VTE法制备γ-LiAlO2／α-Al2O3复合衬底以及腐蚀和退火对其影响

通过气相传输平衡法(VTE)制备了γ-LiAlO2／α-Al2O3复合衬底，使用5％的稀盐酸对其进行腐蚀并在900℃退火72h。利用X射线衍射、偏光显微镜及扫描电镜对复合衬底进行了分析，发现在白宝石α面(11-20)和γ面(1—102)均获得单相多晶的γ-LiAlO2，且后者的择优取向好于前者。腐蚀可以提高样品的择优取向，在5％的稀盐酸中，时间控制在2min左右可获得较好的结果。退火后γ-LiAlO2颗粒质量得到改善，白宝石α面上γ-LiAlO2的质量优于r面上的γ-LiAlO2，两者都出现颗粒长大现象。