Analyse des processus de dérive lors de la gravure profonde du silicium dans des plasmas SF6 et C4F8

L’objectif de ce mémoire de maîtrise est de développer des outils de diagnostics non-invasifs et de caractériser in-situ les dérives de procédé dans un réacteur industriel utilisé en production pour la gravure profonde du silicium par le procédé Bosch. Ce dernier repose sur l’alternance d’un plasma de SF6 pour la gravure isotrope du Si et d’un plasma de C4F8 pour la passivation des parois dans l’optique d’obtenir des tranchées profondes et étroites. Dans un premier temps, nous avons installé une sonde courant-tension sur la ligne de transmission du signal rf au porte-substrat pour l’étude de son impédance caractéristique et un spectromètre optique pour l’étude de l’émission optique du plasma. Nos travaux ont montré que l’évolution temporelle de l’impédance constitue un excellent moyen pour identifier des changements dans la dynamique du procédé, notamment une gravure complète de la photorésine. De plus, à partir des spectres d’émission, nous avons pu montrer que des produits carbonés sont libérés du substrat et des parois lors de l’alternance passivation/gravure et que ceux-ci modifient considérablement la concentration de fluor atomique dans le plasma. Dans un second temps, nous avons développé un réacteur à « substrat-tournant » pour l’analyse in-situ des interactions plasma-parois dans le procédé Bosch. Nos travaux sur ce réacteur visaient à caractériser par spectrométrie de masse l’évolution temporelle des populations de neutres réactifs et d’ions positifs. Dans les conditions opératoires étudiées, le SF6 se dissocie à près de 45% alors que le degré de dissociation du C4F8 atteint 70%. Le SF6 est avant tout dissocié en F et SF3 et l’ion dominant est le SF3+ alors que le C4F8 est fragmenté en CF, CF3 et CF4 et nous mesurons plusieurs ions significatifs. Dans les deux cas, la chaîne de dissociation demeure loin d’être complète. Nous avons noté une désorption importante des parois de CF4 lors du passage du cycle de passivation au cycle de gravure. Un modèle d’interactions plasmas-parois est proposé pour expliquer cette observation.

PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE BIOPRODUITS À L'AIDE D'UN DÉTECTEUR PAR RÉSONANCE PLASMONIQUE DE SURFACE LOCALISÉE DE NANOPARTICULES D'OR

L'invention porte sur un procédé consistant à détecter des bioproduits à l'aide d'une résonance plasmonique de surface localisée (LSPR) de nanoparticules d'or. Ledit procédé peut diagnostiquer des bioproduits sur la base de changements de la longueur d'onde maximale produite par une réaction antigène-anticorps après immobilisation des nanoparticules d'or sur un panneau en verre. Un détecteur utilisant un tel procédé présente une sensibilité élevée, est peu coûteux, permet un diagnostic rapide, et il peut ainsi être appliqué à divers domaines biologiques associés aux contaminants environnementaux, pathogènes et similaires, ainsi qu'au diagnostic de maladies. L'invention porte en outre sur une technologie pour fabriquer un détecteur dont la sensibilité est élevée, le prix faible et la performance rapide, par comparaison avec des procédés classiques utilisant SPR.

Caractérisation de nouveaux aspects de l’ataxie spastique autosomale récessive de Charlevoix-Saguenay à l’aide d’un procédé d’imagerie: la tomographie par cohérence optique (OCT)

L’Ataxie spastique autosomale récessive de Charlevoix-Saguenay (ARSACS) est un syndrome héréditaire précoce caractérisé par un tableau clinique particulier incluant des anomalies oculaires. Quatorze ARSACS et 36 témoins sains ont été suivis prospectivement durant 20 mois et ont subi différents tests neuro-ophtalmologiques et des mesures par tomographie par cohérence optique. Des augmentations de l’épaisseur moyenne de la couche de fibres nerveuses (mRNFL), de l’épaisseur fovéolaire centrale et de l’épaisseur moyenne du cube maculaire (CAT) ont été mises en évidence chez les ARSACS en comparaison avec les témoins (p<0,0001 à toutes les séances). Une différence cliniquement significative a été observée dans l’évolution au cours du suivi des épaisseurs de la mRNFL et la CAT des ARSACS par rapport aux contrôles (p=0,030, p=0,026 respectivement), et ces paramètres étaient inversement corrélés avec le degré de sévérité de la maladie, suggérant une diminution d’épaisseur de la mRNFL et de la CAT à mesure que progresse la maladie.

Arrêt du parlement ordonnant qu'il sera procédé à la réforme des quatre ordres des religieux ordinairement appelés mendiants

[Acte. 1667-04-04. Paris]