Les merveilles de la gravure

UANL

Les procédés de la gravure

UANL

Élaboration d’un simulateur de gravure par plasma de haute densité basé sur une approche cellulaire pour l’étude de profils dans divers matériaux

La réalisation de dispositifs à des dimensions sous-micrométriques et nanométriques demande une maîtrise parfaite des procédés de fabrication, notamment ceux de gravure. La réalisation des ces dispositifs est complexe et les exigences en termes de qualité et de géométrie des profils de gravure imposent de choisir les conditions opératoires les mieux adaptées. Les simulations de l'évolution spatio-temporelle des profils de gravure que nous proposons dans cette thèse s'inscrivent parfaitement dans ce contexte. Le simulateur que nous avons réalisé offre la possibilité de mieux comprendre les processus qui entrent en jeu lors de la gravure par plasma de profils dans divers matériaux. Il permet de tester l'influence des paramètres du plasma sur la forme du profil et donc de déterminer les conditions opératoires optimales. La mise au point de ce simulateur s'appuie sur les concepts fondamentaux qui gouvernent la gravure par plasma. À partir de l'état des lieux des différentes approches numériques pouvant être utilisées, nous avons élaboré un algorithme stable et adaptable permettant de mettre en évidence l'importance de certains paramètres clés pour la réalisation de profils de gravure par un plasma à haute densité et à basse pression. Les capacités de cet algorithme ont été testées en étudiant d'une part la pulvérisation de Si dans un plasma d'argon et d'autre part, la gravure chimique assistée par les ions de SiO2/Si dans un plasma de chlore. Grâce aux comparaisons entre profils simulés et expérimentaux, nous avons montré l'importance du choix de certains paramètres, comme la nature du gaz utilisé et la pression du plasma, la forme initiale du masque, la sélectivité masque/matériau, le rapport de flux neutre/ion, etc. Nous avons aussi lié ces paramètres à la formation de défauts dans les profils, par exemple celle de facettes sur le masque, de parois concaves, et de micro-tranchées. Enfin, nous avons montré que le phénomène de redépôt des atomes pulvérisés entre en compétition avec la charge électrique de surface pour expliquer la formation de profils en V dans le Pt pulvérisé par un plasma d'argon.

Les figures de la divinité chez Sartre, Giraudoux et Camus : trois pièces écrites sous l’Occupation allemande.

Les mouches, Sodome et Gomorrhe et Caligula présentent des divinités parodiant et critiquant les dirigeants politiques de l’Occupation (1940-1944), ainsi que l’usage par les dictateurs des idéologies religieuses traditionnelles dans le but de soumettre l’humanité à des régimes totalitaires. Divinités théâtrales autrefois infaillibles et toutes-puissantes, les figures analysées dans ce mémoire relèvent des remises en question de la divinité et du pouvoir politique du XXe siècle. Notre mémoire comporte trois chapitres examinant les discours de ces figures de la divinité sous des angles dramaturgique, sémiologique, philosophique et pragmatique avec comme point de départ l’hypothèse suivante : tout porte à croire qu’en limitant l’emprise de divinités fictives, et ce, en grande partie à travers les failles dans leurs discours, Sartre, Giraudoux et Camus ont tenté de neutraliser les discours correspondants d’hommes réels dans la conscience collective de l’époque. Les auteurs étudiés ont profondément modifié l’image traditionnelle de la divinité théâtrale en minant sa force langagière et en s’interrogeant sur son identité. Les divinités choisies pour cette étude annoncent la décomposition du personnage ayant lieu après 1950 : elles ont un statut dévalorisé de même qu’un langage à la force perlocutoire diminuée. Sans véritable emprise sur l’humanité, dépendant du théâtre, des simulacres, de l’histrionisme, ainsi que des faiblesses humaines, ces divinités caricaturales s’exposent à compromettre leurs régimes et sont réduites à une influence fortement limitée par la liberté des hommes. En actualisant ces mythes et récits ainsi, Sartre, Giraudoux et Camus ont tenté de discréditer, par extension, les dirigeants européens de l’époque.

La politique allemande de la France telle que perçue par la presse française (1919-1926)

La France est souvent perçue comme la principale garante du traité de Versailles. Le révisionnisme français envers l’ordre établi par le traité, contrairement au même courant chez les responsables allemands, est un sujet peu étudié. Il a été abordé par quelques auteurs, tels George-Henri Soutou et Stanislas Jeannesson, mais la question mérite davantage d’élaboration. Grâce à l’analyse de la presse française, ce mémoire vérifie l’existence d’une volonté de rendre le traité de paix plus favorable à la France. Une Machtpolitik ainsi qu’un révisionnisme français sont apparents de 1919 à 1923 avec, comme zénith, l’occupation de la Ruhr. Les années suivantes virent la situation de la France se détériorer sur les plans politique, économique et diplomatique. La dégradation de sa posture inclina la France à se tourner vers une conciliation qui émanait de l’esprit du traité de Versailles. La couverture de l’actualité internationale de trois journaux français (Le Temps, L’Action française et L’Humanité) avant et après l’invasion de la Ruhr est analysée. On constate l’existence d’un révisionnisme français qui mène, après son échec en 1924, à un recentrage de la politique allemande de la France. En liant la perception des différents journaux à leur idéologie, nous avons aussi expliqué les variations dans leurs analyses des mêmes événements. L’étude de la presse, conjuguée aux sources secondaires, révèle un discours teinté d’une volonté révisionniste. Elle porte à croire, aussi, que le traité de Versailles ne fut réellement défendu en France qu’après l’échec de la politique de puissance et du révisionnisme français.

L'equus eroticus ou l'image de la femme qui chevauche l'homme dans la gravure européenne au XVIe siècle : érotisme ou propagande antiféministe ?

Mémoire numérisé par la Division de la gestion de documents et des archives de l'Université de Montréal

Le jeune Nietzsche et la tradition de la Bildung: les sources de l'idéal de Bildung chez le jeune Nietzsche dans la tradition allemande de Humboldt à Hegel

Mémoire numérisé par la Division de la gestion de documents et des archives de l'Université de Montréal

La nation anglo-allemande de l'Université de Paris pendant la domination anglo-bourguignonne (1418-1436)

Mémoire numérisé par la Division de la gestion de documents et des archives de l'Université de Montréal

Militarisme, politique et société allemande (1890-1914) : trois perspectives historiographiques

Mémoire numérisé par la Division de la gestion de documents et des archives de l'Université de Montréal

Étude fondamentale de la gravure physico-chimique de SiO₂ dans un plasma haute densité

Mémoire numérisé par la Division de la gestion de documents et des archives de l'Université de Montréal

Prisons et chez-soi dans la littérature migrante canadienne et allemande féminine : la construction de l'espace chez Agnant, Farhoud et Demirkan

Les littératures migrantes féminines canadienne et allemande contemporaine sont ancrées sur des questionnements de l’espace. Les auteures comme Abla Farhoud (Le bonheur a la queue glissante), Marie-Célie Agnant (La dot de Sara) et Renan Demirkan (Schwarzer Tee mit drei Stück Zucker) arrivent à transmettre les problèmes et questionnements liés à la condition migrante féminine de nos jours, à travers leur utilisation particulière de l’espace dans leurs romans. La métaphore de la prison aide à saisir la complexité de la situation de la femme et de son rapport avec l’espace. Il faut prendre en considération des facteurs comme le déracinement de la femme de la terre natale, sa domination par l’homme et son impuissance face aux événements liés à la migration, ainsi que son emprisonnement par autrui quand la femme est marquée par les préjugés et le racisme de la société d’accueil. La prison de la femme se manifeste également à un autre niveau, soit celui des théories spatiales : les théories spatiales masculines courantes (notamment celles de Bachelard, Merleau-Ponty, Lefebvre, De Certeau et Augé) négligent la situation particulière de la femme. Bien qu’elles aident à exposer ce que les espaces dans les romans nous communiquent et comment il faut lire les espaces, elles sont insuffisantes pour révéler le rapport femme migrante – espace dans toute sa complexité. De plus, la réalité spatiale de la femme telle qu’exposée par les théories féministes (notamment celles de Shands, Rose, Chapman et Massey) saisit seulement en partie le rapport spatial complexe de la femme migrante. La faiblesse des théories mentionnées ci-haut vient du fait qu’elles sont parfois trop simples. Elles ne tiennent pas compte de l’histoire de la femme migrante : due à son histoire particulière, sa conception des termes territoire, chez-soi et identité est tout à fait différente de celle des individus qui n’ont pas fait l’expérience d’un déracinement. En exposant les problèmes particuliers de ces femmes, cette thèse aide à sortir les femmes du silence qui les opprime. Par cette thèse, nous répondons donc à un besoin qui existe dans le champ d’étude : nous plaçons la femme migrante au centre de la réflexion théorique en insistant sur la complémentarité des théories masculines et féminines/féministes et sur la nécessité de combiner plusieurs points de vues théoriques. Par cette thèse, à l’aide de notre analyse des espaces dans les romans, nous précisons la situation nuancée de la femme migrante et apportons des perspectives éclairantes au sujet de son rapport complexe à l’espace.

Simulation de profils de gravure et de dépôt à l’échelle du motif pour l’étude des procédés de microfabrication utilisant une source plasma de haute densité à basse pression

En lien avec l’avancée rapide de la réduction de la taille des motifs en microfabrication, des processus physiques négligeables à plus grande échelle deviennent dominants lorsque cette taille s’approche de l’échelle nanométrique. L’identification et une meilleure compréhension de ces différents processus sont essentielles pour améliorer le contrôle des procédés et poursuivre la «nanométrisation» des composantes électroniques. Un simulateur cellulaire à l’échelle du motif en deux dimensions s’appuyant sur les méthodes Monte-Carlo a été développé pour étudier l’évolution du profil lors de procédés de microfabrication. Le domaine de gravure est discrétisé en cellules carrées représentant la géométrie initiale du système masque-substrat. On insère les particules neutres et ioniques à l’interface du domaine de simulation en prenant compte des fonctions de distribution en énergie et en angle respectives de chacune des espèces. Le transport des particules est effectué jusqu’à la surface en tenant compte des probabilités de réflexion des ions énergétiques sur les parois ou de la réémission des particules neutres. Le modèle d’interaction particule-surface tient compte des différents mécanismes de gravure sèche telle que la pulvérisation, la gravure chimique réactive et la gravure réactive ionique. Le transport des produits de gravure est pris en compte ainsi que le dépôt menant à la croissance d’une couche mince. La validité du simulateur est vérifiée par comparaison entre les profils simulés et les observations expérimentales issues de la gravure par pulvérisation du platine par une source de plasma d’argon.

Étude de la cinétique et des dommages de gravure par plasma de couches minces de nitrure d’aluminium

Une étape cruciale dans la fabrication des MEMS de haute fréquence est la gravure par plasma de la couche mince d’AlN de structure colonnaire agissant comme matériau piézoélectrique. Réalisé en collaboration étroite avec les chercheurs de Teledyne Dalsa, ce mémoire de maîtrise vise à mieux comprendre les mécanismes physico-chimiques gouvernant la cinétique ainsi que la formation de dommages lors de la gravure de l’AlN dans des plasmas Ar/Cl2/BCl3. Dans un premier temps, nous avons effectué une étude de l’influence des conditions opératoires d’un plasma à couplage inductif sur la densité des principales espèces actives de la gravure, à savoir, les ions positifs et les atomes de Cl. Ces mesures ont ensuite été corrélées aux caractéristiques de gravure, en particulier la vitesse de gravure, la rugosité de surface et les propriétés chimiques de la couche mince. Dans les plasmas Ar/Cl2, nos travaux ont notamment mis en évidence l’effet inhibiteur de l’AlO, un composé formé au cours de la croissance de l’AlN par pulvérisation magnétron réactive et non issu des interactions plasmas-parois ou encore de l’incorporation d’humidité dans la structure colonnaire de l’AlN. En présence de faibles traces de BCl3 dans le plasma Ar/Cl2, nous avons observé une amélioration significative du rendement de gravure de l’AlN dû à la formation de composés volatils BOCl. Par ailleurs, selon nos travaux, il y aurait deux niveaux de rugosité post-gravure : une plus faible rugosité produite par la présence d’AlO dans les plasmas Ar/Cl2 et indépendante de la vitesse de gravure ainsi qu’une plus importante rugosité due à la désorption préférentielle de l’Al dans les plasmas Ar/Cl2/BCl3 et augmentant linéairement avec la vitesse de gravure.

«Tu ne tueras plus!» : une étude du processus de «recivilisation» de la société ouest-allemande d’après les catéchismes catholiques (1945-1970)

Chez les historiens qui se sont consacrés à l’étude de l’Allemagne contemporaine, plusieurs considèrent qu’en perpétrant un crime aussi barbare que la Shoah, le Troisième Reich a provoqué une « rupture de civilisation » (Zivilisationsbruch) au sein de l’histoire occidentale. En règle générale, ces spécialistes ont réfléchi sur le sens ainsi que sur les implications historiques et philosophiques de cet événement pour le monde contemporain. Peu d’entre eux, toutefois, se sont intéressés au pendant de cette « rupture de civilisation » : le processus de « recivilisation » qui a été à l’œuvre dans la société ouest-allemande au cours des premières décennies d’après-guerre. Caractérisé par le rejet de la violence et du militarisme, par la restauration des normes élémentaires de la civilité ainsi que par l’importance croissante accordée à des valeurs telles que la démocratie et le respect des droits de la personne, ce processus permet en grande partie d’expliquer comment, en à peine deux décennies, les Allemands de l’Ouest ont réussi à édifier un État stable et démocratique sur les ruines d’une dictature génocidaire. En étudiant la présentation du Décalogue dans les catéchismes catholiques, ce mémoire cherche à déterminer le rôle attribué aux prescriptions morales de nature religieuse dans le processus de « recivilisation » de la société ouest-allemande. Il se propose de montrer qu’au cours des années 1950 et 1960, les catéchismes catholiques publiés en RFA ont présenté de plus en plus d’indices d’une volonté que l’on pourrait qualifier de « recivilisatrice ». Ces indices ont surtout pris la forme d’une attention grandissante aux questions relatives à la guerre et à la paix, d’un assouplissement dans la présentation de l’autorité parentale et de l’adoption d’une conception de l’autorité civile fondée désormais sur l’accomplissement de devoirs civiques plutôt que sur l’obéissance aux supérieurs hiérarchiques.