Diffraction at 8-keV x-rays of Bragg-Fresnel optics

The basic elements of Bragg-Fresnel multilayer optics are multilayer gratings. In this paper, the fabrication process for the simplest Bragg-Fresnel multilayer optics is given; the diffraction measurements at 8-keV x rays of multilayer gratings are presented; and the measurement results in the diffraction spectrum are analyzed and discussed in detail. (C) 1996 Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers.

周期性梯度折射率多层膜的软X射线反射率

由于界面互扩散的存在，实际的超薄多层膜很难具有清晰的界面结构，假设超薄多层膜为具有周期性梯度折射率的多层膜结构，用直线模型和余弦模型模拟了周期性梯度折射率多层膜的软X射线反射率，结果证明，折射率余弦渐变的多层膜虽然不具有清晰的界面，但它同样具有很高的反射率。

不同膜层数的Mo/Si多层膜的表界面粗糙度和软X射线反射率

用磁控溅射法制备了顶层分别是Mo膜层和Si膜层的两个系列的Mo/Si多层膜，它们的周期厚度相同但是膜层数各不相同。Mo/Si多层膜的周期厚度和界面粗糙度由小角X射线衍射（SAXRD）曲线拟和得到。用原子力显微镜测量了Mo/Si多层膜的表面粗糙度。在国家同步辐射实验室测量了Mo/Si多层膜的软X射线反射率。通过理论和试验研究，发现Mo/Si多层膜的软X射线反射率主要由周期数和界面粗糙度决定，表面粗糙度对Mo/Si多层膜的软X射线反射率影响较小。