Physikalische Vorgänge in gepulsten Magnetronentladungen
| Data(s) |
2001
|
|---|---|
| Resumo |
gepulstes Magnetron-Sputtern, Sputtern, Abscheidung von Oxiden, Nitriden, gepulstes Plasma Magdeburg, Univ., Fak. für Naturwiss., Diss., 2001 von Matthias Schulze |
| Formato |
Online-Ressource (PDF-Datei: 147 S., 5069 KB) |
| Identificador |
urn:nbn:de:101:1-201010122213 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:101:1-201010122213 system:337481474 |
| Idioma(s) |
ger |
| Publicador |
Universitätsbibliothek |
| Palavras-Chave | #Hochschulschrift |
