c面白宝石衬底表面形貌对气相传输平衡法制备的γ-LiAlO_2层质量的影响(英文)

采用气相传输平衡（VTE）技术，在（0001）面白宝石衬底表面上成功地制备出单相γ-LiAlO2层。研究了白宝石衬底表面形貌对γ-LiAlO2层质量的影响，发现白宝石衬底的表面粗糙度和退火处理是两个影响γ-LiAlO2层质量的重要因素。要制备高质量的γ-LiAlO2层，适度的表面粗糙度是恰当的。对白宝石衬底进行退火处理，γ-LiAlO2层的择优取向变差。并对其中可能的机理进行了探讨。