Systematics of properties of the electron gas in deep-etched quantum wires

An efficient method is developed for an iterative solution of the Poisson and Schro¿dinger equations, which allows systematic studies of the properties of the electron gas in linear deep-etched quantum wires. A much simpler two-dimensional (2D) approximation is developed that accurately reproduces the results of the 3D calculations. A 2D Thomas-Fermi approximation is then derived, and shown to give a good account of average properties. Further, we prove that an analytic form due to Shikin et al. is a good approximation to the electron density given by the self-consistent methods.

Distribution, diversity and biology of deep-sea fishes in the Indian EEZ

This thesis Entitled distribution ,diversity and biology of deep-sea fishes the indian Eez.Fishing rights and responsibilities it entails in the deep-sea sector has been a vexed issue since the mid-nineties and various stakeholders have different opinion on the modalities of harnessing the marine fisheries wealth, especially from the oceanic and deeper waters. The exploitation and utilization of these esources requires technology development and upgradation in harvest and post-harvest areas; besides shore infrastructure for berthing, handling, storing and processing facilities. At present, although deep-sea fishes don’t have any ready market in our country it can be converted into value added products. Many problems have so far confronted the deep-sea fishing sector not allowing it to reach its full potential. Hence, there should be a sound deep-sea fishing policy revolving round the upgradation of the capabilities of small scale fishermen, who have the inherent skills but do not have adequate support to develop themselves and to acquire vessels having the capability to operate in farther and deeper waters. Prospects for the commercial exploitation and utilization of deep-sea fishes were analyzed using SWOL analysis.

Quantum dynamics of crystals of molecular nanomagnets inside a resonant cavity

It is found that crystals of molecular nanomagnets exhibit enhanced magnetic relaxation when placed inside a resonant cavity. A strong dependence of the magnetization curve on the geometry of the cavity has been observed, providing indirect evidence of the coherent microwave radiation by the crystals. A similar dependence has been found for a crystal placed between the Fabry-Perot superconducting mirrors.

The Systematics, Distribution and Bionomics of Deep sea fishes beyond depth 200m along the South west coast of India

Reducing fishing pressure in coastal waters is the need of the day in the Indian marine fisheries sector of the country which is fast changing from a mere vocational activity to a capital intensive industry. It requires continuous monitoring of the resource exploitation through a scientifically acceptable methodology, data on production of each species stock, the number and characteristics of the fishing gears of the fleet, various biological characteristics of each stock, the impact of fishing on the environment and the role of fishery—independent on availability and abundance. Besides this, there are issues relating to capabilities in stock assessment, taxonomy research, biodiversity, conservation and fisheries management. Generation of reliable data base over a fixed time frame, their analysis and interpretation are necessary before drawing conclusions on the stock size, maximum sustainable yield, maximum economic yield and to further implement various fishing regulatory measures. India being a signatory to several treaties and conventions, is obliged to carry out assessments of the exploited stocks and manage them at sustainable levels. Besides, the nation is bound by its obligation of protein food security to people and livelihood security to those engaged in marine fishing related activities. Also, there are regional variabilities in fishing technology and fishery resources. All these make it mandatory for India to continue and strengthen its marine capture fisheries research in general and deep sea fisheries in particular. Against this background, an attempt is made to strengthen the deep sea fish biodiversity and also to generate data on the distribution, abundance, catch per unit effort of fishery resources available beyond 200 m in the EEZ of southwest coast ofIndia and also unravel some of the aspects of life history traits of potentially important non conventional fish species inhabiting in the depth beyond 200 m. This study was carried out as part of the Project on Stock Assessment and Biology of Deep Sea Fishes of Indian EEZ (MoES, Govt. of India).

A Novel Isoform of the Hepatic Antimicrobial Peptide, Hepcidin (Hepc-CB1), from a Deep-Sea Fish, the Spinyjaw Greeneye Chlorophthalmus bicornis (Norman, 1939): Molecular Characterisation and Phylogeny

Hepcidin is cysteine-rich short peptide of innate immune system of fishes, equipped to perform prevention and proliferation of invading pathogens like bacteria and viruses by limiting iron availability and activating intracellular cascades. Hepcidins are diverse in teleost fishes, due to the varied aquatic environments including exposure to pathogens, oxygenation and iron concentration. In the present study, we report a 87-amino acid (aa) preprohepcidin (Hepc-CB1) with a signal peptide of 24 aa, a prodomain of 39 aa and a bioactive mature peptide of 24 aa from the gill mRNA transcripts of the deep-sea fish spinyjaw greeneye, Chlorophthalmus bicornis. Molecular characterisation and phylogenetic analysis categorised the peptide to HAMP2-like group with a mature peptide of 2.53 kDa; a net positive charge (?3) and capacity to form b-hairpin-like structure configured by 8 conserved cysteines. The present work provides new insight into the mass gene duplication events and adaptive evolution of hepcidin isoforms with respect to environmental influences and positive Darwinian selection. This work reports a novel hepcidin isoform under the group HAMP2 from a nonacanthopterygian deep-sea fish, C. bicornis

Fishery and biology of deep-sea chondrichthyans off the southwest coast of india

Elasmobranchs comprising sharks, skates and rays have traditionally formed an important fishery along the Indian coast. Since 2000, Indian shark fishermen are shifting their fishing operations to deeper/oceanic waters by conducting multi-day fishing trips, which has resulted in considerable changes in the species composition of the landings vis- a-vis those reported during the 1980’s and 1990’s. A case study at Cochin Fisheries Harbour (CFH), southwest coast of India during 2008-09 indicated that besides the existing gillnet–cum- hooks & line and longline fishery for sharks, a targeted fishery at depths >300-1000 m for gulper sharks (Centrophorus spp.) has emerged. In 2008, the chondrichthyan landings (excluding batoids) were mainly constituted by offshore and deep-sea species such as Alopias superciliosus (24.2%), Carcharhinus limbatus (21.1%), Echinorhinus brucus (8.2%), Galeocerdo cuvier (5.4%), Centrophorus spp. (7.3%) and Neoharriotta pinnata (4.2%) while the contribution by the coastal species such as Sphyrna lewini (14.8%), Carcharhinus sorrah (1.4%) and other Carcharhinus spp. has reduced. Several deep-sea sharks previously not recorded in the landings at Cochin were also observed during 2008-09. It includes Hexanchus griseus, Deania profundorum, Zameus squamulosus and Pygmy false catshark (undescribed) which have been reported for the first time from Indian waters. Life history characteristics of the major fished species are discussed in relation to the fishery and its possible impacts on the resource

Deep-sea shrimp fishery off Kerala coast with emphasis on biology and population characteristics of Plesionika quasigrandis Chace, 1985

The present study is the first attempt to understand population characteristics of the deep-sea pandalid shrimp, P. quasigrandis and to assess the status of these resources off Kerala coast.Total mortality coefficient (Z) of P. quasigrandis estimated by various methods.Natural mortality coefficient (M) calculated was 0.65 and 1.02 by Pauly‟sempirical formula and Srinaths‟s formula respectively The deep-sea shrimp P. quasigrandis exploited from the present fishing ground and their monetary return has started showing a declining trend. By observing the current yield and economic return, there is no further scope for increasing the catch from the present fishing ground. The study indicated that majority of the deep-sea shrimp trawlers, especially targeted for pandalid shrimps still concentrated off Kollam area (Quilon Bank). Even though researchers had located several potential deep-sea fishing grounds based on exploratory surveys in Indian EEZ , fishermen are unaware of these fishing grounds located and hence sharing the information about new potential deep-sea fishing grounds could avert the possible stock decline due to the intensive targeted deep-sea shrimp fishery in the Quilon Bank. Hence, the present study recommended that part of the effort from existing fishing grounds may be shifted to newly located deep-sea fishing grounds which will help in a sustainableexploitation of deep-sea resources off Kerala coast.

Studies on Selected Myctophid Fishes in Arabian Sea with respect to their Status in Deep Sea Trawl Bycatch, Length-Weight Relationship, Reproductive Biology and Population Dynamics

Available information on abundance of myctophids and their utilisation indicate that there is excellent scope for development of myctophid fisheries in Indian Ocean. Most of the conventional fish stocks have reached a state of full exploitation or over-exploitation. Hence there is need to locate new and conventional fishery resources in order to fill in the supply-demand gap, in the face of increasing demand for fish. Information on length-weight relationship, age and growth, spawning season, fecundity and age at maturity and information on bycatch discards are required for sustainable utilization of myctophid resource in the Indian Ocean

Air-gap based vertical cavity micro-opto-electro-mechanical Fabry-Perot filters

Mikrooptische Filter sind heutzutage in vielen Bereichen in der Telekommunikation unersetzlich. Wichtige Einsatzgebiete sind aber auch spektroskopische Systeme in der Medizin-, Prozess- und Umwelttechnik. Diese Arbeit befasst sich mit der Technologieentwicklung und Herstellung von luftspaltbasierenden, vertikal auf einem Substrat angeordneten, oberflächenmikromechanisch hergestellten Fabry-Perot-Filtern. Es werden zwei verschiedene Filtervarianten, basierend auf zwei verschiedenen Materialsystemen, ausführlich untersucht. Zum einen handelt es sich dabei um die Weiterentwicklung von kontinuierlich mikromechanisch durchstimmbaren InP / Luftspaltfiltern; zum anderen werden neuartige, kostengünstige Siliziumnitrid / Luftspaltfilter wissenschaftlich behandelt. Der Inhalt der Arbeit ist so gegliedert, dass nach einer Einleitung mit Vergleichen zu Arbeiten und Ergebnissen anderer Forschergruppen weltweit, zunächst einige theoretische Grundlagen zur Berechnung der spektralen Reflektivität und Transmission von beliebigen optischen Schichtanordnungen aufgezeigt werden. Auß erdem wird ein kurzer theoretischer Ü berblick zu wichtigen Eigenschaften von Fabry-Perot-Filtern sowie der Möglichkeit einer mikromechanischen Durchstimmbarkeit gegeben. Daran anschließ end folgt ein Kapitel, welches sich den grundlegenden technologischen Aspekten der Herstellung von luftspaltbasierenden Filtern widmet. Es wird ein Zusammenhang zu wichtigen Referenzarbeiten hergestellt, auf denen diverse Weiterentwicklungen dieser Arbeit basieren. Die beiden folgenden Kapitel erläutern dann ausführlich das Design, die Herstellung und die Charakterisierung der beiden oben erwähnten Filtervarianten. Abgesehen von der vorangehenden Epitaxie von InP / GaInAs Schichten, ist die Herstellung der InP / Luftspaltfilter komplett im Institut durchgeführt worden. Die Herstellungsschritte sind ausführlich in der Arbeit erläutert, wobei ein Schwerpunktthema das trockenchemische Ä tzen von InP sowie GaInAs, welches als Opferschichtmaterial für die Herstellung der Luftspalte genutzt wurde, behandelt. Im Verlauf der wissenschaftlichen Arbeit konnten sehr wichtige technische Verbesserungen entwickelt und eingesetzt werden, welche zu einer effizienteren technologischen Herstellung der Filter führten und in der vorliegenden Niederschrift ausführlich dokumentiert sind. Die hergestellten, für einen Einsatz in der optischen Telekommunikation entworfenen, elektrostatisch aktuierbaren Filter sind aus zwei luftspaltbasierenden Braggspiegeln aufgebaut, welche wiederum jeweils 3 InP-Schichten von (je nach Design) 357nm bzw. 367nm Dicke aufweisen. Die Filter bestehen aus im definierten Abstand parallel übereinander angeordneten Membranen, die über Verbindungsbrücken unterschiedlicher Anzahl und Länge an Haltepfosten befestigt sind. Da die mit 357nm bzw. 367nm vergleichsweise sehr dünnen Schichten freitragende Konstrukte mit bis zu 140 nm Länge bilden, aber trotzdem Positionsgenauigkeiten im nm-Bereich einhalten müssen, handelt es sich hierbei um sehr anspruchsvolle mikromechanische Bauelemente. Um den Einfluss der zahlreichen geometrischen Strukturparameter studieren zu können, wurden verschiedene laterale Filterdesigns implementiert. Mit den realisierten Filter konnte ein enorm weiter spektraler Abstimmbereich erzielt werden. Je nach lateralem Design wurden internationale Bestwerte für durchstimmbare Fabry-Perot-Filter von mehr als 140nm erreicht. Die Abstimmung konnte dabei kontinuierlich mit einer angelegten Spannung von nur wenigen Volt durchgeführt werden. Im Vergleich zu früher berichteten Ergebnissen konnten damit sowohl die Wellenlängenabstimmung als auch die dafür benötigte Abstimmungsspannung signifikant verbessert werden. Durch den hohen Brechungsindexkontrast und die geringe Schichtdicke zeigen die Filter ein vorteilhaftes, extrem weites Stopband in der Größ enordnung um 550nm. Die gewählten, sehr kurzen Kavitätslängen ermöglichen einen freien Spektralbereich des Filters welcher ebenfalls in diesen Größ enordnungen liegt, so dass ein weiter spektraler Einsatzbereich ermöglicht wird. Während der Arbeit zeigte sich, dass Verspannungen in den freitragenden InPSchichten die Funktionsweise der mikrooptischen Filter stark beeinflussen bzw. behindern. Insbesondere eine Unterätzung der Haltepfosten und die daraus resultierende Verbiegung der Ecken an denen sich die Verbindungsbrücken befinden, führte zu enormen vertikalen Membranverschiebungen, welche die Filtereigenschaften verändern. Um optimale Ergebnisse zu erreichen, muss eine weitere Verbesserung der Epitaxie erfolgen. Jedoch konnten durch den zusätzlichen Einsatz einer speziellen Schutzmaske die Unterätzung der Haltepfosten und damit starke vertikale Verformungen reduziert werden. Die aus der Verspannung resultierenden Verformungen und die Reaktion einzelner freistehender InP Schichten auf eine angelegte Gleich- oder Wechselspannung wurde detailliert untersucht. Mittels Weisslichtinterferometrie wurden lateral identische Strukturen verglichen, die aus unterschiedlich dicken InP-Schichten (357nm bzw. 1065nm) bestehen. Einen weiteren Hauptteil der Arbeit stellen Siliziumnitrid / Luftspaltfilter dar, welche auf einem neuen, im Rahmen dieser Dissertation entwickelten, technologischen Ansatz basieren. Die Filter bestehen aus zwei Braggspiegeln, die jeweils aus fünf 590nm dicken, freistehenden Siliziumnitridschichten aufgebaut sind und einem Abstand von 390nm untereinander aufweisen. Die Filter wurden auf Glassubstraten hergestellt. Der Herstellungsprozess ist jedoch auch mit vielen anderen Materialien oder Prozessen kompatibel, so dass z.B. eine Integration mit anderen Bauelemente relativ leicht möglich ist. Die Prozesse dieser ebenfalls oberflächenmikromechanisch hergestellten Filter wurden konsequent auf niedrige Herstellungskosten optimiert. Als Opferschichtmaterial wurde hier amorph abgeschiedenes Silizium verwendet. Der Herstellungsprozess beinhaltet die Abscheidung verspannungsoptimierter Schichten (Silizium und Siliziumnitrid) mittels PECVD, die laterale Strukturierung per reaktiven Ionenätzen mit den Gasen SF6 / CHF3 / Ar sowie Fotolack als Maske, die nasschemische Unterätzung der Opferschichten mittels KOH und das Kritisch-Punkt-Trocken der Proben. Die Ergebnisse der optischen Charakterisierung der Filter zeigen eine hohe Ü bereinstimmung zwischen den experimentell ermittelten Daten und den korrespondierenden theoretischen Modellrechnungen. Weisslichtinterferometermessungen der freigeätzten Strukturen zeigen ebene Filterschichten und bestätigen die hohe vertikale Positioniergenauigkeit, die mit diesem technologischen Ansatz erreicht werden kann.

Micro-electromechanical structural design and optimization of vertical cavity photonic devices with wide continuous tuning

Diese Arbeit umfaßt das elektromechanische Design und die Designoptimierung von weit durchstimmbaren optischen multimembranbasierten Bauelementen, mit vertikal orientierten Kavitäten, basierend auf der Finiten Element Methode (FEM). Ein multimembran InP/Luft Fabry-Pérot optischer Filter wird dargestellt und umfassend analysiert. In dieser Arbeit wird ein systematisches strukturelles Designverfahren dargestellt. Genaue analytische elektromechanischer Modelle für die Bauelemente sind abgeleitet worden. Diese können unschätzbare Werkzeuge sein, um am Anfang der Designphase schnell einen klaren Einblick zur Verfügung zu stellen. Mittels des FEM Programms ist der durch die nicht-lineare Verspannung hervorgerufene versteifende Effekt nachgeforscht und sein Effekt auf die Verlängerung der mechanischen Durchstimmungsstrecke der Bauelemente demonstriert worden. Interessant war auch die Beobachtung, dass die normierte Relation zwischen Ablenkung und Spannung ein unveränderliches Profil hat. Die Deformation der Membranflächen der in dieser Arbeit dargestellten Bauelementformen erwies sich als ein unerwünschter, jedoch manchmal unvermeidbarer Effekt. Es zeigt sich aber, dass die Wahl der Größe der strukturellen Dimensionen den Grad der Membrandeformation im Falle der Aktuation beeinflusst. Diese Arbeit stellt ein elektromechanisches in FEMLAB implementierte quasi-3D Modell, das allgemein für die Modellierung dünner Strukturen angewendet werden kann, dar; und zwar indem man diese als 2D-Objekte betrachtet und die dritte Dimension als eine konstante Größe (z.B. die Schichtdicke) oder eine Größe, welche eine mathematische Funktion ist, annimmt. Diese Annahme verringert drastisch die Berechnungszeit sowie den erforderlichen Arbeitsspeicherbedarf. Weiter ist es für die Nachforschung des Effekts der Skalierung der durchstimmbaren Bauelemente verwendet worden. Eine neuartige Skalierungstechnik wurde abgeleitet und verwendet. Die Ergebnisse belegen, dass das daraus resultierende, skalierte Bauelement fast genau die gleiche mechanische Durchstimmung wie das unskalierte zeigt. Die Einbeziehung des Einflusses von axialen Verspannungen und Gradientenverspannungen in die Berechnungen erforderte die Änderung der Standardimplementierung des 3D Mechanikberechnungsmodus, der mit der benutzten FEM Software geliefert wurde. Die Ergebnisse dieser Studie zeigen einen großen Einfluss der Verspannung auf die Durchstimmungseigenschaften der untersuchten Bauelemente. Ferner stimmten die Ergebnisse der theoretischen Modellrechnung mit den experimentellen Resultaten sehr gut überein.

Rechtmäßigkeit der "Deep Packet Inspection"

Definition und technische Beschreibung der Deep Packet Inspection-Technologie, Motive für ihren Einsatz bei Internetprovidern und die rechtliche Würdigung dieses Einsatzes anhand des geltenden deutschen Straf-, Daten- und Urheberrechts

deep plan - die Architektur der tiefen Geschossbauten

Die Arbeit untersucht ein Format der modernen Architektur: Tiefe Geschossbauten. Diese werden definiert als kompakte Gebäude mit mindestens vier Geschossebenen von mindestens 25 Metern Seitenlänge in beiden Richtungen ("tiefe Grundrisse", "deep plans") ohne zentralen Kern oder zentrales Atrium. Anstelle der Nutzung wird die Gebäudetiefe als entscheidender typologischer Parameter herausgearbeitet. Der einheitlich durchgehende Abbildungsmaßstab von 1:1000 für Grundrisse und Schnitte erlaubt den unmittelbaren visuellen Vergleich innerhalb der vorgestellten Gebäudereferenzen. Von den drei Teilen der Arbeit betrachtet Teil I die Referenzen der Zeit zwischen 1890 und 1990. Teil II untersucht die Referenzen seit 1990. Während für den ersten Teil eine chronologische Gliederung gewählt wurde, werden die Referenzen des zweiten Teils unter morphologischem Blickwinkel gruppiert. Dieser Wechsel der Perspektive signalisiert, wie in Teil III weiter ausgeführt wird, dass die neueren Referenzen als Entfaltung von Möglichkeiten, die in früheren Phasen der architektonischen Moderne angelegt waren, interpretiert werden können. Die Arbeit liegt somit in der Schnittmenge von Architekturgeschichte, Gebäudekunde und Entwurfstheorie.

Development of directly modulated high speed telecommunication lasers based on surface defined feedback gratings

High-speed semiconductor lasers are an integral part in the implemen- tation of high-bit-rate optical communications systems. They are com- pact, rugged, reliable, long-lived, and relatively inexpensive sources of coherent light. Due to the very low attenuation window that exists in the silica based optical fiber at 1.55 μm and the zero dispersion point at 1.3 μm, they have become the mainstay of optical fiber com- munication systems. For the fabrication of lasers with gratings such as, distributed bragg reflector or distributed feedback lasers, etching is the most critical step. Etching defines the lateral dimmensions of the structure which determines the performance of optoelectronic devices. In this thesis studies and experiments were carried out about the exist- ing etching processes for InP and a novel dry etching process was de- veloped. The newly developed process was based on Cl2/CH4/H2/Ar chemistry and resulted in very smooth surfaces and vertical side walls. With this process the grating definition was significantly improved as compared to other technological developments in the respective field. A surface defined grating definition approach is used in this thesis work which does not require any re-growth steps and makes the whole fabrication process simpler and cost effective. Moreover, this grating fabrication process is fully compatible with nano-imprint lithography and can be used for high throughput low-cost manufacturing. With usual etching techniques reported before it is not possible to etch very deep because of aspect ratio dependent etching phenomenon where with increasing etch depth the etch rate slows down resulting in non-vertical side walls and footing effects. Although with our de- veloped process quite vertical side walls were achieved but footing was still a problem. To overcome the challenges related to grating defini- tion and deep etching, a completely new three step gas chopping dry etching process was developed. This was the very first time that a time multiplexed etching process for an InP based material system was demonstrated. The developed gas chopping process showed extra ordinary results including high mask selectivity of 15, moderate etch- ing rate, very vertical side walls and a record high aspect ratio of 41. Both the developed etching processes are completely compatible with nano imprint lithography and can be used for low-cost high-throughput fabrication. A large number of broad area laser, ridge waveguide laser, distributed feedback laser, distributed bragg reflector laser and coupled cavity in- jection grating lasers were fabricated using the developed one step etch- ing process. Very extensive characterization was done to optimize all the important design and fabrication parameters. The devices devel- oped have shown excellent performance with a very high side mode suppression ratio of more than 52 dB, an output power of 17 mW per facet, high efficiency of 0.15 W/A, stable operation over temperature and injected currents and a threshold current as low as 30 mA for almost 1 mm long device. A record high modulation bandwidth of 15 GHz with electron-photon resonance and open eye diagrams for 10 Gbps data transmission were also shown.

From First Contact to Close Encounters: A Developmentally Deep Perceptual System for a Humanoid Robot

This thesis presents a perceptual system for a humanoid robot that integrates abilities such as object localization and recognition with the deeper developmental machinery required to forge those competences out of raw physical experiences. It shows that a robotic platform can build up and maintain a system for object localization, segmentation, and recognition, starting from very little. What the robot starts with is a direct solution to achieving figure/ground separation: it simply 'pokes around' in a region of visual ambiguity and watches what happens. If the arm passes through an area, that area is recognized as free space. If the arm collides with an object, causing it to move, the robot can use that motion to segment the object from the background. Once the robot can acquire reliable segmented views of objects, it learns from them, and from then on recognizes and segments those objects without further contact. Both low-level and high-level visual features can also be learned in this way, and examples are presented for both: orientation detection and affordance recognition, respectively. The motivation for this work is simple. Training on large corpora of annotated real-world data has proven crucial for creating robust solutions to perceptual problems such as speech recognition and face detection. But the powerful tools used during training of such systems are typically stripped away at deployment. Ideally they should remain, particularly for unstable tasks such as object detection, where the set of objects needed in a task tomorrow might be different from the set of objects needed today. The key limiting factor is access to training data, but as this thesis shows, that need not be a problem on a robotic platform that can actively probe its environment, and carry out experiments to resolve ambiguity. This work is an instance of a general approach to learning a new perceptual judgment: find special situations in which the perceptual judgment is easy and study these situations to find correlated features that can be observed more generally.

A Two-level Prediction Model for Deep Reactive Ion Etch (DRIE)

We contribute a quantitative and systematic model to capture etch non-uniformity in deep reactive ion etch of microelectromechanical systems (MEMS) devices. Deep reactive ion etch is commonly used in MEMS fabrication where high-aspect ratio features are to be produced in silicon. It is typical for many supposedly identical devices, perhaps of diameter 10 mm, to be etched simultaneously into one silicon wafer of diameter 150 mm. Etch non-uniformity depends on uneven distributions of ion and neutral species at the wafer level, and on local consumption of those species at the device, or die, level. An ion–neutral synergism model is constructed from data obtained from etching several layouts of differing pattern opening densities. Such a model is used to predict wafer-level variation with an r.m.s. error below 3%. This model is combined with a die-level model, which we have reported previously, on a MEMS layout. The two-level model is shown to enable prediction of both within-die and wafer-scale etch rate variation for arbitrary wafer loadings.