微米尺度结构最大抗扭强度的在线测试和研究

提出了一种新型的测试结构，对面积为微米量级下键合的最大抗扭强度进行了测试) 实验设计一系列的单晶硅悬臂梁结构测试键合面积在微米量级时的最大剪切力，键合面为常用的矩形其边长从*!+ 到!#$!+，并根据实际移动距离计算得出的最大剪切力) 并实验实际得出最大剪切扭矩和相应的键合面积的曲线，以及最大扭转剪切破坏应力与悬臂梁加载距离的关系，并针对*$!+, *$!+ 的矩形键合结构进行了加载和位移的重复性实验测量，两次测量结果符合较好) 微电子机械系统（+-./0121.3/0+1.456-.52 78731+，9:9;）器件的设计人员可以根据结论曲线，针对所需的抗扭强度设计相应的键合面积，为9:9; 器件工艺的在线定量测试与设计提供参考)

空间机械臂在线实时避障路径规划研究

针对目前空间机械臂避障路径规划算法计算量大难以达到在线实时规划的缺点,对空间机械臂的在线实时避障路径规划问题进行了研究和探讨.采用规则体的包络对障碍物进行建模,并借助C空间法的思想,把障碍物和机械臂映射到两个相互垂直的平面内,将机械臂工作空间的三维问题转化为二维问题,并结合二岔树逆向寻优的方法进行路径搜索,从而大大减少了计算量,达到了在线实时规划的要求.最后在空间机器人仿真系统上对其进行了仿真研究,验证了该方法的可行性.