高频等离子体合成Si_3N_4超细粉料
| Data(s) |
1988
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| Resumo |
本文研究了用高频等离子体合成Si_3N_4超细粉料.进行了合成系统的设计、参数选择,发展了利用“磁泵”效应把反应气体送入弧区和用氢气调整高频机——等离子体负载匹配的方法,分析了反应过程,作了数值计算,并制取了Si_3N_4超细粉料. |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
化工学报.1988,39(6):766-769 |
| Palavras-Chave | #超细粉料 #参数选择 #高频等离子体 #Si_3N_4 #数值计算 #等离子体合成 #磁泵 #反应过程 #等离子体负载 |
| Tipo |
期刊论文 |
