基于人工神经网络权值优化的投影光刻机像质校正灵敏矩阵的计算方法

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Autoria(s): 施伟杰; 王向朝; 张冬青; 王帆

Data(s)	2006
Identificador	http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/1900 http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/10475
Idioma(s)	中文
Fonte	施伟杰;王向朝;张冬青;王帆;.基于人工神经网络权值优化的投影光刻机像质校正灵敏矩阵的计算方法,中国激光,2006,33(4):516-520
Tipo	期刊论文