Untersuchungen zum Dotieren von Silicium aus einer Oberflächenbelegung mit Phosphor in einem Kurzzeitprozess

Silicon, shallow junction, rapid thermal doping, vapour phase doping, atomic-layer doping, phosphorus diffusion, phosphine adsorption, sheet resistance, four-point probe, native oxidation

reale Strahlenbild bei einer Röntgenthoraxaufnahme

Digital radiography, thoracic imaging, micro-dosimetry, high-resolution x-ray film, drum scanner, x-ray intensity pattern, analysis of frequency components