Analyse des processus de dérive lors de la gravure profonde du silicium dans des plasmas SF6 et C4F8

L’objectif de ce mémoire de maîtrise est de développer des outils de diagnostics non-invasifs et de caractériser in-situ les dérives de procédé dans un réacteur industriel utilisé en production pour la gravure profonde du silicium par le procédé Bosch. Ce dernier repose sur l’alternance d’un plasma de SF6 pour la gravure isotrope du Si et d’un plasma de C4F8 pour la passivation des parois dans l’optique d’obtenir des tranchées profondes et étroites. Dans un premier temps, nous avons installé une sonde courant-tension sur la ligne de transmission du signal rf au porte-substrat pour l’étude de son impédance caractéristique et un spectromètre optique pour l’étude de l’émission optique du plasma. Nos travaux ont montré que l’évolution temporelle de l’impédance constitue un excellent moyen pour identifier des changements dans la dynamique du procédé, notamment une gravure complète de la photorésine. De plus, à partir des spectres d’émission, nous avons pu montrer que des produits carbonés sont libérés du substrat et des parois lors de l’alternance passivation/gravure et que ceux-ci modifient considérablement la concentration de fluor atomique dans le plasma. Dans un second temps, nous avons développé un réacteur à « substrat-tournant » pour l’analyse in-situ des interactions plasma-parois dans le procédé Bosch. Nos travaux sur ce réacteur visaient à caractériser par spectrométrie de masse l’évolution temporelle des populations de neutres réactifs et d’ions positifs. Dans les conditions opératoires étudiées, le SF6 se dissocie à près de 45% alors que le degré de dissociation du C4F8 atteint 70%. Le SF6 est avant tout dissocié en F et SF3 et l’ion dominant est le SF3+ alors que le C4F8 est fragmenté en CF, CF3 et CF4 et nous mesurons plusieurs ions significatifs. Dans les deux cas, la chaîne de dissociation demeure loin d’être complète. Nous avons noté une désorption importante des parois de CF4 lors du passage du cycle de passivation au cycle de gravure. Un modèle d’interactions plasmas-parois est proposé pour expliquer cette observation.

The Use of Official Notice in a Refugee Determination Process

Un résumé en anglais est également disponible.

The role of the Ruah YHWH in creative transformation : a process theology perspective applied to Judges 14

La Ruah YHWH joue un rôle important dans la transformation créative de l’univers et des entités actuelles; cependant, une réflexion concernant les modalités de ce rôle reste à développer. La théologie processuelle offre une plateforme à partir de laquelle sont examinées diverses facettes des rôles que peut jouer la Ruah YHWH dans un monde où le chaos semble dominer. L’objectif de ce mémoire est justement d’explorer la Ruah YHWH dans son rôle de transformation créative au service, ultimement de l’ordre, de la paix et de l’harmonie dans le monde, les communautés, la vie des entités actuelles, etc. Le Chapitre 1 passe en revue des notions clés de la théologie processuelle. Le concept des “entités actuelles” est d’abord défini. Sont ensuite examinées les différentes phases du devenir d’une entité actuelle. Finalement, les concepts de “créativité” et de “transformation”, dans une perspective de la Ruah YHWH font l’objet d’observations attentives avant d’aborder « trois natures » de Dieu, à savoir primordiale, conséquente, et superjective. Le Chapitre 2 s’intéresse à la péricope centrale de ce mémoire : Juges 13:24-14:20. Le découpage de la structure de cette péricope est basé sur des critères de critique textuelle et d’analyse syntaxique. La première analyse s’attarde aux difficultés que le texte hébreu présente, alors que la deuxième met l’accent sur l’organisation structurelle des propositions grammaticales des versets. Les deux analyses me permettent ensuite de proposer une traduction du péricope. Le Chapitre 3 se veut une application de ce qui a été élaboré au Chapitre 1 sur la péricope analysée au Chapitre 2. Ce troisième chapitre permet de mettre en pratique une approche processuelle originale développée par Robert David dans son livre Déli_l’ ÉCRITURE. Dans la foulée des chapitres qui le précèdent, le Chapitre 4 propose quelques principes herméneutiques contemporains pouvant éclairer le rôle de la Ruah YHWH dans l’avancée créative du monde : vie, amour, et paix.

Towards a communicative understanding of organizational change : Koumbit's change process

Comment comprendre les dynamiques qui sous-tendent les changements des organisations? Le changement organisationnel fait partie de la réalité quotidienne des organisations et, comme en témoigne une vaste littérature, le sujet a été abordé à partir de diverses perspectives conceptuelles. Toutefois, plusieurs questions fondamentales demeurent quant à la façon dont le changement organisationnel est accompli (Tsoukas & Chia, 2002; Chia, 1999). Je suggère que la clé pour répondre à ces questions se trouve dans l’étude de la communication. Cependant, le rôle de la communication dans la production du changement reste peu exploré dans les conceptualisations actuelles sur le sujet. Ainsi, l’objectif principal de cette thèse est de décrire la façon dont le changement émerge dans la communication, en d’autres termes, comment il est accompli à partir des interactions. Dans cette recherche, je propose que la compréhension du changement passe par une vision de la communication comme un processus constant dans lequel les réalités sont créées, négociées et transformées de manière interactive. Cette conception est fondée sur a plurified view of interactions (Cooren, Fox, Robichaud & Talih, 2005; Cooren 2010) qui prend en considération la contribution d’êtres appartenant à diverses ontologies (e.g., ordinateurs, règlements, principes, émotions, règles, c.) dans l’action. En mobilisant cette vision de la communication, j’ai étudié les changements qui ont eu lieu à Koumbit — une organisation à but non lucratif basée à Montréal qui œuvre dans le domaine des technologies de l’information. L’observation, les entrevues ainsi que la révision de documents officiels ont été les techniques choisies pour cueillir les données. Ma recherche m’a permis de déterminer que le changement organisationnel est un processus progressif qui se matérialise d’interaction en interaction. C’est en composant et en recomposant des ensembles d’associations que se crée une différence dans l’état des choses. Si bien les interactions sont accomplies dans le ici et le maintenant, leur caractère hybride leur permet de rendre compte de ce que l’organisation a été et de ce qu’elle sera. Cette étude suggère que, d’un point de vue communicationnel, les mécanismes à partir desquels le changement organisationnel est accompli n sont pas aussi différents de ceux qui produisent les processus organisants (organizing).

Health promotion program implementation, a socio-technical networking process : a case study of a school-based nutrition intervention

Thèse numérisée par la Division de la gestion de documents et des archives de l'Université de Montréal.

The process of minoritisation of the Franco-Ontarian identity and its numerous articulations : a Montfort Hospital case study

Mémoire numérisé par la Division de la gestion de documents et des archives de l'Université de Montréal

The process of anxiety reduction during the treatment of social phobia with an interpersonal approach : alone or combined with paroxetine

Mémoire numérisé par la Division de la gestion de documents et des archives de l'Université de Montréal

The environment as a tool for health towards a definition of the individual boundary process = L'environnement comme outil de santé vers une définition du processus de gestion des frontières personnelles

Mémoire numérisé par la Division de la gestion de documents et des archives de l'Université de Montréal