Zastosowanie podcastów w rozwijaniu sprawności słuchania ze zrozumieniem w języku obcym na przykładzie studentów germanistyki i lingwistyki stosowanej w Polsce

Wydział Neofilologii

Warianty realizacji austriackości w wybranych autorów (Joseph Roth, Stefan Zweig, Franz Theodor Csokor i Ődön von Horváth) w odniesieniu do kategorii granicznych starego i nowego świata

Wydział Neofilologii:Instytut Filologii Germańskiej

Junge Hochschul- und Mediendidaktik. Forschung und Praxis im Dialog

Am 29./30.05.2012 fand in Hamburg die Konferenz “Junges Forum Hochschul- und Mediendidaktik” (JFHM) statt. Ausgerichtet vom Zentrum für Hochschul- und Weiterbildung (ZHW) der Universität Hamburg, kooperierten bei der Konzeption und Durchführung der Tagung Vertreterinnen und Vertreter aus hochschul- und mediendidaktischer Berufspraxis mit Vertreterinnen der wissenschaftlichen Nachwuchsförderung aus der Deutschen Gesellschaft für Hochschuldidaktik (DGHD) und der Gesellschaft für Medien in der Wissenschaft (GMW). Das Ziel der Tagung war die Sichtbarmachung und Vernetzung theoretischer und praktischer hochschul- und mediendidaktischer Arbeit. Der vorliegende Sammelband vereint Beiträge der Konferenz und gibt so einen Einblick in aktuelle Themen von Hochschul- und Mediendidaktik - und zwar speziell aus der Perspektive jüngerer Forscherinnen und Forscher sowie Praktikerinnen und Praktiker. Er gibt damit auch Anhaltspunkte dafür, welche Themen diese Arbeitsbereiche in Zukunft (weiter) beschäftigen werden. (DIPF/Autor)

Wissensmanagement und Balanced Scorecard

Die Arbeit befasst sich allgemein mit Wissensmanagement und der Balanced Scorecard (BSC). Ziel der Arbeit war es, darzustellen, welche Systeme auf BSC-Basis das Controlling von Wissensmanagement-Aktivitäten ermöglichen.

Hans im Glück oder das Problem des Werts : Abschlussvorlesung am 15. Juni 2011 in Hannover

Abschlussvorlesung von Günter Buchholz, in welcher er sich über das Grimmsche Märchen "Hans im Glück" dem Problem des Wertes zuwendet und sich mit der Geschichte der ökonomischen Theorie befasst.

CoScience : gemeinsam forschen und publizieren mit dem Netz

Der Arbeitsalltag von Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftlern hat sich in den letzten Jahren dramatisch verändert. Forschen, Schreiben und Publizieren sind mittlerweile stark durch netzbasierte Anwendungen geprägt. Das digitale Zeitalter aber hat nicht nur neue technische Werkzeuge hervorgebracht, sondern auch neue Wege eröffnet, um Wissen zu generieren und zu verbreiten. Dies gilt sowohl innerhalb der akademischen Welt als auch über diese hinaus. Das Arbeiten mit dem Netz stellt unsere bisherigen etablierten wissenschaftlichen Praktiken in Frage. Forschung wird zunehmend vernetzt, kollaborativ, multimedial, trans- bzw. interdisziplinär durchgeführt. Das vorliegende Handbuch beschreibt diese sich herausbildenden wissenschaftlichen Praktiken. Ziel der Autoren war es dabei, ein praxisnahes und leicht verständliches Handbuch zu schreiben.

Promotionsstipendien - Finanzierung von Promotionen

Mit der Entscheidung für eine Promotion stellt sich häufig die Frage nach deren Finanzierung. Eine Möglichkeit stellt die Finanzierung durch ein Promotionsstipendium dar. Die vorliegende Arbeit dient der Erstorientierung über Promotionsstipendien. Ziel der Arbeit ist es, Promotionsinteressierten der Abteilung Betriebswirtschaftslehre an der Hochschule Hannover einen Überblick über das aktuelle Stipendienangebot zu geben. Es wurden Stipendien in Deutschland recherchiert, die aktuell zur finanziellen Unterstützung von Promotionsvorhaben an deutschen Hochschuleinrichtungen mit wirtschaftswissenschaftlichem Schwerpunkt vergeben werden.

L’école viennoise de contrebasse : genèse et réception

Cette recherche met en parallèle les cultures germanophone et francophone par l’entremise de l’histoire de la contrebasse. La problématique consiste à expliquer l’absence de littérature en français sur l’école viennoise de contrebasse, qui s’est développée dans la seconde moitié du XVIIIe siècle et qui a eu une certaine incidence sur le développement de cet instrument. La première section propose une biographie des principaux représentants de cette école, tous contrebassistes virtuoses actifs à Vienne autour de 1750. Suivent un tour d’horizon des œuvres pour contrebasse concertante du classicisme viennois, puis un rappel historique sur le déclin de cette école. Dans la deuxième section, un parallèle est tracé entre l’avancée du violoncelle et le recul de la contrebasse au XIXe siècle. Suivent une présentation des instruments les plus appréciés de cette époque, à savoir le piano, le cor français et le violoncelle, puis une comparaison entre l’évolution de la contrebasse en France et dans les pays germanophones au XIXe siècle. Finalement, la troisième section est consacrée à la renaissance de l’école viennoise de contrebasse, amorcée au milieu du XXe siècle. Pour observer le déploiement de cette évolution dans les cultures française, germanophone et anglo-saxonne, cette section comporte un examen des œuvres publiées par les maisons d’édition spécialisées en musique ainsi que de celles enregistrées par les contrebassistes.

Étude comparative du vocabulaire de description de la danse dans les archives et du vocabulaire de représentation de la danse dans la littérature

Notre recherche s’insère dans la mouvance des humanités numériques; nous y faisons dialoguer les arts et les sciences de l’information. Depuis quelques décennies, la danse est un sujet d’études et de recherche à part entière. Il devient donc nécessaire de mieux décrire la danse dans les archives, sachant que la description en amont influe grandement sur l’accès en aval. Les méthodes d’extraction automatique de connaissances nous semblent offrir de nouvelles possibilités. L’objectif de notre recherche est de contribuer au développement d’outils de gestion de l’information dans les archives de la danse en comparant un vocabulaire de description de la danse dans les archives et un vocabulaire de représentation de la danse dans la littérature, recueilli grâce à des méthodes d’extraction automatique de connaissances, pour en distinguer une possible complémentarité, particulièrement en ce qui a trait au vocabulaire de l’expérience esthétique. D’abord, nous analysons un vocabulaire de description de la danse dans les archives. Nous décrivons certains outils de description des archives de la danse et nous analysons le thésaurus de descripteurs Collier. Nous constatons que le vocabulaire de description de la danse dans les archives ne semble pas prendre en compte l’expérience esthétique. Ensuite, nous analysons un vocabulaire de représentation de la danse dans la littérature. Un vocabulaire structuré de l’expérience esthétique de la danse moderne est ainsi extrait d’un corpus de textes de l’écrivain français Stéphane Mallarmé et analysé. Puis nous comparons les deux vocabulaires afin d'en distinguer la complémentarité quant à la description de l’expérience esthétique. Nous formulons une première suggestion d’amélioration de certains thésaurus employés dans les archives de la danse : un thésaurus au vocabulaire essentiellement factuel, comme le thésaurus de descripteurs Collier, peut être enrichi de termes à propos de l’expérience esthétique. Le vocabulaire de représentation de la danse dans la littérature est jusqu’à un certain point complémentaire au vocabulaire de description de l’expérience esthétique de la danse dans les archives. Nous menons ainsi une première expérimentation qui justifie en partie la pertinence de certaines méthodes d’extraction de connaissances dans le développement et la maintenance de ressources documentaires pour le domaine des arts d’interprétation tels que la danse.

Vertikale Integrationsstrukturen kommunaler Verkehrsunternehmen : eine transaktionskostentheoretische Evaluation

Der Markt für öffentlichen Personennahverkehr (ÖPNV) wird liberalisiert, in die gewachsenen Monopolstrukturen werden Marktmechanismen implementiert. Ziel der neuen ordnungspolitischen Rahmenbedingungen ist die Steigerung der Effizienz des defizitären Verkehrsbereichs, der von kommunalen Verkehrsunternehmen dominiert wird. Diese erbringen als Quasi-Monopolisten traditionell die Verkehrsdurchführung, regelmäßig anfallende Defizite werden von der öffentlichen Hand ausgeglichen. Bedingt durch ihre Leistungsstrukturen sind kommunale Verkehrsunternehmen in einem Wettbewerbsmarkt kaum konkurrenzfähig. Charakteristisch für diesen Unternehmenstyp ist der hohe Grad an vertikal integrierten Wertschöpfungsstufen. Im Gegensatz zu anderen Branchen erbringen kommunale Verkehrsunternehmen die wesentlichen Teile der gesamten ÖPNV-Wertschöpfungskette innerhalb der eigenen Unternehmensgrenzen. An dem hohen vertikalen Integrationsgrad setzt die Untersuchung an. Mit dem von Williamson entwickelten Instrumentarium der Transaktionskostentheorie werden die Leistungsbereiche einer transaktionskostentheoretischen Bewertung unterzogen. Als Alternativen zum institutionellen Arrangement der vertikalen Integration – das als Hierarchie bezeichnet wird – stehen die Arrangements Kooperation und Markt zur Verfügung. Die Bewertung zeigt, welche Leistungsbereiche unter transaktionskostentheoretischen Gesichtspunkten hierarchisch institutionalisiert werden sollten und welche alternativ erbracht werden können. Aus den Ergebnissen werden Strategieempfehlungen abgeleitet, die als Arbeitshypothesen einer anschließenden empirischen Überprüfung unterzogen werden. Die befragten ÖPNV-Experten bewerten somit die Marktfähigkeit der Strategieempfehlungen. Die Untersuchungsergebnisse werden für die Erarbeitung eines alternativen Koordinierungsarrangements für kommunale Verkehrsunternehmen herangezogen. Das Modell basiert auf der Grundlage Strategischer Netzwerke. Kommunale Verkehrsunternehmen nehmen in dem Modell die Rolle des Nukleus ein, der eine Vielzahl von Netzwerkpartnern steuert und für die Erbringung der ÖPNV-Leistungen mit diesen kooperiert.

Modellbasiertes Service Level Management verteilter Anwendungssysteme

Zur Senkung von Kosten werden in vielen Unternehmen Dienstleistungen, die nicht zur Kernkompetenz gehören, an externe Dienstleister ausgelagert. Dieser Prozess wird auch als Outsourcing bezeichnet. Die dadurch entstehenden Abhängigkeiten zu den externen Dienstleistern werden mit Hilfe von Service Level Agreements (SLAs) vertraglich geregelt. Die Aufgabe des Service Level Managements (SLM) ist es, die Einhaltung der vertraglich fixierten Dienstgüteparameter zu überwachen bzw. sicherzustellen. Für eine automatische Bearbeitung ist daher eine formale Spezifikation von SLAs notwendig. Da der Markt eine Vielzahl von unterschiedlichen SLM-Werkzeugen hervorgebracht hat, entstehen in der Praxis Probleme durch proprietäre SLA-Formate und fehlende Spezifikationsmethoden. Daraus resultiert eine Werkzeugabhängigkeit und eine limitierte Wiederverwendbarkeit bereits spezifizierter SLAs. In der vorliegenden Arbeit wird ein Ansatz für ein plattformunabhängiges Service Level Management entwickelt. Ziel ist eine Vereinheitlichung der Modellierung, so dass unterschiedliche Managementansätze integriert und eine Trennung zwischen Problem- und Technologiedomäne erreicht wird. Zudem wird durch die Plattformunabhängigkeit eine hohe zeitliche Stabilität erstellter Modelle erreicht. Weiteres Ziel der Arbeit ist, die Wiederverwendbarkeit modellierter SLAs zu gewährleisten und eine prozessorientierte Modellierungsmethodik bereitzustellen. Eine automatisierte Etablierung modellierter SLAs ist für eine praktische Nutzung von entscheidender Relevanz. Zur Erreichung dieser Ziele werden die Prinzipien der Model Driven Architecture (MDA) auf die Problemdomäne des Service Level Managements angewandt. Zentrale Idee der Arbeit ist die Definition von SLA-Mustern, die konfigurationsunabhängige Abstraktionen von Service Level Agreements darstellen. Diese SLA-Muster entsprechen dem Plattformunabhängigen Modell (PIM) der MDA. Durch eine geeignete Modelltransformation wird aus einem SLA-Muster eine SLA-Instanz generiert, die alle notwendigen Konfigurationsinformationen beinhaltet und bereits im Format der Zielplattform vorliegt. Eine SLA-Instanz entspricht damit dem Plattformspezifischen Modell (PSM) der MDA. Die Etablierung der SLA-Instanzen und die daraus resultierende Konfiguration des Managementsystems entspricht dem Plattformspezifischen Code (PSC) der MDA. Nach diesem Schritt ist das Managementsystem in der Lage, die im SLA vereinbarten Dienstgüteparameter eigenständig zu überwachen. Im Rahmen der Arbeit wurde eine UML-Erweiterung definiert, die eine Modellierung von SLA-Mustern mit Hilfe eines UML-Werkzeugs ermöglicht. Hierbei kann die Modellierung rein graphisch als auch unter Einbeziehung der Object Constraint Language (OCL) erfolgen. Für die praktische Realisierung des Ansatzes wurde eine Managementarchitektur entwickelt, die im Rahmen eines Prototypen realisiert wurde. Der Gesamtansatz wurde anhand einer Fallstudie evaluiert.

Szenarien zur zukünftigen Stromversorgung, kostenoptimierte Variationen zur Versorgung Europas und seiner Nachbarn mit Strom aus erneuerbaren Energien

Sowohl die Ressourcenproblematik als auch die drohenden Ausmaße der Klimaänderung lassen einen Umstieg auf andere Energiequellen langfristig unausweichlich erscheinen und mittelfristig als dringend geboten. Unabhängig von der Frage, auf welchem Niveau sich der Energiebedarf stabilisieren lässt, bleibt dabei zu klären, welche Möglichkeiten sich aus technischer und wirtschaftlicher Sicht in Zukunft zur Deckung unseres Energiebedarfs anbieten. Eine aussichtsreiche Option besteht in der Nutzung regenerativer Energien in ihrer ganzen Vielfalt. Die Arbeit "Szenarien zur zukünftigen Stromversorgung, kostenoptimierte Variationen zur Versorgung Europas und seiner Nachbarn mit Strom aus erneuerbaren Energien" konzentriert sich mit der Stromversorgung auf einen Teilaspekt der Energieversorgung, der zunehmend an Wichtigkeit gewinnt und als ein Schlüssel zur nachhaltigen Energieversorgung interpretiert werden kann. Die Stromversorgung ist heute weltweit für etwa die Hälfte des anthropogenen CO2-Ausstoßes verantwortlich. In dieser Arbeit wurden anhand verschiedener Szenarien Möglichkeiten einer weitgehend CO2–neutralen Stromversorgung für Europa und seine nähere Umgebung untersucht, wobei das Szenariogebiet etwa 1,1 Mrd. Einwohner und einen Stromverbrauch von knapp 4000 TWh/a umfasst. Dabei wurde untersucht, wie die Stromversorgung aufgebaut sein sollte, damit sie möglichst kostengünstig verwirklicht werden kann. Diese Frage wurde beispielsweise für Szenarien untersucht, in denen ausschließlich heute marktverfügbare Techniken berücksichtigt wurden. Auch der Einfluss der Nutzung einiger neuer Technologien, die bisher noch in Entwicklung sind, auf die optimale Gestaltung der Stromversorgung, wurde anhand einiger Beispiele untersucht. Die Konzeption der zukünftigen Stromversorgung sollte dabei nach Möglichkeit objektiven Kriterien gehorchen, die auch die Vergleichbarkeit verschiedener Versorgungsansätze gewährleisten. Dafür wurde ein Optimierungsansatz gewählt, mit dessen Hilfe sowohl bei der Konfiguration als auch beim rechnerischen Betrieb des Stromversorgungssystems weitgehend auf subjektive Entscheidungsprozesse verzichtet werden kann. Die Optimierung hatte zum Ziel, für die definierte möglichst realitätsnahe Versorgungsaufgabe den idealen Kraftwerks- und Leitungspark zu bestimmen, der eine kostenoptimale Stromversorgung gewährleistet. Als Erzeugungsoptionen werden dabei u.a. die Nutzung Regenerativer Energien durch Wasserkraftwerke, Windenergiekonverter, Fallwindkraftwerke, Biomassekraftwerke sowie solare und geothermische Kraftwerke berücksichtigt. Abhängig von den gewählten Randbedingungen ergaben sich dabei unterschiedliche Szenarien. Das Ziel der Arbeit war, mit Hilfe unterschiedlicher Szenarien eine breite Basis als Entscheidungsgrundlage für zukünftige politische Weichenstellungen zu schaffen. Die Szenarien zeigen Optionen für eine zukünftige Gestaltung der Stromversorgung auf, machen Auswirkungen verschiedener – auch politischer – Rahmenbedingungen deutlich und stellen so die geforderte Entscheidungsgrundlage bereit. Als Grundlage für die Erstellung der Szenarien mussten die verschiedenen Potentiale erneuerbarer Energien in hoher zeitlicher und räumlicher Auflösung ermittelt werden, mit denen es erstmals möglich war, die Fragen einer großräumigen regenerativen Stromversorgung ohne ungesicherte Annahmen anhand einer verlässlichen Datengrundlage anzugehen. Auch die Charakteristika der verschiedensten Energiewandlungs- und Transportsysteme mussten studiert werden und sind wie deren Kosten und die verschiedenen Potentiale in der vorliegenden Arbeit ausführlich diskutiert. Als Ausgangsszenario und Bezugspunkt dient ein konservatives Grundszenario. Hierbei handelt es sich um ein Szenario für eine Stromversorgung unter ausschließlicher Nutzung erneuerbarer Energien, die wiederum ausschließlich auf heute bereits entwickelte Technologien zurückgreift und dabei für alle Komponenten die heutigen Kosten zugrundelegt. Dieses Grundszenario ist dementsprechend auch als eine Art konservative Worst-Case-Abschätzung für unsere Zukunftsoptionen bei der regenerativen Stromversorgung zu verstehen. Als Ergebnis der Optimierung basiert die Stromversorgung beim Grundszenario zum größten Teil auf der Stromproduktion aus Windkraft. Biomasse und schon heute bestehende Wasserkraft übernehmen den überwiegenden Teil der Backup-Aufgaben innerhalb des – mit leistungsstarker HGÜ (Hochspannungs–Gleichstrom–Übertragung) verknüpften – Stromversorgungsgebiets. Die Stromgestehungskosten liegen mit 4,65 €ct / kWh sehr nahe am heute Üblichen. Sie liegen niedriger als die heutigen Preisen an der Strombörse. In allen Szenarien – außer relativ teuren, restriktiv ”dezentralen” unter Ausschluss großräumig länderübergreifenden Stromtransports – spielt der Stromtransport eine wichtige Rolle. Er wird genutzt, um Ausgleichseffekte bei der dargebotsabhängigen Stromproduktion aus erneuerbaren Quellen zu realisieren, gute kostengünstige Potentiale nutzbar zu machen und um die Speicherwasserkraft sowie die dezentral genutzte Biomasse mit ihrer Speicherfähigkeit für großräumige Backup-Aufgaben zu erschließen. Damit erweist sich der Stromtransport als einer der Schlüssel zu einer kostengünstigen Stromversorgung. Dies wiederum kann als Handlungsempfehlung bei politischen Weichenstellungen interpretiert werden, die demnach gezielt auf internationale Kooperation im Bereich der Nutzung erneuerbarer Energien setzen und insbesondere den großräumigen Stromtransport mit einbeziehen sollten. Die Szenarien stellen detaillierte und verlässliche Grundlagen für wichtige politische und technologische Zukunftsentscheidungen zur Verfügung. Sie zeigen, dass bei internationaler Kooperation selbst bei konservativen Annahmen eine rein regenerative Stromversorgung möglich ist, die wirtschaftlich ohne Probleme zu realisieren wäre und verweisen den Handlungsbedarf in den Bereich der Politik. Eine wesentliche Aufgabe der Politik läge darin, die internationale Kooperation zu organisieren und Instrumente für eine Umgestaltung der Stromversorgung zu entwickeln. Dabei kann davon ausgegangen werden, dass nicht nur ein sinnvoller Weg zu einer CO2–neutralen Stromversorgung beschritten würde, sondern sich darüber hinaus ausgezeichnete Entwicklungsperspektiven für die ärmeren Nachbarstaaten der EU und Europas eröffnen.

Das Arbeitserziehungslager Breitenau (1940-1945). Ein Beitrag zum nationalsozialistischen Lagersystem

Die Dissertation befasst sich mit der Geschichte des Arbeitserziehungslagers (AEL) Breitenau, das 1940 von der Gestapostelle Kassel auf dem Gelände der Landesarbeitsanstalt Breitenau in Guxhagen gegründet wurde und bis zum Kriegsende bestand. Darüber hinaus wird auch der Frage nachgegangen, wie nach der NS-Zeit mit der Geschichte des Lagers, den Opfern und den Tätern umgegangen wurde. Die Dissertation ist in drei Teile gegliedert. Der erste Teil gibt einen Überblick über die Geschichte der Geheimen Staatspolizeistelle Kassel, der das Lager unterstand und die als zentrale Verfolgungsbehörde für den Regierungsbezirk Kassel zuständig war. Dabei wird vor allem aufgezeigt, wie die Gestapostelle Kassel entstanden ist, wie sie aufgebaut war und wer die Leiter und Mitarbeiter während des Zweiten Weltkrieges waren, die die Verfolgungsmaßnahmen organisierten und durchführten. Der zweite Teil der Dissertation befasst sich mit der eigentlichen Lagergeschichte. Breitenau war eines der ersten Arbeitserziehungslager überhaupt. Die Hauptfunktion bestand darin, ausländische Zwangsarbeiter und Zwangsarbeiterinnen, die sich dem Arbeitseinsatz widersetzt hatten, durch harte Bestrafung gefügig zu machen. Gleichzeitig wurden in das AEL aber auch deutsche und ausländische Gefangene eingewiesen, die aus politischen, rassischen, religiösen oder weltanschaulichen Gründen verhaftet worden waren. Das Lager unterstand zwar der Geheimen Staatspolizei Kassel, wurde aber von den Bediensteten der Landesarbeitsanstalt mit geleitet. Im Verlaufe des Zweiten Weltkrieges waren im AEL Breitenau etwa 8.300 überwiegend ausländische Schutzhaftgefangene inhaftiert, unter denen sich ca. 1.900 Frauen und 6.400 Männer befanden. Bei den Einweisungen wirkten neben der Gestapostelle Kassel und der Gestapostelle Weimar zahlreiche Orts- und Kreispolizeibehörden mit, wodurch ein flächendeckender Verfolgungsapparat entstand. Insgesamt lassen sich über 1.000 letzte Wohnorte von Gefangenen ermitteln. Die Haft- und Lebensbedingungen im Lager waren vor allem für die ausländischen Gefangenen besonders unmenschlich, und es gab mehrere Todesfälle. Nachweislich wurden mehr als 750 Gefangene in Konzentrationslager deportiert, was für viele den Tod bedeutete. Außerdem wurden mindestens 18 polnische Gefangene von Angehörigen der Gestapo Kassel erhängt und noch unmittelbar vor Kriegsende ein Massenmord an 28 Gefangenen verübt. Erst mit dem Einmarsch der amerikanischen Soldaten am Ostersamstag 1945 wurde das Arbeitserziehungslager Breitenau endgültig aufgelöst. Im dritten Teil der Dissertation wird der Frage des Umgangs mit dem damaligen Geschehen nachgegangen. Dabei lässt sich feststellen, dass die Täter und Mittäter von deutschen Spruchkammern und Gerichten gar nicht oder kaum bestraft wurden. Gleichzeitig wurden ihnen verschiedene Möglichkeiten geboten, sich in die Gesellschaft zu integrieren. Die ehemaligen Gefangenen hatten dagegen keinen Anspruch auf Entschädigung, und auch eine gesellschaftliche Würdigung wurde ihnen versagt. Erst seit den 90er Jahren trat hier eine Veränderung ein, die allerdings für viele Verfolgte zu spät kam. Die Geschichte des Arbeitserziehungslagers Breitenau war viele Jahre verdrängt worden. Das Gelände diente bis 1949 als Landesarbeitsanstalt, dann als geschlossenes Erziehungsheim, und seit 1974 besteht dort eine psychiatrische Einrichtung. Erst 1979 wurde durch ein Forschungsprojekt an der Gesamthochschule Kassel die NS-Geschichte „wiederentdeckt“ und 1984 die Gedenkstätte Breitenau eingerichtet, die als Gedenk- und Bildungsort an das damalige Geschehen erinnert.

Herstellung von spannungsoptimierten Silizium-Membranen durch den elektrochemischen Ätzstopp an pn-Übergängen

Vielen Sensoren in mikroelektromechanische Systemen (MEMS) liegen Siliziummembranen zu Grunde. Die Membranen werden mit unterschiedlichen Verfahren hergestellt. Zum Teil kann man Opferschichten benutzen. Will man jedoch Membranen aus kristallinem Silizium, so muß man auf Ätzstopptechniken zurückgreifen. Eine gängige Methode verwendet vergrabene p^(+)-Schichten. Die sehr hohe Dotierung des Siliziums führt jedoch zu unüberwindbaren Problemen bei der Schaltkreisintegration. Die Verwendung von pn-Übergängen beim elektrochemischen Ätzen als Ätzstopp scheint eine aussichtsreiche Lösung. Die Dotierstoffkonzentrationen sind unkritisch, da sie die Elektronik nicht beeinflussen. Die Siliziummembranen lassen sich mit den üblichen Standard-IC-Prozessen herstellen. Ein Ziel der vorliegenden Arbeit bestand darin, die physikalisch-chemische Erklärung des elektrochemischen Ätzstopps von Silizium in alkalischen Lösungen zu finden. Dabei sollten Effekte untersucht werden, die einen Einfluß auf das Ätzstoppverhalten haben, wozu insbesondere - die Verarmungszone unterhalb der p-Silizium/Elektrolyt-Phasengrenzfläche - sowie die Raumladungszone des in Sperrichtung geschalteten pn-Übergangs zählen. Ausgangspunkt sind die chemischen Ätzmechanismen des Siliziums respektive des Siliziumdioxids, wobei der Mechanismus des Siliziumätzens in alkalischen Lösungen und die elektrochemischen Effekte ausführlich beschrieben werden. Es zeigt sich ein starker Einfluß der Oberflächenelektronen im Leitungsband des Siliziums und der Hydroxidionen des Elektrolyten auf den Auflösungsmechanismus des Siliziums. Diese Erkenntnisse ermöglichen es, den mittels pn-Übergangs kontrollierten elektrochemischen Ätzstopp vollständig zu beschreiben. Es zeigte sich, daß die Dicke der Membran von den Dotierstoffkonzentrationen des p-Siliziumsubstrats und der n-Siliziumschicht, der Tiefe der n-Dotierung, der Temperatur im Ätzsystem und besonders von der anodischen Sperrspannung abhängig ist. Zur Verifizierung wurden Siliziummembrandicken mit Hilfe von IR-Ellipsometrie vermessen. Im Rahmen dieser Arbeit wurde auch der es Einflusses von starken Dotierungen im Silizium auf dessen elastische Eigenschaften untersucht, im speziellen bei µm-dünnen Membranen, die mittels elektrochemischen Ätzstopps hergestellt wurden. Dabei wird auf den Einfluß der hohen Dotierstoffkonzentrationen ein besonderes Augenmerk gelegt. Der Youngsche Modul läßt sich bei einem Zugversuch durch Messung der Ausdehnung ermitteln. Für eine zerstörungsfreie Messung der sehr dünnen pn-Siliziummembranen wird die Dehnung berührungslos mit Hilfe des Laser-Speckle Extensometers gemessen. Laserakustische Oberflächenwellen wurden eingesetzt, um gezielt den Einfluß der unterschiedlich starken Dotierung mit Phosphor auf den Elastizitätsmodul zu ermitteln.