements among a representative sample of securities form the integrated market.

Una aproximación documental para la creación e integración de juegos digitales en entornos virtuales de enseñanza. A documental approach to the creation and integration of digital videogames in virtual learning environments

Desde el campo de la informática educativa, varios autores exponen el posible efecto positivo de incorporar videojuegos y simulaciones con elementos de juego en los procesos educativos. Esta postura continúa siendo objeto de debate y sus detractores identifican, dos problemas fundamentales, por un lado el excesivo coste de estas iniciativas y, por otro, su carácter limitado que obliga a que formen parte de variados procesos educativos.. En este trabajo se estudia cómo abordar estos dos problemas desde un punto de vista tecnológico. Se propone una plataforma menor que e-adventure, un entorno de desarrollo para juegos educativos. Esta plataforma aborda el primer problema planteando, un modelo de proceso de desarrollo inspirado en la aproximación documental al desarrollo de software. El modelo de proceso incluye la propuesta de un lenguaje de marcado extendido, XML, específico del dominio de las aventuras gráficas educativas. Este lenguaje es sencillo de utilizar y facilita la creación de este tipo de juegos e incluye construcciones específicamente educativas que dan soporte a la evaluación de la actividad del alumno y a patrones de aprendizaje adaptativo. El segundo problema se aborda proponiendo la integración de dichos juegos con plataformas de tele-enseñanza, LMS, que se emplean tanto en la enseñanza a través de internet como en aproximaciones del aprendizaje electrónico, e-learning, combinadas con la enseñanza tradicional.. Se incluye la implementación de un prototipo de la plataforma propuesta y varios juegos educativos desarrollados con ella, en colaboración con investigadores e instructores de otros campos..

Extensión de la especificación IMS Learning Design desde la adaptación e integración de unidades de aprendizaje. `Extension of the IMS Learnin Design specification based on adaptation and integration of units of learning´.

La tesis se centra en el aprendizaje personalizado y en la integración de Unidades de Aprendizaje. El objetivo fundamental es mejorar la expresividad pedagógica de IMS-LD, refinando estructuras de modelado y arquitectura existentes y desarrollando estructuras complementarias que permitan una formalización más precisa, versátil y sencilla de procesos de aprendizaje adaptativo y de mecanismos y procesos de integración con sistemas de aprendizaje y otras especificaciones. En esta tesis se estudia la especificación desde la base, analizando su modelo de información y cómo se construyen Unidades de Aprendizaje. Se analiza la estructura de la especificación, basándose en un estudio teórico y una investigación práctica fruto del modelado de Unidades de Aprendizaje reales y ejecutables que proporcionan una información útil de base. A partir de este estudio, se analiza la integración de Unidades de Aprendizaje con otros sistemas y especificaciones, abarcando desde la integración mínima mediante un enlace directo hasta compartir variables y estados que permiten una comunicación en tiempo real de ambas partes. La conclusión es que IMS-LD necesita una reestructuración y modificación de ciertos elementos, así como la incorporación de otros nuevos, para mejorar una expresividad pedagógica y una capacidad de integración con otros sistemas de aprendizaje y estándares eLearning, si se pretenden alcanzar: la personalización del proceso de aprendizaje y la interoperabilidad real. La implantación de la especificación se vería mejorada si existieran unas herramientas de más alto nivel, preferiblemente con planteamiento visual, que permitieran un modelado sencillo por parte de los usuarios finales reales de este tipo de especificaciones, como son los profesores, los creadores de contenido y los pedagogos-didactas que diseñan la experiencia de aprendizaje.