Chemical bonding and composition of silicon nitride films prepared by inductively coupled plasma chemical vapor deposition

Thin silicon nitride films were prepared at 350 degrees C by inductively coupled plasma chemical vapor deposition on Si(100) substrates under different NH(3)/SiH(4) or N(2)/SiH(4) gas mixture. The chemical composition and bonding structure of the deposited films were investigated as a function of the process parameters, such as the gas flow ratio NH(3)/SiH(4) or N(2)/SiH(4) and the RF power, using X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). The gas flow ratio was 1.4, 4.3, 7.2 or 9.5 and the RF power, 50 or 100 W. Decomposition results of Si 2p XPS spectra indicated the presence of bulk Si, under-stoichiometric nitride, stoichiometric nitride Si(3)N(4), oxynitride SiN(x)O(y), and stoichiometric oxide SiO(2), and the amounts of these compounds were strongly influenced by the two process parameters. These results were consistent with those obtained from N 1s XPS spectra. The chemical composition ratio N/Si in the film increased with increasing the gas flow ratio until the gas flow ratio reached 4.3, reflecting the high reactivity of nitrogen, and stayed almost constant for further increase in gas flow ratio, the excess nitrogen being rejected from the growing film. A considerable and unexpected incorporation of contaminant oxygen and carbon into the depositing film was observed and attributed to their high chemical reactivity. (C) 2010 Elsevier B.V. All rights reserved.

Physical Vapor Deposited Thin Films of Lignins Extracted from Sugar Cane Bagasse: Morphology, Electrical Properties, and Sensing Applications

The concern related to the environmental degradation and to the exhaustion of natural resources has induced the research on biodegradable materials obtained from renewable sources, which involves fundamental properties and general application. In this context, we have fabricated thin films of lignins, which were extracted from sugar cane bagasse via modified organosolv process using ethanol as organic solvent. The films were made using the vacuum thermal evaporation technique (PVD, physical vapor deposition) grown up to 120 nm. The main objective was to explore basic properties such as electrical and surface morphology and the sensing performance of these lignins as transducers. The PVD film growth was monitored via ultraviolet-visible (UV-vis) absorption spectroscopy and quartz crystal microbalance, revealing a linear relationship between absorbance and film thickness. The 120 nm lignin PVD film morphology presented small aggregates spread all over the film surface on the nanometer scale (atomic force microscopy, AFM) and homogeneous on the micrometer scale (optical microscopy). The PVD films were deposited onto Au interdigitated electrode (IDE) for both electrical characterization and sensing experiments. In the case of electrical characterization, current versus voltage (I vs V) dc measurements were carried out for the Au IDE coated with 120 nm lignin PVD film, leading to a conductivity of 3.6 x 10(-10) S/m. Using impedance spectroscopy, also for the Au IDE coated with the 120 nm lignin PVD film, dielectric constant of 8.0, tan delta of 3.9 x 10(-3)) and conductivity of 1.75 x 10(-9) S/m were calculated at 1 kHz. As a proof-of-principle, the application of these lignins as transducers in sensing devices was monitored by both impedance spectroscopy (capacitance vs frequency) and I versus time dc measurements toward aniline vapor (saturated atmosphere). The electrical responses showed that the sensing units are sensible to aniline vapor with the process being reversible. AFM images conducted directly onto the sensing units (Au IDE coated with 120 nm lignin PVD film) before and after the sensing experiments showed a decrease in the PVD film roughness from 5.8 to 3.2 nm after exposing to aniline.

Avaliação do efeito cerebral agudo do Metilfenidato, através de Spect, em crianças e adolescentes do sexo masculino com transtorno de déficit de atenção e hiperatividade : um ensaio clínico randomizado

Resumo não disponível.

Efeitos da variação da carga por eixo, pressão de inflação e tipo de pneu na resposta elástica de um pavimento

O presente trabalho é uma análise experimental que procura investigar os efeitos dos fatores carga por eixo, pressão de inflação e tipo de pneu sobre o desempenho de pavimentos. Os dados e informações existentes sobre o quadro de cargas por eixo praticada pela frota de veículos pesados é razoável. A ação conjunta dos referidos fatores é ainda uma questão pouco explorada. Assim, para compensar a escassez de dados sobre pressão de inflação e tipo de construção de pneus utilizados na frota de carga, programou-se uma pesquisa de campo na rodovia estadual RS/240. As informações oriundas da pesquisa demonstram que há um acréscimo generalizado no valor da pressão dos pneus e um aumento de uso dos pneus de fabricação radial em relação aos pneus convencionais. Os dados de campo subsidiaram a programação de um experimento fatorial cruzado executado na Área de Pesquisas e Testes de Pavimentos da UFRGS/DAER. A variação dos níveis dos fatores deu-se através de um simulador linear de tráfego atuando sobre uma pista experimental com 20 m de comprimento por 3,5 m de largura. Tendo como resposta estrutural do pavimento a máxima deflexão superficial recuperável medida com uma viga Benkelmam, determinou-se como significantes os efeitos dos fatores carga por eixo e pressão de enchimento dos pneus. Os cálculos estatísticos indicam também que não há diferenças significativas entre os pneus tipo 9.00R20 e 9.00x20 e que todas interações não exercem efeitos significativos sobre a variável de resposta. Em seqüência, determinaram-se as áreas de contato do rodado duplo do simulador de tráfego com a superfície do pavimento ensaiado para as combinações dos níveis dos fatores. Pode-se, então, comparar área de contato medida com área circular calculada, considerada em muitos modelos de dimensionamento de pavimentos. Relacionou-se a variação da pressão de contato com a deflexão recuperável e procedeu-se uma comparação da mesma com a pressão de inflação nominal dos pneus. Apresenta-se um modelo de análise do desempenho do pavimento em função da carga por eixo e da pressão de inflação, nos limites do experimento. Os dados decorrentes do experimento viabilizaram a determinação dos Fatores de Equivalência de Cargas para os níveis dos fatores, considerando-se o pavimento ensaiado. Avaliou-se, via evolução das deflexões e dos Fatores de Equivalência de Cargas, a redução da vida do pavimento, obtendo-se, para a combinação de níveis mais críticos de carregamento, resultados significativos de até 88 % de redução. Propõe-se, por último, uma formulação para o Fator de Equivalência de Cargas que considere também a ação da pressão de inflação.