铁磁/半导体异质结材料MnSb/Si的物理气相沉积生长
| Data(s) |
08/05/2003
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| Resumo |
采用一种新的生长铁磁 /半导体异质结材料的方法——物理气相沉积方法生长了一种铁磁 /半导体异质结材料 Mn Sb/Si.对所获得的样品进行特征 X射线能谱分析表明 Mn和 Sb在 Si衬底上的沉积速率相近 ,它们的原子百分数之比接近 1∶ 1.X射线衍射分析发现薄膜中形成了 Mn Sb相 ,样品在室温下测出磁滞回线也从侧面验证了存在 Mn Sb相 .用原子力显微镜对样品的表面进行观察 ,发现 Mn Sb呈有规则形状的小晶粒状 ,晶粒大小比较均匀 ,尺寸大多数在 5 0 0 nm左右 . |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
半导体学报.2003,24(5):494-498 |
| Palavras-Chave | #铁磁/半导体异质结 #物理气相沉积 #MnSb |
| Tipo |
期刊论文 |
