基于光学对准的光刻机投影物镜密集线焦深原位检测技术

提出了一种检测光刻机投影物镜密集线焦深（DOF）的新技术。该技术将具有精细结构的测量标记曝光在硅片上，硅片显影后，由光学对准系统获取曝光在硅片上的测量标记图形的对准位置信息，根据对准位置信息计算得到视场中各点的焦深。与传统的FEM焦深测试技术相比，该技术具有测量精度高、速度快、成本低、操作简单等优点，在光刻工艺参数优化及光刻设备性能评价等方面有很好的应用前景。

Coma measurement using a PSM and transmission image sensor

As feature size decreases, especially with the use of resolution enhancement technique, requirements for the coma aberrations in the projection lenses of the lithographic tools have become extremely severe. So, fast and accurate in situ measurement of coma is necessary. In the present paper, we present a new method for characterizing the coma aberrations in the projection lens using a phase-shifting mask and a transmission image sensor. By measuring the image positions at multiple NA and partial coherence settings, we are able to extract the coma aberration. The simulation results show that the accuracy of coma measurement increases approximately 20% compared to the previous straightforward measurement technique. (c) 2005 Elsevier GmbH. All rights reserved.

一种新的光刻机像质参数热漂移检测技术

提出了一种新的光刻机像质参数热漂移原位检测技术（TDFM）。详细分析了该技术利用镜像测试标记检测投影物镜最佳焦面热漂移与放大倍率热漂移的基本原理。实验结果表明TDFM技术可同时实现最佳焦面热漂移（FFT）与放大倍率热漂移（MFT）的精确测量。与现有的放大倍率热漂移检测技术相比，该技术有效地解决了放大倍率热漂移技术中放大倍率热漂移受最佳焦面热漂移影响的问题，简化了光刻机像质参数前馈校正的测试过程，测试成本与耗时均减少50％。

一种步进扫描投影光刻机承片台不平度检测新技术

提出一种步进扫描投影光刻机承片台不平度检测新技术。在晶圆与承片台存在不同偏移量时,利用线性差分传感器在线测量晶圆上不同点的局部高度;通过建立临时边界条件,以递推法消除晶圆面形影响,并逐行计算出承片台的相对不平度;通过逐行计算的结果递推相邻行之间的高度差,并将该高度差叠加到每一行,以消除临时边界条件的限制,得到处于同一高度上的承片台不平度;将计算的结果作为初始值,根据最小二乘原理,以邻近的四个测量点作为参考,逐步逼近得到承片台的真实不平度。计算机仿真结果验证了该检测方法的正确性,计算结果逐步收敛并逼近真实值

Novos territórios da escritura: reflexões sobre exotismo e identidade em Amélie Nothomb e Adriana Lisboa

O exotismo, em sua projeção literária, é um conceito relacionado ao imperialismo e ao relato da aventura. Cabe, assim, questionar o emprego de semelhante conceito na produção literária contemporânea, inserida em um mundo mapeado, cosmopolita e de fronteiras fluidas. No esteio da reflexão sobre o exotismo literário no século XXI, os conceitos de alteridade e de identidade ganham peso, expondo um sujeito multifacetado e descentrado, que se equilibra na corda bamba entre realidade e ficção. Está preparado, assim, o terreno para a transgressão de gêneros canônicos, como a autobiografia, gerando novas perspectivas de abordagem do posicionamento do autor no campo literário e ampliando conceitos como os de autoficção e de espaço biográfico. No mesmo movimento, o fenômeno da desterritorialização conduz autores e leitores a novos espaços, nem sempre físicos, mas talvez propícios a inéditas viagens pelo caminho da arte

Clasificación del formato tridimensional de materiales líticos desde una perspectiva geoarqueológica

Homenaje a Georges Laplace, realizado en Vitoria-Gasteiz el 13, 14 y 15 de noviembre de 2012. Edición a cargo de Aitor Calvo, Aitor Sánchez, Maite García-Rojas y Mónica Alonso-Eguíluz.

On the Cesari fixed point method in a Banach space

In a paper published in 1961, L. Cesari [1] introduces a method which extends certain earlier existence theorems of Cesari and Hale ([2] to [6]) for perturbation problems to strictly nonlinear problems. Various authors ([1], [7] to [15]) have now applied this method to nonlinear ordinary and partial differential equations. The basic idea of the method is to use the contraction principle to reduce an infinite-dimensional fixed point problem to a finite-dimensional problem which may be attacked using the methods of fixed point indexes.

The following is my formulation of the Cesari fixed point method:

Let B be a Banach space and let S be a finite-dimensional linear subspace of B. Let P be a projection of B onto S and suppose Г≤B such that pГ is compact and such that for every x in PГ, P^-1x∩Г is closed. Let W be a continuous mapping from Г into B. The Cesari method gives sufficient conditions for the existence of a fixed point of W in Г.

Let I denote the identity mapping in B. Clearly y = Wy for some y in Г if and only if both of the following conditions hold:

(i) Py = PWy.

(ii) y = (P + (I - P)W)y.

Definition. The Cesari fixed paint method applies to (Г, W, P) if and only if the following three conditions are satisfied:

(1) For each x in PГ, P + (I - P)W is a contraction from P^-1x∩Г into itself. Let y(x) be that element (uniqueness follows from the contraction principle) of P^-1x∩Г which satisfies the equation y(x) = Py(x) + (I-P)Wy(x).

(2) The function y just defined is continuous from PГ into B.

(3) There are no fixed points of PWy on the boundary of PГ, so that the (finite- dimensional) fixed point index i(PWy, int PГ) is defined.

Definition. If the Cesari fixed point method applies to (Г, W, P) then define i(Г, W, P) to be the index i(PWy, int PГ).

The three theorems of this thesis can now be easily stated.

Theorem 1 (Cesari). If i(Г, W, P) is defined and i(Г, W, P) ≠0, then there is a fixed point of W in Г.

Theorem 2. Let the Cesari fixed point method apply to both (Г, W, P₁) and (Г, W, P₂). Assume that P₂P₁=P₁P₂=P₁ and assume that either of the following two conditions holds:

(1) For every b in B and every z in the range of P₂, we have that ‖b=P₂b‖ ≤ ‖b-z‖

(2)P₂Г is convex.

Then i(Г, W, P₁) = i(Г, W, P₂).

Theorem 3. If Ω is a bounded open set and W is a compact operator defined on Ω so that the (infinite-dimensional) Leray-Schauder index i_LS(W, Ω) is defined, and if the Cesari fixed point method applies to (Ω, W, P), then i(Ω, W, P) = i_LS(W, Ω).

Theorems 2 and 3 are proved using mainly a homotopy theorem and a reduction theorem for the finite-dimensional and the Leray-Schauder indexes. These and other properties of indexes will be listed before the theorem in which they are used.

Coma measurement by use of an alternating phase-shifting mask mark with a specific phase width

The correlation between the coma sensitivity of the alternating phase-shifting mask (Alt-PSM) mark and the mark's structure is studied based on the Hopkins theory of partially coherent imaging and positive resist optical lithography (PROLITH) simulation. It is found that an optimized Alt-PSM mark with its phase width being two-thirds its pitch has a higher sensitivity to coma than Alt-PSM marks with the same pitch and the different phase widths. The pitch of the Alt-PSM mark is also optimized by PROLITH simulation, and the structure of p - 1.92 lambda/NA and pw = 2p/3 proves to be with the highest sensitivity. The optimized Alt-PSM mark is used as a measurement mark to retrieve coma aberration from the projection optics in lithographic tools. In comparison with an ordinary Alt-PSM mark with its phase width being a half its pitch, the measurement accuracies of Z(7) and Z(14) apparently increase. (C) 2009 Optical Society of America

De Flor do Lácio à Língua Global: uma análise discursiva das relações de poder nas políticas linguísticas para a promoção, a difusão e a projeção do português da Comunidade dos Países de Língua Portuguesa (CPLP)

Nesta última década notamos uma série de políticas que visam ampliar a presença da língua portuguesa no mundo, tais como a inauguração da TV Brasil Internacional (2010), no âmbito do governo brasileiro ou a entrada em vigor do acordo ortográfico de 1990 (2009), no âmbito da Comunidade dos Países de Língua Portuguesa (CPLP), organização internacional formada por todos os países de língua oficial portuguesa. Diante desse panorama, esta pesquisa propõe-se a contribuir para a compreensão do papel de políticas linguísticas na configuração do que seja a expansão do português no mundo contemporâneo. Para isso, partimos das premissas de que todo discurso é polêmico pelo princípio da interincompreensão constitutiva (MAINGUENEAU, 2008 [1984]), e de que todo texto político-jurídico-normativo busca apagar, superar essa polêmica e construir um sentido único. Esse caminho teórico-metodológico, nos leva a questionar sobre que processos discursivos constroem essa busca de univocidade para superar a polêmica nos documentos de políticas linguísticas para a expansão do português? Quais coerções foram enfatizadas? De que maneira o enunciador se apresenta em nome dessa univocidade? Acreditamos que encontrar respostas a essas indagações nos levem a discutir relações de poder que sustentam essas políticas linguísticas de expansão do português nesta última década. Para desenvolver nossa pesquisa, selecionamos como corpora de análise, declarações e resoluções da Conferência de Chefes de Estado e de Governo e do Conselho de Ministros da CPLP sobre a difusão e promoção da língua portuguesa, por causa do poder político e simbólico, que essa organização representa em relação à temática. Assim, pudemos identificar quatro posições/faces de enunciadores, o ufanista, o defensor, o apreensivo e o idealista-apaziguador, que juntos compõem um enunciador, que chamamos de super graças a sua memória e a sua competência interdiscursivas e sua maneira específica de enunciar, que potencializam o poder imperativo de seus enunciados. Nas sequências discursivas analisadas podemos constatar que esse (super)enunciador na busca da adesão do coenunciador, articula alianças (a língua portuguesa comum, a sociedade civil) e oposições (diversidade cultural dos países, a língua inglesa) na construção de uma aparente homogeneidade linguística a fim de superar a heterogeneidade fundante da própria CPLP. Desse modo, as polêmicas são silenciadas e podemos notar um processo de construção de um novo sentido de língua portuguesa, homogeneizante em contraposição a outro já em curso de gramatização e heterogeneização das línguas portuguesas nacionais

A demanda por moeda no Brasil no período 1974-2008: estimativas sob expectativas adaptativas e racionais

O objetivo principal desta dissertação é analisar a demanda por moeda no Brasil no período 1974 a 2008, lembrando que ele inclui sub-períodos de inflação elevada, e baixa, e levando em conta hipóteses alternativas quanto à formação de expectativas. A especificação adotada é a de Tourinho (1995), que generaliza a de Cagan (1956) para permitir uma forma funcional mais flexível e incorporar outras variáveis, além da inflação esperada, como variáveis explicativas. Verifica-se que estas extensões são importantes para modelar a demanda por saldos monetários reais no período aqui considerado. A forma funcional semi-log de Cagan é rejeitada, em favor de uma forma funcional flexível Box-Cox, e os coeficientes da taxa de juros real e da variância da inflação são significativos, mostrando a importância destas variáveis serem inseridas ao modelo. A função estimada para o período completo é comparada com aquelas estimadas para os sub-periodos de inflação alta e moderada, para verificar a estabilidade da formulação adotada. Conclui-se que se pode rejeitar a hipótese de que ela é estável. O modelo de Cagan é generalizado aqui em outra dimensão, considerando mecanismos alternativos de formação de expectativas, que podem ser adaptativas, como no modelo original, ou racionais. A hipótese de que expectativas adaptativas sejam racionais é também considerada. Conclui-se que a imposição da condição de racionalidade ao modelo com expectativas adaptativas não produz alterações importantes nos valores estimados.

Impacto econômico do absenteísmo de enfermagem por doença em um hospital universitário do Rio de Janeiro-RJ

Trata-se de uma pesquisa documental, retrospectiva de fonte secundária,que adota uma abordagem quantitativa descritiva-exploratória. A partir da constatação de altos índices de absenteísmo nas unidades hospitalares, despertou-se o interesse em estudar os custos diretos das doenças ocupacionais que levam aos afastamentos e seu impacto econômico para o orçamento de recursos humanos de um hospital universitário do Rio de Janeiro. Neste contexto, definiu-se como objeto de estudo, o impacto econômico do absenteísmo por doença na equipe de enfermagem e, como objetivos: identificar as causas prevalentes de afastamentos no hospital universitário, de acordo com Classificação Internacional de Doenças e Problemas Relacionados a Saúde (CID-10); estimar os custos diretos mínimos das doenças que afastaram o trabalhador de enfermagem; estimar o custo real aproximado do absenteísmo relacionado a 1 (um) dia de trabalho prestado pelos trabalhadores de enfermagem, com projeção de 1 (um) mês e 1(um) ano numa visão operacional do Sistema Único de Saúde (SUS). Foi utilizada uma amostra estratificada de prontuários dos profissionais de saúde da equipe de enfermagem (enfermeiros e técnicos de enfermagem), a partir do seguinte critério de inclusão: profissionais de enfermagem concursados com afastamento no ano de 2010 e com diagnóstico médico determinante do afastamento, definido claramente. Para a coleta das informações foi feita a apreciação dos documentos arquivados no Serviço de Saúde do Trabalhador do hospital estudado e contou com a apreciação de especialistas médicos relativos aos grupos de diagnósticos estudados, orientados por roteiros criados pela pesquisadora. Os dados foram analisados e armazenados no programa Statistical Package for the Social Sciences (SPSS) versão 15 e no editor Microsoft excel 2003. Dentre os resultados obtidos tiveram destaque para as seguintes causas de afastamento, respectivamente, às doenças do sistema osteomuscular, os fatores que influenciam o estado de saúde e o contato com serviços de saúde, os transtornos mentais e comportamentais, as lesões, envenenamento e outras consequencias de causas externas e, as doenças do sistema circulatório, que representam um custo estimado aproximado de R$ 2,6 milhões. Pôde-se constatar que o impacto econômico do absenteísmo decorrentes dos agravos à saúde para o orçamento de recursos humanos do hospital universitário foi de aproximadamente 2,7%. O custo real aproximado do absenteísmo de enfermagem por dia, foi avaliado em R$ 92,50, tendo projeção mensal de R$ 2.775,00 e anual de R$ 33.300,00. Recomenda-se avaliar o absenteísmo dos profissionais regularmente para identificar as causas reais do absenteísmo por doença, a fim de definir metas para os programas de intervenção à saúde dos trabalhadores e promover uma Gestão participativa que favoreça uma análise do processo de trabalho no que concerne o atendimento das necessidades de saúde e operacionais da força de trabalho, determinantes do absenteísmo.

Ditos populares em músicas do cancioneiro popular: uma abordagem cognitiva

Nesta dissertação, analisam-se alguns ditos populares retomados em músicas do cancioneiro popular, com base na teoria da metáfora conceptual (Lakoff e Jonhson, 1980; Kövecses, 2002), e na teoria da integração conceptual (Fauconnier e Turner, 2002). Busca se investigar se a projeção metafórica presente no dito empregado em situações cotidianas se sustenta, quando o mesmo é retomado em uma letra de música. Este estudo encontra sua justificativa em uma das assunções basilares da linguística cognitiva de que as metáforas conceptuais estão presentes tanto nas conversas cotidianas quanto nas manifestações literárias e artísticas. Pretende se, assim, observar a multidirecionalidade dos processos de significação desse tipo de construção linguística, a fim de postular seu poder projetivo e metafórico na mente dos falantes. Dentro do repertório de construções proverbiais em português, é perceptível a construção proverbial condicional com a configuração sintático semântica [x P Q], entre as quais foi escolhida como objeto de estudo a configuração [Quem P Q]. A escolha das músicas foi aleatória, já que não se buscou um gênero ou estilo específico, mas canções que possuíssem ditos populares em suas letras. Na análise, de cunho interpretativo, procedeu-se a identificação do papel da metáfora conceptual presente no dito empregado em situações cotidianas e nas 10 músicas selecionadas para este estudo. Em seguida, postularam-se redes de integração conceptual subjacente ao sentido dos ditos nas interações em geral e nas músicas, de modo a explicar que as diferenças de sentido observadas ou não nos ditos transpostos para letras de músicas estão relacionadas ao tipo de rede de integração conceptual ativado durante o processo de mesclagem. As redes de integração postuladas para explicar a construção de sentido dos ditos e destes nas músicas analisadas, revelam compressões das relações de CAUSA EFEITO, MUDANÇA, IDENTIDADE, ANALOGIA DESANALOGIA e TEMPO, devido, sobretudo, ao papel que os ditos desempenham ao ilustrar cenas da vida das pessoas. Entre as metáforas que estruturam os ditos, nas interações e nas músicas, encontram-se A VIDA É UMA VIAGEM / A VIDA É UM TRAJETO QUE DEVE SER PERCORRIDO COM CAUTELA / VIDA É UM JOGO DE AZAR; TEMPO É LOCAL PARA ONDE ALGO SE DESLOCA; DIFICULDADES SÃO IMPEDIMENTOS (IN) TRANSPONÍVEIS; RELIGIÃO É UMA TRANSAÇÃO COMERCIAL; MORAL É UM OBJETO PRECIOSO (MAS FRÁGIL COMO O VIDRO); EXAGEROS SÃO GOLPES INCERTOS. Espera-se que a hipótese aventada com este estudo motive outras pesquisas sob o escopo teórico da Linguística Cognitiva; em especial, as teorias da metáfora e da mesclagem conceptual, as quais revelaram um potencial descritivo promissor para análise de fenômenos semântico-pragmáticos da língua portuguesa, como os ditos populares, construções situadas no topo da escala de idiomaticidade

A cidade imaginada: a elite empresarial carioca e a construção de projeto para a cidade do Rio de Janeiro nos anos 1990

O objetivo deste trabalho é investigar a influência da elite empresarial local nas alternativas políticas para a cidade do Rio de Janeiro ao longo dos anos 1990. A importância de compreender o papel da elite empresarial carioca na construção de um projeto político para a cidade do Rio de Janeiro está pautada no postulado de que essa elite é peça fundamental para a projeção da cidade, atuando em várias esferas de poder, entre as quais o Executivo e o Legislativo estadual e municipal. A nossa investigação baseia-se, também, no fato de que os gestores da prefeitura, ao construir um projeto para cidade do Rio de Janeiro, estiveram atentos ao empresariado local, compondo parcerias. Neste sentido, a nossa pesquisa procurou analisar os aspectos políticos e ideológicos sobre os quais se fundamentaram tais parcerias. Tal influência ocorreu de diversas formas: projetos liderados pelos empresários cariocas, cargos no executivo e criação de conselhos empresariais para a resolução de determinados problemas da cidade.

Meio Ambiente sob a ótica da sustentabilidade dos Jogos Olímpicos de 2016 no Rio de Janeiro: aspectos da gestão de resíduos.

A cidade do Rio de Janeiro foi eleita sede dos Jogos Olímpicos e Paraolímpicos de 2016 e são previstos impactos significativos em investimento e na geração de emprego, atrelados a isto existe a preocupação com as questões ambientais e a sustentabilidade do evento. No dossiê de candidatura do Rio de Janeiro a sede dos Jogos Olímpicos de 2016, existia o compromisso com a gestão dos resíduos sólidos. As grandes linhas de ações foram definidas quando do lançamento da candidatura do Rio de Janeiro a sede do evento, fato este que se concretizou em 02 de outubro de 2009. A gestão dos resíduos para 2016 é ainda carente de informações quantitativas de sua geração, das necessidades de adaptações das instalações para o período de realização do evento, bem como da definição de metas para que a gestão dos resíduos devidamente alinhadas com os preceitos do desenvolvimento sustentável. O objetivo deste estudo é avaliar sub o conceito de desenvolvimento sustentável a gestão de resíduos sólidos durante a realização dos Jogos Olímpicos de 2016 na cidade do Rio de Janeiro. A metodologia consiste no levantamento histórico dos Jogos Olímpicos com especial detalhamento nas questões ligadas ao conceito de desenvolvimento sustentável e gestão de resíduos, análise dos Jogos Pan-americanos do Rio de Janeiro, levantamento em campo da preparação dos Jogos Olímpicos de Londres, observações em campo na cidade do Rio de Janeiro e a análise de dados para o cálculo da estimativa de geração de resíduos durante a realização dos Jogos de 2016. As comparações com outros eventos demonstraram semelhanças e diferenças com os Jogos Olímpicos de 2016 e possibilitou a apresentação de proposições para a gestão de resíduos sólidos. A projeção de geração de resíduos durante o evento é significativa e aponta a necessita de atenção para potencializar as ações como coleta seletiva, reciclagem e compostagem. São indicados estudos futuros sobre a gestão dos resíduos, em especial da construção civil durante as obras das futuras instalações, algumas delas já em curso.