Grundlagenuntersuchungen zur Entwicklung eines langzeitstabilen Kaltkathoden-Ionisationsmanometers vom inversen Magnetron-Typ

Cold-cathode gauge, vacuum gauge, inverted magnetron gauge, crossed-field gauge, Penning gauge, contamination, ion baffle, measuring stability

Physikalische Vorgänge in gepulsten Magnetronentladungen

gepulstes Magnetron-Sputtern, Sputtern, Abscheidung von Oxiden, Nitriden, gepulstes Plasma

Schichtwachstum, optische und elektrische Eigenschaften von Silber auf PET-Folie

Film growth, electrical properties, optical properties, Ag, magnetron sputtering