Air-gap based vertical cavity micro-opto-electro-mechanical Fabry-Perot filters

Mikrooptische Filter sind heutzutage in vielen Bereichen in der Telekommunikation unersetzlich. Wichtige Einsatzgebiete sind aber auch spektroskopische Systeme in der Medizin-, Prozess- und Umwelttechnik. Diese Arbeit befasst sich mit der Technologieentwicklung und Herstellung von luftspaltbasierenden, vertikal auf einem Substrat angeordneten, oberflächenmikromechanisch hergestellten Fabry-Perot-Filtern. Es werden zwei verschiedene Filtervarianten, basierend auf zwei verschiedenen Materialsystemen, ausführlich untersucht. Zum einen handelt es sich dabei um die Weiterentwicklung von kontinuierlich mikromechanisch durchstimmbaren InP / Luftspaltfiltern; zum anderen werden neuartige, kostengünstige Siliziumnitrid / Luftspaltfilter wissenschaftlich behandelt. Der Inhalt der Arbeit ist so gegliedert, dass nach einer Einleitung mit Vergleichen zu Arbeiten und Ergebnissen anderer Forschergruppen weltweit, zunächst einige theoretische Grundlagen zur Berechnung der spektralen Reflektivität und Transmission von beliebigen optischen Schichtanordnungen aufgezeigt werden. Auß erdem wird ein kurzer theoretischer Ü berblick zu wichtigen Eigenschaften von Fabry-Perot-Filtern sowie der Möglichkeit einer mikromechanischen Durchstimmbarkeit gegeben. Daran anschließ end folgt ein Kapitel, welches sich den grundlegenden technologischen Aspekten der Herstellung von luftspaltbasierenden Filtern widmet. Es wird ein Zusammenhang zu wichtigen Referenzarbeiten hergestellt, auf denen diverse Weiterentwicklungen dieser Arbeit basieren. Die beiden folgenden Kapitel erläutern dann ausführlich das Design, die Herstellung und die Charakterisierung der beiden oben erwähnten Filtervarianten. Abgesehen von der vorangehenden Epitaxie von InP / GaInAs Schichten, ist die Herstellung der InP / Luftspaltfilter komplett im Institut durchgeführt worden. Die Herstellungsschritte sind ausführlich in der Arbeit erläutert, wobei ein Schwerpunktthema das trockenchemische Ä tzen von InP sowie GaInAs, welches als Opferschichtmaterial für die Herstellung der Luftspalte genutzt wurde, behandelt. Im Verlauf der wissenschaftlichen Arbeit konnten sehr wichtige technische Verbesserungen entwickelt und eingesetzt werden, welche zu einer effizienteren technologischen Herstellung der Filter führten und in der vorliegenden Niederschrift ausführlich dokumentiert sind. Die hergestellten, für einen Einsatz in der optischen Telekommunikation entworfenen, elektrostatisch aktuierbaren Filter sind aus zwei luftspaltbasierenden Braggspiegeln aufgebaut, welche wiederum jeweils 3 InP-Schichten von (je nach Design) 357nm bzw. 367nm Dicke aufweisen. Die Filter bestehen aus im definierten Abstand parallel übereinander angeordneten Membranen, die über Verbindungsbrücken unterschiedlicher Anzahl und Länge an Haltepfosten befestigt sind. Da die mit 357nm bzw. 367nm vergleichsweise sehr dünnen Schichten freitragende Konstrukte mit bis zu 140 nm Länge bilden, aber trotzdem Positionsgenauigkeiten im nm-Bereich einhalten müssen, handelt es sich hierbei um sehr anspruchsvolle mikromechanische Bauelemente. Um den Einfluss der zahlreichen geometrischen Strukturparameter studieren zu können, wurden verschiedene laterale Filterdesigns implementiert. Mit den realisierten Filter konnte ein enorm weiter spektraler Abstimmbereich erzielt werden. Je nach lateralem Design wurden internationale Bestwerte für durchstimmbare Fabry-Perot-Filter von mehr als 140nm erreicht. Die Abstimmung konnte dabei kontinuierlich mit einer angelegten Spannung von nur wenigen Volt durchgeführt werden. Im Vergleich zu früher berichteten Ergebnissen konnten damit sowohl die Wellenlängenabstimmung als auch die dafür benötigte Abstimmungsspannung signifikant verbessert werden. Durch den hohen Brechungsindexkontrast und die geringe Schichtdicke zeigen die Filter ein vorteilhaftes, extrem weites Stopband in der Größ enordnung um 550nm. Die gewählten, sehr kurzen Kavitätslängen ermöglichen einen freien Spektralbereich des Filters welcher ebenfalls in diesen Größ enordnungen liegt, so dass ein weiter spektraler Einsatzbereich ermöglicht wird. Während der Arbeit zeigte sich, dass Verspannungen in den freitragenden InPSchichten die Funktionsweise der mikrooptischen Filter stark beeinflussen bzw. behindern. Insbesondere eine Unterätzung der Haltepfosten und die daraus resultierende Verbiegung der Ecken an denen sich die Verbindungsbrücken befinden, führte zu enormen vertikalen Membranverschiebungen, welche die Filtereigenschaften verändern. Um optimale Ergebnisse zu erreichen, muss eine weitere Verbesserung der Epitaxie erfolgen. Jedoch konnten durch den zusätzlichen Einsatz einer speziellen Schutzmaske die Unterätzung der Haltepfosten und damit starke vertikale Verformungen reduziert werden. Die aus der Verspannung resultierenden Verformungen und die Reaktion einzelner freistehender InP Schichten auf eine angelegte Gleich- oder Wechselspannung wurde detailliert untersucht. Mittels Weisslichtinterferometrie wurden lateral identische Strukturen verglichen, die aus unterschiedlich dicken InP-Schichten (357nm bzw. 1065nm) bestehen. Einen weiteren Hauptteil der Arbeit stellen Siliziumnitrid / Luftspaltfilter dar, welche auf einem neuen, im Rahmen dieser Dissertation entwickelten, technologischen Ansatz basieren. Die Filter bestehen aus zwei Braggspiegeln, die jeweils aus fünf 590nm dicken, freistehenden Siliziumnitridschichten aufgebaut sind und einem Abstand von 390nm untereinander aufweisen. Die Filter wurden auf Glassubstraten hergestellt. Der Herstellungsprozess ist jedoch auch mit vielen anderen Materialien oder Prozessen kompatibel, so dass z.B. eine Integration mit anderen Bauelemente relativ leicht möglich ist. Die Prozesse dieser ebenfalls oberflächenmikromechanisch hergestellten Filter wurden konsequent auf niedrige Herstellungskosten optimiert. Als Opferschichtmaterial wurde hier amorph abgeschiedenes Silizium verwendet. Der Herstellungsprozess beinhaltet die Abscheidung verspannungsoptimierter Schichten (Silizium und Siliziumnitrid) mittels PECVD, die laterale Strukturierung per reaktiven Ionenätzen mit den Gasen SF6 / CHF3 / Ar sowie Fotolack als Maske, die nasschemische Unterätzung der Opferschichten mittels KOH und das Kritisch-Punkt-Trocken der Proben. Die Ergebnisse der optischen Charakterisierung der Filter zeigen eine hohe Ü bereinstimmung zwischen den experimentell ermittelten Daten und den korrespondierenden theoretischen Modellrechnungen. Weisslichtinterferometermessungen der freigeätzten Strukturen zeigen ebene Filterschichten und bestätigen die hohe vertikale Positioniergenauigkeit, die mit diesem technologischen Ansatz erreicht werden kann.

Aspekte des Prozesses der N-Freisetzung aus Humus-Vorratsabbau

In der vorliegenden Arbeit werden die Auswirkungen von Umweltveränderungen in einem N-gesättigten Buchenwaldökosystem über Basalt (Braunerde) untersucht. Unter veränderten Umweltbedingungen sind hier vor allem Bestandesdachauflösung, immissions- oder waldbaulich bedingt, und Klimaveränderung zu verstehen, die eine Erwärmung des Oberbodens zur Folge haben. Die Änderungen der Umweltbedingungen werden in diesem Versuchsansatz durch einen waldbaulichen Eingriff simuliert, durch den eine Bestandeslücke entsteht, die in einer Erwärmung des Bodens resultieren und damit den Wasser- und Elementhaushalt insgesamt beeinflussen. Es wird deutlich, dass die in der vorliegenden Arbeit untersuchten Flächen als N-gesättigt bezeichnet werden können, da die N-Verluste aus dem System die Größe der Einträge überschreiten. In der Folge ist es zu einer Entkopplung des Stoffhaushalts und damit zu erhöhter N-Mobilisierung gekommen. Diese konnte vor allem im hydrologischen Jahr 1996 dokumentiert werden; der Überschuss-N-Output liegt auf der Auflichtungsfläche bei bis zu 50 kg N/(ha*a)! Die beobachteten hohen N-Austräge erfolgten trotz eines ebenfalls beobachteten Anwachsens des mikrobiellen Stickstoff-Pools und des Aufwachsens einer krautigen und strauchigen Vegetation auf der Auflichtungsfläche. Im Jahresgang konnten auf der Auflichtungsfläche in 0 - 30 cm Bodentiefe maximale Änderungen im Nmic-Vorrat von 130 kg N/(ha*a) beobachtet werden. Das im Frühjahr beginnende quantitative Anwachsen des mikrobiellen Stickstoff-Pools mit dem Jahresgang zeigt vor allem dessen Temperaturabhängigkeit auf. Die am Ende der Vegetationsperiode deutlich ansteigenden Austragsraten zeigen jedoch an, dass der freigesetzte Stickstoff auch von den Mikroorganismen nicht dauerhaft im System gehalten werden kann, da mit fallender Temperatur auch die Mikroorganismen absterben und der in ihrer Biomasse gespeicherte Stickstoff freigesetzt wird. Aufwachsende Vegetation auf der Auflichtungsfläche konnte einen Großteil des Netto-Stickstoff-Jahreseintrages aufnehmen. Da die "Netto-Jahres-Mineralisation" 1996 leicht über der Wurzelaufnahme liegt, verbleibt ein Rest, der nicht von der aufwachsenden krautigen Vegetation der Auflichtungsfläche aufgenommen werden kann. Ergebnis ist damit, dass die auf Lochhieben aufwachsende krautige und strauchige Vegetation eine temperaturbedingte Stickstoffmobilisierung nur teilweise kompensieren kann. Allein aufwachsende verholzende Vegetation kann Stickstoff langfristig im System binden.

On the Gap-Complexity of Simple RL-Automata

Analysis by reduction is a method used in linguistics for checking the correctness of sentences of natural languages. This method is modelled by restarting automata. All types of restarting automata considered in the literature up to now accept at least the deterministic context-free languages. Here we introduce and study a new type of restarting automaton, the so-called t-RL-automaton, which is an RL-automaton that is rather restricted in that it has a window of size one only, and that it works under a minimal acceptance condition. On the other hand, it is allowed to perform up to t rewrite (that is, delete) steps per cycle. Here we study the gap-complexity of these automata. The membership problem for a language that is accepted by a t-RL-automaton with a bounded number of gaps can be solved in polynomial time. On the other hand, t-RL-automata with an unbounded number of gaps accept NP-complete languages.

Vom Input zum Output

Infolge der durch die internationalen Schulvergleichstests eingeleiteten empirischen Wende in der Erziehungswissenschaft hat sich die Aufmerksamkeit vom Input schulischen Lehrens und Lernens zunehmend auf die Ergebnisse (Output) bzw. Wirkungen (Outcomes) verlagert. Die Kernfrage lautet nun: Was kommt am Ende in der Schule bzw. im Unterricht eigentlich heraus? Grundlegende Voraussetzung ergebnisorienterter Steuerung schulischen Unterrichts ist die Formulierung von Bildungsstandards. Wie Bildungsstandards mit Kompetenzmodellen und konkreten Aufgabenstellungen im Unterricht des Faches "Politik & Wirtschaft" verknüpft werden können, wird in diesem Beitrag einer genaueren Analyse unterzogen. Vor dem Hintergrund bildungstheoretischer Vorstellungen im Anschluss an Immanuel Kant kommen dabei das Literacy-Konzept der Pisa-Studie sowie die "Dokumentarische Methode" nach Karl Mannheim zur Anwendung.

Synthese und Charakterisierung von Spirocyclopentadithiophenen

Im Rahmen dieser Arbeit wurde eine Syntheseroute zu einem neuartigen heteroanalogen Spirobifluoren auf Basis von Thiophen entwickelt und optimiert. Der neue Spirokern konnte durch Anbringung von Elektronendonor- bzw. Elektronenakzeptorgruppen funktionalisiert werden. Die erhaltenen Funktionsmaterialien wurden spektroskopisch (Ultraviolet-Visible, Fluoreszenz), thermoanalytisch (Thermogravimetrische Analyse, Differential Thermo Analysis, Differential Scanning Calorimetry), elektrochemisch (Cyclovoltammetrie) sowie teilweise mittels Feldeffekttransistor charaktrisiert.Zur Totalsynthese des neuen auf Thiophen basierenden Spirokerns 4,4´-Spirobi[cyclopenta[2,1-b:3,4-b´]dithiophen] (SCPDT) wurde eine Syntheseroute entworfen, die ausgehend von Thiophen keine weiteren aufwändigen Precursormoleküle voraussetzt. Durch die Anbringung von stabilisierenden Endgruppen war es möglich neuartige Funktionsmaterialien mit niedrigem HOMO-LUMO-Gap herzustellen. Die phenyl- bzw. biphenylsubstituierten Spirocyclopentadithiophene 4P-SCPDT und 4BP-SCPDT sind im Vergleich zu den analogen, auf Spirobifluoren basierenden Verbindungen (Spiroquaterthiophen und Spirosexiphenyl) deutlich leichter oxidier- und reduzierbar. Das erniedrigte HOMO-LUMO-Gap ist auch im Absorptions- und Fluoreszenzspektrum durch die im Vergleich zu den spirobifluorenanalogen Molekülen bathochrome bzw. bathofluore Verschiebung deutlich erkennbar. Sehr gut sind die Ergebnisse der Feldeffekttransistor- und Phototransistor-Messungen an aufgedampfem 4P-SCPDT. So lässt sich eine Lochbeweglichkeit von 2*10^-4 cm2/Vs ermitteln. Dies ist die höchste Lochbeweglichkeit, die bei Spiromolekülen im amorphen Film mit einem bottom-contact FET gemessen wurde, wobei die Grenzfläche zwischen Elektrode und Halbleiter noch nicht optimiert wurde. Selbst nach zehnmonatiger Lagerung unter Atmosphärenbedingungen bei Raumtemperatur konnten nahezu die gleichen Werte gemessen werden. Dieses Ergebnis unterstreicht die morphologische Stabilität des amorphen Filmes. Unter Bestrahlung mit UV-Licht zeigt sich ein ausgeprägter photovoltaischer Effekt. Das überrascht, da 4P-SCPDT kein typisches Donor-Akzeptor-Molekül ist. Das gemessene Ansprechvermögen (Verhältnis des elektrischen Output zum optischen Input) ist höher als das von polykristallinem Kupfer-Phthalocyanin (CuPc), konjugierten Polymeren oder anderen Spiromolekülen. Um die Lochleitungs- bzw. Elektronenleitungseigenschaften zu optimieren wurden desweiteren noch Diphenylaminophenyl-, Diphenylaminothiophenyl-, Perfluorhexylthiophenyl und Tricyanovinyl-Endgruppen an den den SCPDT-Kern angebracht und die erhaltenen Funktionsmaterialien charakterisiert.

Yield gap analysis and assessment of climate-induced yield trends of irrigated rice in selected provinces of the Philippines

This study describes a combined empirical/modeling approach to assess the possible impact of climate variability on rice production in the Philippines. We collated climate data of the last two decades (1985-2002) as well as yield statistics of six provinces of the Philippines, selected along a North-South gradient. Data from the climate information system of NASA were used as input parameters of the model ORYZA2000 to determine potential yields and, in the next steps, the yield gaps defined as the difference between potential and actual yields. Both simulated and actual yields of irrigated rice varied strongly between years. However, no climate-driven trends were apparent and the variability in actual yields showed no correlation with climatic parameters. The observed variation in simulated yields was attributable to seasonal variations in climate (dry/wet season) and to climatic differences between provinces and agro-ecological zones. The actual yield variation between provinces was not related to differences in the climatic yield potential but rather to soil and management factors. The resulting yield gap was largest in remote and infrastructurally disfavored provinces (low external input use) with a high production potential (high solar radiation and day-night temperature differences). In turn, the yield gap was lowest in central provinces with good market access but with a relatively low climatic yield potential. We conclude that neither long-term trends nor the variability of the climate can explain current rice yield trends and that agroecological, seasonal, and management effects are over-riding any possible climatic variations. On the other hand the lack of a climate-driven trend in the present situation may be superseded by ongoing climate change in the future.

Metabolic disorders in the transition period indicate that the dairy cows' ability to adapt is overstressed

Metabolic disorders are a key problem in the transition period of dairy cows and often appear before the onset of further health problems. They mainly derive from difficulties the animals have in adapting to changes and disturbances occurring both outside and inside the organisms and due to varying gaps between nutrient supply and demand. Adaptation is a functional and target-oriented process involving the whole organism and thus cannot be narrowed down to single factors. Most problems which challenge the organisms can be solved in a number of different ways. To understand the mechanisms of adaptation, the interconnectedness of variables and the nutrient flow within a metabolic network need to be considered. Metabolic disorders indicate an overstressed ability to balance input, partitioning and output variables. Dairy cows will more easily succeed in adapting and in avoiding dysfunctional processes in the transition period when the gap between nutrient and energy demands and their supply is restricted. Dairy farms vary widely in relation to the living conditions of the animals. The complexity of nutritional and metabolic processes Animals 2015, 5 979 and their large variations on various scales contradict any attempts to predict the outcome of animals’ adaptation in a farm specific situation. Any attempts to reduce the prevalence of metabolic disorders and associated production diseases should rely on continuous and comprehensive monitoring with appropriate indicators on the farm level. Furthermore, low levels of disorders and diseases should be seen as a further significant goal which carries weight in addition to productivity goals. In the long run, low disease levels can only be expected when farmers realize that they can gain a competitive advantage over competitors with higher levels of disease.

Output from the 1998 Product Development Value Stream Workshop: A Framework for Understanding Information Flow in the Product Development Process

The descriptions below and the attached diagrams are outputs of the 1998 LAI Product Development Focus Team workshop on the Value Chain in Product Development. A working group at that workshop was asked to model the product development process: in terms of the phases of product development and their interfaces, boundaries and outputs. Their work has proven to be generally useful to LAI researchers and industry members, and so is formalized here.

Sistema de información geográfica para web con informaciones espaciales (geográficas) de output y input para expediciones

This project is a Web Geographic Information System built on an Open Source geographic structure like MapServer (Minnesota University) and PostgreSQL/PostGIS (object relational database management system). The study case is a web site for expeditions in a specific Brazilian region

Digital Output

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Estructura, funcionamiento y actuaciones del GAP: nueve años de avance en educación legal clínica

Debido a las transformaciones sociales y económicas del mundo por causa de la tecnología, el desarrollo acelerado de los países capitalistas, la guerra constante, el aumento de la pobreza, el deterioro ambiental, entre otros factores que han ocasionado un impacto negativo en la mayoría de los países del mundo, la noción de derecho colectivo ha cobrado gran importancia por su trascendencia en la vida social. Como respuesta a esta nueva problemática que viene surgiendo en torno a lo vulneración y afectación de los derechos colectivos, se consagra en la Constitución Política de 1991 la Acción Popular, como el mecanismo idóneo para la protección y amparo de estos derechos. En ese orden de ideas surgen las Clínicas de Interés Público, con el fi n de promover el uso de estas acciones, fortalecer la investigación en el manejo de estos casos y ayudar a la población menos favorecida y más afectada en la vulneración de sus derechos colectivos, tal es el caso del Grupo de Acciones Públicas de la Universidad del Rosario (GAP). El presente borrador de investigación pretende exponer de manera sencilla la estructura, integración, reglamento, funcionamiento del Grupo de Acciones Públicas, así como los criterios utilizados para determinar la viabilidad o inviabilidad de un caso al interior del grupo –estas son las etapas que los estudiantes deben agotar previa la adopción de una estrategia jurídica para la defensa del derecho colectivo–. De la misma manera, se exponen las estadísticas del número de acciones constitucionales interpuestas (acción de Tutela, de Grupo, de Inconstitucionalidad, Popular y de Cumplimiento) con el correspondiente resultado, y un análisis de las sentencias favorables obtenidas por el GAP en la interposición de acciones populares, teniendo como instrumento de análisis el método francés y, por último, un breve glosario que contiene las palabras más empleadas al interior del grupo en desarrollo de sus funciones. El Grupo de Acciones Públicas de la Universidad del Rosario, como Clínica de Interés Público, gracias a la trayectoria y esfuerzo constante de su coordinador, supervisores y estudiantes, se ha venido fortaleciendo con óptimos y valiosos resultados no sólo en la interposición de acciones, que como se verá a continuación han sido positivas y hasta la fecha se ha logrado la protección efi ciente y efi caz de muchos derechos colectivos vulnerados a varias comunidades, sino también, en relación con su estructura y funcionamiento, que gracias a la investigación, el contacto e interrelación con clínicas de interés público de otros países de mayor trayectoria como Argentina1, Chile2 y Estados Unidos, se ha venido enriqueciendo al punto que –como se ve a lo largo de este escrito– existe ya toda una metodología investigativa para la recepción, análisis y determinación de viabilidad de los casos que serán adelantados por el GAP, con el fi n de obtener así los resultados anhelados. Los casos son elegidos teniendo en cuenta el impacto social, el interés que se busca proteger, y sólo en la medida en que de la defensa del mismo, (haciendo uso del aparato jurisdiccional y de las herramientas que la Constitución Política y el ordenamiento jurídico tienen a nuestra disposición) pueda derivar consecuencias con incidencia en la modifi cación de las circunstancias que alteraron, vulneraron o amenazan con vulnerar el derecho colectivo, y con ello la estabilidad de la comunidad, el caso es asumido por el grupo. Por ello, los casos son asumidos con una perspectiva estratégica que permite enfocar el estudio y la investigación de los casos en torno a dos puntos importantes: la del cliente y la del interés público. El trabajo de la Clínica en la defensa del interés público y de los derechos colectivos, se ha estructurado bajo cinco líneas de trabajo: i) defensa de casos de interés público, ii) desarrollo de investigaciones y trabajos de campo, iii) control y supervisión permanente del caso por parte de los estudiantes integrantes del grupo, iv) participación en encuentros nacionales e internacionales, v) difusión de las actividades de la Clínica. Los casos asumidos por el GAP son utilizados para el trabajo académico con los alumnos de 9° y 10° semestre de Derecho en la Clínica Jurídica; así, además del carácter altruista y el sentido social que se imparte al interior del grupo, se logra que a partir de la defensa de casos concretos y la perspectiva del interés público, los estudiantes apliquen los conocimientos aprendidos durante la carrera mediante la formulación de estrategias jurídicas, investigación, el desarrollo de una argumentación jurídica orientada a emplear y reformular las nociones y categorías de derecho (en muchos casos inservibles por sí solas), y desarrollar una nueva manera de articular el derecho y el uso de la jurisprudencia –como interpretación de las normas que constituyen nuestro ordenamiento jurídico–, para logar así la realización de los principios constitucionales que caracterizan a nuestro Estado como Estado Social de Derecho.