基于套刻误差测试标记的彗差检测技术

为了满足光刻机投影物镜彗差测量精度的要求，提出一种基于套刻误差测试标记的彗差检测技术，分析了彗差对套刻误差测试标记空间像的影响，详细叙述了该技术的测量原理，并利用PROLITH光刻仿真软件对不同数值孔径与部分相干因子设置下套刻误差相对于彗差的灵敏度系数进行了仿真实验。结果表明，与目前国际上通常使用的投影物镜彗差检测技术相比，该技术在传统照明条件下灵敏度系数Kz7与Kz14的变化范围分别增加了27．5％和34．3％，而在环形照明条件下则分别增加了20．4％和22．1％，因此彗差的测量精度可提高20％以上。

Caminhos de Mia Couto: estratégias narrativas em torno da paisagem moçambicana

A obra romanesca de Mia Couto é o objeto da investigação desta tese, ponto de partida para tentar compreender a contribuição do autor na afirmação do romance africano e na reconstrução da identidade de seu país, Moçambique. Para tanto, o estudo discute a importância da revelação de uma paisagem oculta ao leitor, de matriz cultural e complexo entendimento. O capítulo que traz esta análise mostra como a obra retrata as condições históricas e políticas de dominação, desigualdade, identificando aqui e lá um tom levemente engajado na escrita miacoutiana, tanto quanto suas posições ideológicas, suas denúncias. Entre os temas mais destacados na obra está o animismo africano que dá origem a uma série de circunstâncias sobrenaturais nos enredos, como uma lembrança constante: em África, os espíritos estão por toda a parte, mantendo intensa relação com os vivos. Em torno da questão, a tese discute o fato de parte da crítica classificar a obra por gêneros como o Realismo Mágico, o Maravilhoso e o Fantástico. Também são investigadas as estratégias narrativas deste autor, suas opções regulares na composição de enredos, personagens, nomes de personagens e epígrafes. Com base nessas marcas e em outros traços comuns a todos os seus romances talvez presentes igualmente em seus contos descobre-se a adequação entre a criação de um sistema de pensamento dicotômico, que atravessa a obra, e estruturas frasais que revelam algo significativo: os romances de Mia Couto são propositivos, especialmente quando convidam o leitor ao movimento constante de questionamento de suas próprias certezas

一种新的光刻机像质参数热漂移检测技术

提出了一种新的光刻机像质参数热漂移原位检测技术（TDFM）。详细分析了该技术利用镜像测试标记检测投影物镜最佳焦面热漂移与放大倍率热漂移的基本原理。实验结果表明TDFM技术可同时实现最佳焦面热漂移（FFT）与放大倍率热漂移（MFT）的精确测量。与现有的放大倍率热漂移检测技术相比，该技术有效地解决了放大倍率热漂移技术中放大倍率热漂移受最佳焦面热漂移影响的问题，简化了光刻机像质参数前馈校正的测试过程，测试成本与耗时均减少50％。

Spontaneous and stimulated light emission due to radiative recombination in forward biased lead telluride P-N junctions

Since the discovery in 1962 of laser action in semiconductor diodes made from GaAs, the study of spontaneous and stimulated light emission from semiconductors has become an exciting new field of semiconductor physics and quantum electronics combined. Included in the limited number of direct-gap semiconductor materials suitable for laser action are the members of the lead salt family, i.e . PbS, PbSe and PbTe. The material used for the experiments described herein is PbTe . The semiconductor PbTe is a narrow band- gap material (E_g = 0.19 electron volt at a temperature of 4.2°K). Therefore, the radiative recombination of electron-hole pairs between the conduction and valence bands produces photons whose wavelength is in the infrared (λ ≈ 6.5 microns in air).

The p-n junction diode is a convenient device in which the spontaneous and stimulated emission of light can be achieved via current flow in the forward-bias direction. Consequently, the experimental devices consist of a group of PbTe p-n junction diodes made from p –type single crystal bulk material. The p - n junctions were formed by an n-type vapor- phase diffusion perpendicular to the (100) plane, with a junction depth of approximately 75 microns. Opposite ends of the diode structure were cleaved to give parallel reflectors, thereby forming the Fabry-Perot cavity needed for a laser oscillator. Since the emission of light originates from the recombination of injected current carriers, the nature of the radiation depends on the injection mechanism.

The total intensity of the light emitted from the PbTe diodes was observed over a current range of three to four orders of magnitude. At the low current levels, the light intensity data were correlated with data obtained on the electrical characteristics of the diodes. In the low current region (region A), the light intensity, current-voltage and capacitance-voltage data are consistent with the model for photon-assisted tunneling. As the current is increased, the light intensity data indicate the occurrence of a change in the current injection mechanism from photon-assisted tunneling (region A) to thermionic emission (region B). With the further increase of the injection level, the photon-field due to light emission in the diode builds up to the point where stimulated emission (oscillation) occurs. The threshold current at which oscillation begins marks the beginning of a region (region C) where the total light intensity increases very rapidly with the increase in current. This rapid increase in intensity is accompanied by an increase in the number of narrow-band oscillating modes. As the photon density in the cavity continues to increase with the injection level, the intensity gradually enters a region of linear dependence on current (region D), i.e. a region of constant (differential) quantum efficiency.

Data obtained from measurements of the stimulated-mode light-intensity profile and the far-field diffraction pattern (both in the direction perpendicular to the junction-plane) indicate that the active region of high gain (i.e. the region where a population inversion exists) extends to approximately a diffusion length on both sides of the junction. The data also indicate that the confinement of the oscillating modes within the diode cavity is due to a variation in the real part of the dielectric constant, caused by the gain in the medium. A value of τ ≈ 10^-9 second for the minority- carrier recombination lifetime (at a diode temperature of 20.4°K) is obtained from the above measurements. This value for τ is consistent with other data obtained independently for PbTe crystals.

Data on the threshold current for stimulated emission (for a diode temperature of 20. 4°K) as a function of the reciprocal cavity length were obtained. These data yield a value of J’_th = (400 ± 80) amp/cm² for the threshold current in the limit of an infinitely long diode-cavity. A value of α = (30 ± 15) cm^-1 is obtained for the total (bulk) cavity loss constant, in general agreement with independent measurements of free- carrier absorption in PbTe. In addition, the data provide a value of n_s ≈ 10% for the internal spontaneous quantum efficiency. The above value for n_s yields values of t_b ≈ τ ≈ 10^-9 second and t_s ≈ 10^-8 second for the nonradiative and the spontaneous (radiative) lifetimes, respectively.

The external quantum efficiency (n_d) for stimulated emission from diode J-2 (at 20.4° K) was calculated by using the total light intensity vs. diode current data, plus accepted values for the material parameters of the mercury- doped germanium detector used for the measurements. The resulting value is n_d ≈ 10%-20% for emission from both ends of the cavity. The corresponding radiative power output (at λ = 6.5 micron) is 120-240 milliwatts for a diode current of 6 amps.

一种检测光刻机激光干涉仪测量系统非正交性的新方法

提出一种精确检测光刻机激光干涉仪测量系统非正交性的新方法。将对准标记曝光到硅片表面并进行显影;利用光学对准系统测量曝光到硅片上的对准标记理论曝光位置与实际读取位置的偏差;由推导的位置偏差与非正交因子、坐标轴尺度比例、过程引入误差的线性模型,根据最小二乘原理计算出干涉仪测量系统的非正交性。实验结果表明,利用该方法使用同一硅片在不同旋转角下进行测量,干涉仪测量系统非正交因子的测量重复精度优于0.01 μrad,坐标轴尺度比例的测量重复精度优于0.7×10-6。使用不同的硅片进行测量,非正交因子的测量再现性优于

Probability in Quantum Mechanics: The Everett Interpretation and the Decision-Theoretic Program

The Everett interpretation of quantum mechanics is an increasingly popular alternative to the traditional Copenhagen interpretation, but there are a few major issues that prevent the widespread adoption. One of these issues is the origin of probabilities in the Everett interpretation, which this thesis will attempt to survey. The most successful resolution of the probability problem thus far is the decision-theoretic program, which attempts to frame probabilities as outcomes of rational decision making. This marks a departure from orthodox interpretations of probabilities in the physical sciences, where probabilities are thought to be objective, stemming from symmetry considerations. This thesis will attempt to offer evaluations on the decision-theoretic program.

The geochronology of the plutonic and metamorphic rocks of New Zealand

Extensive Rubidium-Strontium age determinations on both mineral and total rock samples of the crystalline rocks of New Zealand, which almost solely crop out in the South Island, indicate widespread plutonic and metamorphic activity occurred during two periods, one about 100-118 million years ago and the other about 340-370 million years ago. The former results date the Rangitata Orogeny as Cretaceous. They associate extensive plutonic activity with this orogeny which uplifted and metamorphosed the rocks of the New Zealand Geosyncline, although no field association between the metamorphosed geosynclinal rocks and plutonic rocks has been found. The Cretaceous plutonic rocks occur to the west in the Foreland Province in Fiordland, Nelson, and Westland, geographically separated from the Geosynclinal Province. Because of this synchronous timing of plutonic and high pressure metamorphic activity in spatially separated belts, the Rangitata Orogeny in New Zealand is very similar to late Mesozoic orogenic activity in many other areas of the circum-Pacific margin (Miyashiro, 1961).

The 340-370 million year rocks, both plutonic and metamorphic, have been found only in that part of the Foreland Province north of the Alpine Fault. There, they are concentrated along the west coast over a distance of 500 km, and appear scattered inland from the coast. Probably this activity marks the outstanding Phanerozoic stratigraphic gap in New Zealand which occurred after the Lower Devonian.

A few crystalline rocks in the Foreland Province north of the Alpine Fault with measured ages intermediate between 340 and 120 million years have been found. Of these, those with more than one mineral examined give discordant results. All of these rocks are tentatively regarded as 340-370 million year old rocks that have been variously disturbed during the Rangitata Orogeny, 100-120 million years ago.

In addition to these two periods, plutonic activity, dominantly basic and ultrabasic, but including the development of some rocks of intermediate and acidic composition, occurred along the margin of the Geosynclinal Province at its border with the Foreland Province during Permian times about 245 million years ago, and this activity possibly extended into the Mesozoic.

Evidence from rubidium-strontium analyses of minerals and a total rock, and from uranium, thorium, and lead analyses of uniform euhedral zircons from a meta-igneous portion of the Charleston Gneiss, previously mapped as Precambrian, indicate that this rock is a 350-370 million year old plutonic rock metamorphosed 100 million yea rs ago during the Rangitata Orogeny. No crystalline rocks with primary Precambrian ages have been found in New Zealand. However, Pb²⁰⁷/Pb₂₀₆ ages of 1360 million years and 1370 million years have been determined for rounded detrital zircons separated from each of two hornfels samples of one of New Zealand's olde st sedimentary units, the Greenland Series. These two samples were metamorphosed 345- 370 million years ago. They occur along the west coast, north of the Alpine Fault, at Waitaha River and Moeraki River, separated by 135 km. The Precambrian measured ages are most likely minimum ages for the oldest source area which provided the detrital zircons because the uranium, thorium and lead data are highly discordant. These results are of fundamental importance for the tectonic picture of the Southwest Pacific margin and demonstrate the existence of relatively old continental crust of some lateral extent in the neighborhood of New Zealand.

Tipperary, by Frank Delaney: a reading of the rewriting of history of Ireland

O objetivo da presente pesquisa é o de discutir a reescrita da história da Irlanda, mais especificamente aspectos relacionados à construção da identidade nacional e de marcas da tradição, a partir da leitura do romance Tipperary, de Frank Delaney. Publicada em 2007, essa obra aborda de forma singular as querelas sobre identidade nacional, nacionalismo, passado, memória, e seus personagens principais e a trama estão significativamente ligados ao contexto político-social da história da Irlanda. Nessa reconstrução da história, o passado é revisitado através de diferentes pontos de vista. Nossa atenção estará voltada para a seleção de elementos/momentos da história do país que ganham foco na narrativa, e as possíveis repercussões deste processo. Além disso, nos concentraremos na questão das tênues fronteiras entre história e ficção, ou seja, as fronteiras pouco delimitadas entre o discurso histórico e o discurso ficcional. Na escrita da história em Tipperary, Delaney aborda questões relativas a mitos, lendas e tradições como importantes fatores de identidade nacional em uma Irlanda que emerge como uma nação independente. No romance em questão, podemos observar como história e memória se unem na jornada do protagonista, em sua empreitada de narrar a história de sua vida e de seu país

Coma measurement by use of an alternating phase-shifting mask mark with a specific phase width

The correlation between the coma sensitivity of the alternating phase-shifting mask (Alt-PSM) mark and the mark's structure is studied based on the Hopkins theory of partially coherent imaging and positive resist optical lithography (PROLITH) simulation. It is found that an optimized Alt-PSM mark with its phase width being two-thirds its pitch has a higher sensitivity to coma than Alt-PSM marks with the same pitch and the different phase widths. The pitch of the Alt-PSM mark is also optimized by PROLITH simulation, and the structure of p - 1.92 lambda/NA and pw = 2p/3 proves to be with the highest sensitivity. The optimized Alt-PSM mark is used as a measurement mark to retrieve coma aberration from the projection optics in lithographic tools. In comparison with an ordinary Alt-PSM mark with its phase width being a half its pitch, the measurement accuracies of Z(7) and Z(14) apparently increase. (C) 2009 Optical Society of America

Preparo e administração de medicamentos intravenosos pela enfermagem: garantindo a segurança junto aos pacientes críticos

O objeto de estudo é o preparo e a administração de medicamentos pela enfermagem por via intravenosa. O objetivo geral foi discutir as consequências, para os pacientes, dos erros encontrados a partir do preparo e da administração de medicações de uso intravenoso pela enfermagem, no ambiente hospitalar. Os objetivos específicos foram determinar os grupos medicamentosos e os medicamentos envolvidos em erros; e identificar o tipo e frequência desses erros que ocorrem no preparo e administração de medicamentos intravenosos pela enfermagem. Trata-se de uma pesquisa com desenho transversal de natureza observacional, sem modelo de intervenção. Foi desenvolvida em um hospital público, da rede sentinela, do Rio de Janeiro onde foram observados técnicos de enfermagem preparando e administrando medicamentos intravenosos, em três setores: Unidade de Terapia Intensiva, Clínica Médica e Clínica Cirúrgica. Foram observadas 367 doses preparadas e 365 doses administradas, totalizado 732 doses, à luz de 14 categorias. Para cada dose observada havia somente duas possibilidades: certo ou errado. Com relação ao perfil das medicações, os grupos prevalentes foram os antimicrobianos com 176 doses (24,04%), seguidos dos antissecretores com 149 doses (20,36%) e analgésicos com 126 doses (17,21%). Anestésicos e anticonvulsivantes foram os menos observados. Todas as categorias foram divididas em dois grupos: os com potencial de dano para o paciente e os com potencial para alterar a resposta terapêutica do medicamento. Na etapa do preparo, no grupo com potencial de dano, as categorias foram: não troca as agulhas com 88,77% de erro; não desinfecção de ampolas (80,27%) e não faz limpeza de bancada (77,26%). Nas categorias não usa máscara e não identifica o medicamento, não foram encontrado erros. Para o grupo com potencial para alterar a resposta terapêutica, as categorias foram: hora errada (57,26%) e dose errada (6,58%). Na etapa da administração, no grupo com potencial de dano ao paciente, as categorias foram: não confere o medicamento com 96,73% de erro, não avalia flebite (87,47%), não avalia a permeabilidade (86,38%) e não confere o paciente (70,57%). Para o grupo com potencial para alterar a resposta terapêutica, a categoria hora errada apresentou 69,75% de erro; em dose errada e via errada não foi evidenciado erro. Percebeu-se que, nas duas etapas, o grupo prevalente foi o com potencial de dano paciente. Porém, no grupo com potencial para alterar o resultado terapêutico do medicamento, a categoria a hora errada foi a que, provavelmente, apresentou maiores prejuízos para o paciente. Considerando-se que o preparo e administração de medicamentos são umas das maiores responsabilidades da enfermagem e que os erros podem causar danos aos pacientes, sugere-se repensar o processo de trabalho da enfermagem e investir mais em questões que envolvam a segurança com a terapia medicamentosa.

Formas inter-comunicacionais em Pedro Nava: o signo verbal e o pictórico

Esta pesquisa, contribuindo para os estudos em Literatura Comparada, evidencia a correlação entre Literatura e Artes Plásticas, que tem sido vista desde a Antigüidade quando ícones da analogia entre o verbal e o pictórico deixaram suas marcas na correspondência entre as artes. Tal correlação atravessou vários períodos da História e continua presente em inúmeras pesquisas, na época contemporânea. Este trabalho examina a especificação teórica de vários escritores relacionados ao tema e enfoca principalmente as formas como Pedro Nava (1903-1984) utilizou os artifícios verbal e pictórico ao lidar com duas artes distintas

Perversão: um fazer gozar

Esse estudo aborda a perversão, tema de extrema relevância política e clínica no âmbito psicanalítico, que se revela como um dos problemas cruciais da psicanálise. Sua importância política imprime-se quando ressalta, com Lacan, que a política da psicanálise é a política da falta-a-ser correlata à ética do desejo e quando propõe que aceitar a diversidade do gozo, com suas múltiplas modalidades, e levar o sujeito a desvelar e a confrontar-se com o seu mais-de-gozar é uma indicação ética que deve orientar a política e a prática do psicanalista. A pesquisa, elaborada a partir dos fundamentos teórico-clínicos de Freud e Lacan, destaca o movimento lógico que delimita a perversão na obra freudiana e verifica uma convergência nas teses de ambos os autores, no que se refere à diferenciação entre a perversidade e a perversão como estrutura clínica. A construção de uma série de casos clínicos e o estudo da vida e da obra de cinco famosos escritores Marquês de Sade, Sacher-Masoch, André Gide, Jean Genet, Yukio Mishima vêm ilustrar que as práticas de gozo perverso não determinam a estrutura perversa. O matema da fantasia sadiana, forjado por Lacan, é tomado para demonstrar a Verleugnung freudiana, o modo que os sujeitos perversos encontram para lidar com castração da mãe/mulher. As fórmulas quânticas da sexuação, formuladas por Lacan, são utilizadas para evidenciar que a diferença entre a neurose e a perversão se explicita na estratégia de gozo que o sujeito utiliza na relação com o seu parceiro. A pesquisa, que se iniciou bibliográfica e se desenvolveu de cunho teórico-clínico, desvela que a clínica da perversão muito pode ensinar aos psicanalistas sobre os quatro conceitos fundamentais da psicanálise, sobre a relação entre o fetiche, a máscara e o semblante, sobre a sublimação, sobre as estratégias de gozo, em particular, o masoquismo. Esse estudo convoca a comunidade analítica ao debate, uma vez que enuncia, através da apresentação de casos de perversão, os impasses da clínica, além de presentificar o real da clínica na condução do tratamento de um caso de perversão.

模块化蓝光光存储性能静态测试系统

蓝光光存储是信息存储领域发展的一个重要方向。测试系统是研究蓝光光存储材料的必备条件，为建立蓝光光存储研究平台，设计和搭建了一套模块化蓝光光存储性能静态测试系统。激光工作波长为406．7nm。系统采用调制解调技术降低系统噪声，提高测量粘度：采用光点移动模式降低对样品尺寸的要求；采用纳米平台提高记录点的反复定位性能。实验结果证明测试系统性能良好，可以满足蓝光光存储性能静态测试要求。

Investigation on the static recording characteristic of super-resolution near-field structure with antimony mask layer

Static recording characteristic of super-resolution near-field structure with antimony (Sb) is investigated in this paper. The recording marks are observed by a scanning electron microscopy (SEM), a high-resolution optical microscopy with a CCD camera and an atomic force microscopy (AFM). The super-resolution mechanism is also analyzed based on these static recording marks. Results show that the light reaching on recording layer is composed of two parts, one is the linear transmissive light (propagating field) and the other is the nonlinear evanescent light in the optical near field. The evanescent light may be greatly enhanced in the center of the spot because Sb will transit from a semiconductor to a metal when it is melted under the high laser power irradiation. This local melted area in the spot center may be like a metal tip in the optical near field that can collect and enhance the information that is far beyond the diffraction limit, which leads to the super-resolution recording and readout. (c) 2005 Elsevier Ltd. All rights reserved.

Design and construction of a static tester for blue ray optical storage

Blue ray optical storage is one of the important trends in the area of information storage, and attracts a number of researchers. Static tester for blue ray optical storage plays an important role in storage media research. We designed and constructed a static tester, in which modularization makes it very convenient to expand function. Employment of modulation/demodulation technique weakens test error so as to increase test precision. Focus move mode and the nano-positioners facilitate the relocation of recording marks. Only one laser with wavelength 406.7 nm is used. In this paper, system design and characteristics are represented in detail, and some experimental results are also given to show that the static tester can perform successfully, acting as research platform for blue ray optical storage. (c) 2005 Elsevier GmbH. All rights reserved.