Stromversorgungen und Prozessuntersuchungen beim Vakuumbogenbeschichtungsverfahren mit mehreren Verdampfern
| Data(s) |
2005
|
|---|---|
| Resumo |
Stromversorgung, Inverter, Stromimpuls, PVD, Beschichtungsrate Magdeburg, Univ., Fak. für Elektrotechnik und Informationstechnik, Diss., 2005 von Oleksandr Sobolyev |
| Formato |
Online-Ressource (148 S., 3752 KB) |
| Identificador |
urn:nbn:de:101:1-201010123813 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:101:1-201010123813 system:501538186 |
| Idioma(s) |
ger |
| Publicador |
Universitätsbibliothek |
| Palavras-Chave | #Vakuumbeschichten #Vakuumlichtbogen #Stromversorgung #Hochschulschrift #Online-Publikation |
