Coma measurement using a PSM and transmission image sensor

As feature size decreases, especially with the use of resolution enhancement technique, requirements for the coma aberrations in the projection lenses of the lithographic tools have become extremely severe. So, fast and accurate in situ measurement of coma is necessary. In the present paper, we present a new method for characterizing the coma aberrations in the projection lens using a phase-shifting mask and a transmission image sensor. By measuring the image positions at multiple NA and partial coherence settings, we are able to extract the coma aberration. The simulation results show that the accuracy of coma measurement increases approximately 20% compared to the previous straightforward measurement technique. (c) 2005 Elsevier GmbH. All rights reserved.

Coma measurement of projection optics in lithographic tools based on relative image displacements at multiple illumination settings

In this paper, we propose a novel method for measuring the coma aberrations of lithographic projection optics based on relative image displacements at multiple illumination settings. The measurement accuracy of coma can be improved because the phase-shifting gratings are more sensitive to the aberrations than the binary gratings used in the TAMIS technique, and the impact of distortion on displacements of aerial image can be eliminated when the relative image displacements are measured. The PROLITH simulation results show that, the measurement accuracy of coma increases by more than 25% under conventional illumination, and the measurement accuracy of primary coma increases by more than 20% under annular illumination, compared with the TAMIS technique. (c) 2007 Optical Society of America.

A high accuracy image sensor for sinusoidal phase-modulating interferometry

We proposed a high accuracy image sensor technique for sinusoidal phase-modulating interferometer in the field of the surface profile measurements. It solved the problem of the CCD's pixel offset of the same column under two adjacent rows, eliminated the spectral leakage, and reduced the influence of external interference to the measurement accuracy. We measured the surface profile of a glass plate, and its repeatability precision was less than 8 nm and its relative error was 1.15 %. The results show that it can be used to measure surface profile with high accuracy and strong anti-interference ability. (C) 2007 Elsevier GmbH. All rights reserved.

A high-speed image sensing technique with adjustable frame rate based on an ordinary CCD

In the sinusoidal phase modulating interferometer technique, the high-speed CCD is necessary to detect the interference signals. The reason of ordinary CCD's low frame rate was analyzed, and a novel high-speed image sensing technique with adjustable frame rate based on ail ordinary CCD was proposed. And the principle of the image sensor was analyzed. When the maximum frequency and channel bandwidth were constant, a custom high-speed sensor was designed by using the ordinary CCD under the control of the special driving circuit. The frame rate of the ordinary CCD has been enhanced by controlling the number of pixels of every frame; therefore, the ordinary of CCD can be used as the high frame rate image sensor with small amount of pixels. The multi-output high-speed image sensor has the deficiencies of low accuracy, and high cost, while the high-speed image senor with small number of pixels by using this technique can overcome theses faults. The light intensity varying with time was measured by using the image sensor. The frame rate was LIP to 1600 frame per second (f/s), and the size of every frame and the frame rate were adjustable. The correlation coefficient between the measurement result and the standard values were higher than 0.98026, and the relative error was lower than 0.53%. The experimental results show that this sensor is fit to the measurements of sinusoidal phase modulating interferometer technique. (c) 2007 Elsevier GmbH. All rights reserved.

A mudança organizacional em um estabelecimento de saúde: um estudo da preparação para acreditação

Esse estudo teve por objetivo analisar as dinâmicas de mudanças organizacionais transcorridas em um estabelecimento de saúde. Conduzido através metodologia de estudo de caso descritivo, teve como campo de pesquisa o Instituto de Hematologia do Estado do Rio de Janeiro. Buscando conhecer o papel da preparação para acreditação na dinâmica da mudança em uma organização de saúde essa pesquisa foi assim estruturada: abordagem dos problemas encontrados nas mudanças organizacionais em estabelecimentos de saúde; quadro teórico estruturado com uma revisão de literatura; embasamento da metodologia aplicada, com definição de instrumentos de coletas de dados, de material e atores implicados no levantamento para realização da análise qualitativa. O estudo analisou as seguintes variáveis: a natureza da mudança focalizando a extensão, ritmo e trajetória; as estratégias de ação, contemplando as situações de adesões e resistência e a concepção, verificando se as mudanças foram indutivas ou dedutivas. O resultado demonstrou que a preparação para acreditação naquele hospital, proporcionou mudanças com movimentos lentos, mas com continuidade em todos os setores do estabelecimento. Foi identificada participação mais ativa de um grupo de profissionais identificados como facilitadores, funcionando como multiplicadores. A abrangência das estratégias aplicadas foram desde as reuniões em assembléias gerais, á formação de grupos de estudo por setores para entendimento do manual de padrões de acreditação. Foram realizados processos internos de auto-avaliação com base no manual de acreditação. Em relação á concepção, o processo de mudança foi motivado pela determinação da direção do hospital para obtenção do certificado de acreditação internacional. Quanto á resistência e adesão, o estudo demonstrou que a participação de uma grande maioria dos profissionais foi motivada pelo desejo de aprender e desenvolver novas práticas que proporcionasse a melhoria da qualidade da assistência. A análise de dados aponta certa resistência da categoria médica no início do processo. Do ponto de vista organizacional, foram criadas novas estruturas. A conclusão do estudo: O processo de preparação para acreditação na unidade de saúde estudada demonstrou ser um instrumento capaz de promover mudanças em organizações de saúde.

A polidez e a preservação de face em trocas de e-mails entre gerentes e sua relação com a cultura organizacional

Dado o crescente uso da Internet e a importância da linguagem do e-mail no ambiente corporativo, o presente trabalho tem como objetivo principal analisar as estratégias de polidez e os mecanismos de preservação de face em trocas de e-mails entre um grupo de gerentes de uma instituição privada de ensino de língua inglesa no Brasil. A pesquisa é um estudo de caso e faz uso de uma abordagem interpretativista, assim como, em partes, também usa dados quantitativos. Para tanto, neste estudo foram integradas à Pragmática outras áreas de pesquisa como a Linguística Sistêmico-Funcional e a Linguística de Corpus. O enfoque nos mecanismos de polidez e proteção de face tem o objetivo de estudar de que forma estes elementos da linguagem utilizada nas trocas de e-mails entre o grupo de gerentes envolvido no estudo estão refletidos na cultura organizacional da instituição. Para tal foram usados os conceitos de Brown e Levinson (1987) para polidez, o de Goffman (1998) para footing e enquadre. Na área de categorização de grupos padronizados de palavras achados frequentemente dentro de um corpus foram usados os parâmetros de Hyland (2008), parâmetros esses que são calcados nas três metafunções de Halliday. Por fim tecem-se comentários sobre as trocas escritas dentro da instituição através de e-mails, buscando entender se essas trocas fazem parte de um gênero estabelecido ou de uma forma de comunicação única e com características próprias. As análises realizadas neste estudo estudam formas de polidez e proteção de face nas saudações e fechos de e-mails do corpus de estudo, a linguagem usada em pedidos de ajuda/informações, na resolução de conflitos e em outras situações do cotidiano dos gerentes da instituição alvo. Os resultados das análises da linguagem usada nas mensagens eletrônicas trocadas pelo grupo sugerem uma relação direta entra a cultura organizacional e os típicos mecanismos característicos de proteção de face e polidez adotados nas mensagens dos gerentes da empresa