On boundary value problems for Willmore surfaces and Hartree-Fock theory of pseudo-relativistic atoms

Magdeburg, Univ., Fak. für Mathematik, kumulative Habil.-Schr., 2011

Untersuchungen zum Dotieren von Silicium aus einer Oberflächenbelegung mit Phosphor in einem Kurzzeitprozess

Silicon, shallow junction, rapid thermal doping, vapour phase doping, atomic-layer doping, phosphorus diffusion, phosphine adsorption, sheet resistance, four-point probe, native oxidation