Properties of hydrogenated amorphous carbon films deposited by PECVD and modified by SF6 plasma

Conselho Nacional de Desenvolvimento Científico e Tecnológico (CNPq)

Evaluation of blood compatibility of plasma deposited heparin-like films and SF6 plasma treated surfaces

Conselho Nacional de Desenvolvimento Científico e Tecnológico (CNPq)

Avaliação da opacidade da cápsula posterior, após facoemulsificação e implante de lente intraocular modificada com plasma de flúor ou polietilenoglicol com coelhos

Coordenação de Aperfeiçoamento de Pessoal de Nível Superior (CAPES)

Efeito da incorporação de flúor nas propriedades de superfície de filmes DE aC:H

Conselho Nacional de Desenvolvimento Científico e Tecnológico (CNPq)

RELATIONSHIPS BETWEEN THE PLASMA ENVIRONMENT AND THE COMPOSITION AND OPTICAL-PROPERTIES OF PLASMA-POLYMERIZED THIN-FILMS PRODUCED IN RF DISCHARGES OF C2H2-SF6 MIXTURES

Polymer films were grown in rf discharges containing different proportions of C2H2 and SF6. Quantitative optical emission spectrometry (actinometry) was used to follow the trends in the plasma concentrations of the species H and F, and more tentatively, of CH, CF, and CF2, as a function of the feed composition. Infrared spectroscopy revealed the density of CH and CF bonds in the deposited material. As the partial pressure of SF6 in the feed was increased, the degree of fluorination of the polymer also rose. The form of the dependency of the deposition rate on the proportion of SF6 in the feed was in good qualitative agreement with the activated growth model. From transmission ultraviolet visible spectroscopy data the refractive index and the absorption coefficient of the polymers were calculated as a function of the deposition parameters. Since the optical gap depended to some extent upon the degree of fluorination, it could, within limits, be determined by a suitable choice of the proportion of SF6 in the feed. A qualitative explanation of this relationship is given.

Caracterização de filmes finos obtidos por deposição de vapor químico assistido a plasma (PECVD) e deposição e implantação iônica por imersão em plasma (PIIID)

Coordenação de Aperfeiçoamento de Pessoal de Nível Superior (CAPES)

Caracterização química, propriedades ópticas e modelagem de filmes de carbono amorfo hidrogenado halogenado e similares produzidos por deposição à plasma

Pós-graduação em Ciência e Tecnologia de Materiais - FC

Plásticos comerciais tratados a plasma para dispositivos ópticos e embalagens alimentícias

Coordenação de Aperfeiçoamento de Pessoal de Nível Superior (CAPES)

Plasma Treatment to Improve the Surface Properties of Recycled Post-Consumer PVC

Fundação de Amparo à Pesquisa do Estado de São Paulo (FAPESP)