低损耗193nm反射膜的设计

采用1/4规整膜系,从电场强度、吸收损耗及散射损耗的分布几个方面,对影响193 nm反射膜性能的因素进行了分析。以分析结果为基础,对低损耗193 nm反射膜的设计进行了探讨。结果表明:在空气侧的外膜层中电场强度较大,随着层数向内过渡,电场强度迅速减小;高折射率材料膜层的吸收损耗明显高于低折射率材料膜层的吸收损耗,而且靠近空气侧最外层的高折射率膜层的吸收损耗最大;按由外层向内层过渡的方向,吸收损耗迅速减小,减小的速度与高低折射率材料折射率的比值相关;表面散射损耗与两种材料的折射率比值成正比,但折射率比值减小后只能通过增加膜层数来获得一定的反射率,而这样又会使表面粗糙度增加,并且引入其它的损耗。因此,选择折射率差值适当大一些的材料对降低散射损耗是有利的。设计了27层膜堆的193 nm反射膜,设计反射率在98%以上。

《中国油脂植物》

该成果由12个科研单位共同完成，用近代技术对全国油脂植物进行资源调查、样品收集、化学分析，并将研究资料撰写成论述中国油脂植物的专著。全书分为总论、各论和附录三部分。总论介绍油脂植物及其油脂的研究应用概况，中国油脂植物分布和中国油脂植物中脂肪酸分布情况；各论按植物分科的系统排列，重点记载我国106科397属814种油脂植物的形态特征、产地、生境、种子或果实的含油量、油脂理化性质及脂肪酸组成等，并附植物形态插图379幅；附录部分载有低含油植物160种的化学分析数据、植物油脂分析方法、植物油脂生产技术和油脂的脂肪酸成份一览表等。该书记载的油脂植物很大部分是野生种类，鉴于我国油料作物尚缺本国的化学分析数据，在调查中也结合收集样品，并将分析数据载入书中，该书所载2万多个分析数据都是我国科技人员自己分析的，3/4的植物种类脂肪酸分析数据未见前人报道。对不同产地的油脂植物，其油脂的理化性质和脂肪酸组成的变化亦收录于书中。这些资料对进一步开发利用油脂植物资源、寻找和发展油脂类新原料以及开展植物成份化学、植物资源学和实验分类学等基础理论研究都有参考价值。