986 resultados para vertical-cavity surface-emitting lasers


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Mikrooptische Filter sind heutzutage in vielen Bereichen in der Telekommunikation unersetzlich. Wichtige Einsatzgebiete sind aber auch spektroskopische Systeme in der Medizin-, Prozess- und Umwelttechnik. Diese Arbeit befasst sich mit der Technologieentwicklung und Herstellung von luftspaltbasierenden, vertikal auf einem Substrat angeordneten, oberflächenmikromechanisch hergestellten Fabry-Perot-Filtern. Es werden zwei verschiedene Filtervarianten, basierend auf zwei verschiedenen Materialsystemen, ausführlich untersucht. Zum einen handelt es sich dabei um die Weiterentwicklung von kontinuierlich mikromechanisch durchstimmbaren InP / Luftspaltfiltern; zum anderen werden neuartige, kostengünstige Siliziumnitrid / Luftspaltfilter wissenschaftlich behandelt. Der Inhalt der Arbeit ist so gegliedert, dass nach einer Einleitung mit Vergleichen zu Arbeiten und Ergebnissen anderer Forschergruppen weltweit, zunächst einige theoretische Grundlagen zur Berechnung der spektralen Reflektivität und Transmission von beliebigen optischen Schichtanordnungen aufgezeigt werden. Auß erdem wird ein kurzer theoretischer Ü berblick zu wichtigen Eigenschaften von Fabry-Perot-Filtern sowie der Möglichkeit einer mikromechanischen Durchstimmbarkeit gegeben. Daran anschließ end folgt ein Kapitel, welches sich den grundlegenden technologischen Aspekten der Herstellung von luftspaltbasierenden Filtern widmet. Es wird ein Zusammenhang zu wichtigen Referenzarbeiten hergestellt, auf denen diverse Weiterentwicklungen dieser Arbeit basieren. Die beiden folgenden Kapitel erläutern dann ausführlich das Design, die Herstellung und die Charakterisierung der beiden oben erwähnten Filtervarianten. Abgesehen von der vorangehenden Epitaxie von InP / GaInAs Schichten, ist die Herstellung der InP / Luftspaltfilter komplett im Institut durchgeführt worden. Die Herstellungsschritte sind ausführlich in der Arbeit erläutert, wobei ein Schwerpunktthema das trockenchemische Ä tzen von InP sowie GaInAs, welches als Opferschichtmaterial für die Herstellung der Luftspalte genutzt wurde, behandelt. Im Verlauf der wissenschaftlichen Arbeit konnten sehr wichtige technische Verbesserungen entwickelt und eingesetzt werden, welche zu einer effizienteren technologischen Herstellung der Filter führten und in der vorliegenden Niederschrift ausführlich dokumentiert sind. Die hergestellten, für einen Einsatz in der optischen Telekommunikation entworfenen, elektrostatisch aktuierbaren Filter sind aus zwei luftspaltbasierenden Braggspiegeln aufgebaut, welche wiederum jeweils 3 InP-Schichten von (je nach Design) 357nm bzw. 367nm Dicke aufweisen. Die Filter bestehen aus im definierten Abstand parallel übereinander angeordneten Membranen, die über Verbindungsbrücken unterschiedlicher Anzahl und Länge an Haltepfosten befestigt sind. Da die mit 357nm bzw. 367nm vergleichsweise sehr dünnen Schichten freitragende Konstrukte mit bis zu 140 nm Länge bilden, aber trotzdem Positionsgenauigkeiten im nm-Bereich einhalten müssen, handelt es sich hierbei um sehr anspruchsvolle mikromechanische Bauelemente. Um den Einfluss der zahlreichen geometrischen Strukturparameter studieren zu können, wurden verschiedene laterale Filterdesigns implementiert. Mit den realisierten Filter konnte ein enorm weiter spektraler Abstimmbereich erzielt werden. Je nach lateralem Design wurden internationale Bestwerte für durchstimmbare Fabry-Perot-Filter von mehr als 140nm erreicht. Die Abstimmung konnte dabei kontinuierlich mit einer angelegten Spannung von nur wenigen Volt durchgeführt werden. Im Vergleich zu früher berichteten Ergebnissen konnten damit sowohl die Wellenlängenabstimmung als auch die dafür benötigte Abstimmungsspannung signifikant verbessert werden. Durch den hohen Brechungsindexkontrast und die geringe Schichtdicke zeigen die Filter ein vorteilhaftes, extrem weites Stopband in der Größ enordnung um 550nm. Die gewählten, sehr kurzen Kavitätslängen ermöglichen einen freien Spektralbereich des Filters welcher ebenfalls in diesen Größ enordnungen liegt, so dass ein weiter spektraler Einsatzbereich ermöglicht wird. Während der Arbeit zeigte sich, dass Verspannungen in den freitragenden InPSchichten die Funktionsweise der mikrooptischen Filter stark beeinflussen bzw. behindern. Insbesondere eine Unterätzung der Haltepfosten und die daraus resultierende Verbiegung der Ecken an denen sich die Verbindungsbrücken befinden, führte zu enormen vertikalen Membranverschiebungen, welche die Filtereigenschaften verändern. Um optimale Ergebnisse zu erreichen, muss eine weitere Verbesserung der Epitaxie erfolgen. Jedoch konnten durch den zusätzlichen Einsatz einer speziellen Schutzmaske die Unterätzung der Haltepfosten und damit starke vertikale Verformungen reduziert werden. Die aus der Verspannung resultierenden Verformungen und die Reaktion einzelner freistehender InP Schichten auf eine angelegte Gleich- oder Wechselspannung wurde detailliert untersucht. Mittels Weisslichtinterferometrie wurden lateral identische Strukturen verglichen, die aus unterschiedlich dicken InP-Schichten (357nm bzw. 1065nm) bestehen. Einen weiteren Hauptteil der Arbeit stellen Siliziumnitrid / Luftspaltfilter dar, welche auf einem neuen, im Rahmen dieser Dissertation entwickelten, technologischen Ansatz basieren. Die Filter bestehen aus zwei Braggspiegeln, die jeweils aus fünf 590nm dicken, freistehenden Siliziumnitridschichten aufgebaut sind und einem Abstand von 390nm untereinander aufweisen. Die Filter wurden auf Glassubstraten hergestellt. Der Herstellungsprozess ist jedoch auch mit vielen anderen Materialien oder Prozessen kompatibel, so dass z.B. eine Integration mit anderen Bauelemente relativ leicht möglich ist. Die Prozesse dieser ebenfalls oberflächenmikromechanisch hergestellten Filter wurden konsequent auf niedrige Herstellungskosten optimiert. Als Opferschichtmaterial wurde hier amorph abgeschiedenes Silizium verwendet. Der Herstellungsprozess beinhaltet die Abscheidung verspannungsoptimierter Schichten (Silizium und Siliziumnitrid) mittels PECVD, die laterale Strukturierung per reaktiven Ionenätzen mit den Gasen SF6 / CHF3 / Ar sowie Fotolack als Maske, die nasschemische Unterätzung der Opferschichten mittels KOH und das Kritisch-Punkt-Trocken der Proben. Die Ergebnisse der optischen Charakterisierung der Filter zeigen eine hohe Ü bereinstimmung zwischen den experimentell ermittelten Daten und den korrespondierenden theoretischen Modellrechnungen. Weisslichtinterferometermessungen der freigeätzten Strukturen zeigen ebene Filterschichten und bestätigen die hohe vertikale Positioniergenauigkeit, die mit diesem technologischen Ansatz erreicht werden kann.

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The current trend toward minimal-invasive dentistry has introduced innovative techniques for cavity preparation. Chemical vapor deposition (CVD) and laser-irradiation technology have been employed as an alternative to the common use of regular burs in high-speed turbines. Objectives. The purpose of this study was to assess the influence of alternative techniques for cavity preparation on the bonding effectiveness of different adhesives to dentin, and to evaluate the morphological characteristics of dentin prepared with those techniques. Methods. One etch&rinse adhesive (OptiBond FL, Kerr) and three self-etch systems (Adper Prompt L-Pop, 3M ESPE; Clearfil SE Bond, Kuraray; Clearfil S3 Bond, Kuraray) were applied on dentin prepared with a regular bur in a turbine, with a CVD bur in a turbine, with a CVD tip in ultrasound and with an ErCr:YSGG laser. The micro-tensile bond strength (mu TBS) was determined after storage in water for 24 h at 37 degrees C, and morphological evaluation was performed by means of field -emission -gun scanning electron microscopy (Feg-SEM). Results. Feg-SEM evaluation revealed different morphological features on the dentin surface after the usage of both the conventional and alternative techniques for cavity preparation, more specifically regarding smear-layer thickness and surface roughness. CVD bur-cut, CVD ultra-sonoabraded and laser-irradiated dentin resulted in lower mu TBSs than conventionally bur-cut dentin, irrespective of the adhesive employed. Significance. The techniques, such as CVD diamond-bur cutting, CVD diamond ultra-sonoabrasion and laser-irradiation, used for cavity preparation may affect the bonding effectiveness of adhesives to dentin, irrespective of their acidity or approach. (C) 2007 Academy of Dental Materials. Published by Elsevier Ltd. All rights reserved.

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Semiconductor Optical Amplifiers (SOAs) have mainly found application in optical telecommunication networks for optical signal regeneration, wavelength switching or wavelength conversion. The objective of this paper is to report the use of semiconductor optical amplifiers for optical sensing taking into account their optical bistable properties. As it was previously reported, some semiconductor optical amplifiers, including Fabry-Perot and Distributed-Feedback Semiconductor Optical Amplifiers (FPSOAs and DFBSOAs), may exhibit optical bistability. The characteristics of the attained optical bistability in this kind of devices are strongly dependent on different parameters including wavelength, temperature or applied bias current and small variations lead to a change on their bistable properties. As in previous analyses for Fabry-Perot and DFB SOAs, the variations of these parameters and their possible application for optical sensing are reported in this paper for the case of the Vertical-Cavity Semiconductor Optical Amplifier (VCSOA). When using a VCSOA, the input power needed for the appearance of optical bistability is one order of magnitude lower than that needed in edge-emitting devices. This feature, added to the low manufacturing costs of VCSOAs and the ease to integrate them in 2-D arrays, makes the VCSOA a very promising device for its potential use in optical sensing applications.

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The study of the Vertical-Cavity Semiconductor Optical Amplifiers (VCSOAs) for optical signal processing applications is increasing his interest. Due to their particular structure, the VCSOAs present some advantages when compared to their edge-emitting counterparts including low manufacturing costs, high coupling efficiency to optical fibers and the ease to fabricate 2-D arrays of this kind of devices. As a consequence, all-optical logic gates based on VCSOAs may be very promising devices for their use in optical computing and optical switching in communications. Moreover, since all the boolean logic functions can be implemented by combining NAND logic gates, the development of a Vertical-Cavity NAND gate would be of particular interest. In this paper, the characteristics of the dispersive optical bistability appearing on a VCSOA operated in reflection are studied. A progressive increment of the number of layers compounding the top Distributed Bragg Reflector (DBR) of the VCSOA results on a change on the shape of the appearing bistability from an S-shape to a clockwise bistable loop. This resulting clockwise bistability has high on-off contrast ratio and input power requirements one order of magnitude lower than those needed for edge-emitting devices. Based on these results, an all-optical vertical-cavity NAND gate with high on-off contrast ratio and an input power for operation of only 10|i\V will be reported in this paper.

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Diese Arbeit umfaßt das elektromechanische Design und die Designoptimierung von weit durchstimmbaren optischen multimembranbasierten Bauelementen, mit vertikal orientierten Kavitäten, basierend auf der Finiten Element Methode (FEM). Ein multimembran InP/Luft Fabry-Pérot optischer Filter wird dargestellt und umfassend analysiert. In dieser Arbeit wird ein systematisches strukturelles Designverfahren dargestellt. Genaue analytische elektromechanischer Modelle für die Bauelemente sind abgeleitet worden. Diese können unschätzbare Werkzeuge sein, um am Anfang der Designphase schnell einen klaren Einblick zur Verfügung zu stellen. Mittels des FEM Programms ist der durch die nicht-lineare Verspannung hervorgerufene versteifende Effekt nachgeforscht und sein Effekt auf die Verlängerung der mechanischen Durchstimmungsstrecke der Bauelemente demonstriert worden. Interessant war auch die Beobachtung, dass die normierte Relation zwischen Ablenkung und Spannung ein unveränderliches Profil hat. Die Deformation der Membranflächen der in dieser Arbeit dargestellten Bauelementformen erwies sich als ein unerwünschter, jedoch manchmal unvermeidbarer Effekt. Es zeigt sich aber, dass die Wahl der Größe der strukturellen Dimensionen den Grad der Membrandeformation im Falle der Aktuation beeinflusst. Diese Arbeit stellt ein elektromechanisches in FEMLAB implementierte quasi-3D Modell, das allgemein für die Modellierung dünner Strukturen angewendet werden kann, dar; und zwar indem man diese als 2D-Objekte betrachtet und die dritte Dimension als eine konstante Größe (z.B. die Schichtdicke) oder eine Größe, welche eine mathematische Funktion ist, annimmt. Diese Annahme verringert drastisch die Berechnungszeit sowie den erforderlichen Arbeitsspeicherbedarf. Weiter ist es für die Nachforschung des Effekts der Skalierung der durchstimmbaren Bauelemente verwendet worden. Eine neuartige Skalierungstechnik wurde abgeleitet und verwendet. Die Ergebnisse belegen, dass das daraus resultierende, skalierte Bauelement fast genau die gleiche mechanische Durchstimmung wie das unskalierte zeigt. Die Einbeziehung des Einflusses von axialen Verspannungen und Gradientenverspannungen in die Berechnungen erforderte die Änderung der Standardimplementierung des 3D Mechanikberechnungsmodus, der mit der benutzten FEM Software geliefert wurde. Die Ergebnisse dieser Studie zeigen einen großen Einfluss der Verspannung auf die Durchstimmungseigenschaften der untersuchten Bauelemente. Ferner stimmten die Ergebnisse der theoretischen Modellrechnung mit den experimentellen Resultaten sehr gut überein.

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The characteristics of optical bistability in a vertical- cavity semiconductor optical amplifier (VCSOA) operated in reflection are reported. The dependences of the optical bistability in VCSOAs on the initial phase detuning and on the applied bias current are analyzed. The optical bistability is also studied for different numbers of superimposed periods in the top distributed bragg reflector (DBR) that conform the internal cavity of the device. The appearance of the X-bistable and the clockwise bistable loops is predicted theoretically in a VCSOA operated in reflection for the first time, to the best of our knowledge. Moreover, it is also predicted that the control of the VCSOA’s top reflectivity by the addition of new superimposed periods in its top DBR reduces by one order of magnitude the input power needed for the assessment of the X- and the clockwise bistable loop, compared to that required in in-plane semiconductor optical amplifiers. These results, added to the ease of fabricating two-dimensional arrays of this kind of device could be useful for the development of new optical logic or optical signal regeneration devices.

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An optical autocorrelator grown on a (211)B GaAs substrate that uses visible surface-emitted second-harmonic generation is demonstrated. The (211)B orientation needs TE mode excitation only, thus eliminating the problem of the beating between the TE and TM modes that is required for (100)-grown devices; it also has the advantage of giving higher upconversion efficiency than (111) growth. Values of waveguide loss and the difference in the effective refractive index between the TE(0) and TE(1) modes were also obtained from the autocorrelation experiment.

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An optical autocorrelator grown on a (211)B GaAs substrate that uses visible surface-emitted second-harmonic generation is demonstrated. The (211)B orientation needs TE mode excitation only, thus eliminating the problem of the beating between the TE and TM modes that is required for (100)-grown devices; it also has the advantage of giving higher upconversion efficiency than (111) growth. Values of waveguide loss and the difference in the effective refractive index between the TE(0) and TE(1) modes were also obtained from the autocorrelation experiment.

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Over the last decades, anti-resonant reflecting optical waveguides (ARROW) have been used in different integrated optics applications. In this type of waveguide, light confinement is partially achieved through an anti-resonant reflection. In this work, the simulation, fabrication and characterization of ARROW waveguides using dielectric films deposited by a plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) technique, at low temperatures(similar to 300 degrees C), are presented. Silicon oxynitride (SiO(x)N(y)) films were used as core and second cladding layers and amorphous hydrogenated silicon carbide(a-SiC:H) films as first cladding layer. Furthermore, numerical simulations were performed using homemade routines based on two computational methods: the transfer matrix method (TMM) for the determination of the optimum thickness of the Fabry-Perot layers; and the non-uniform finite difference method (NU-FDM) for 2D design and determination of the maximum width that yields single-mode operation. The utilization of a silicon carbide anti-resonant layer resulted in low optical attenuations, which is due to the high refractive index difference between the core and this layer. Finally, for comparison purposes, optical waveguides using titanium oxide (TiO(2)) as the first ARROW layer were also fabricated and characterized.

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Pós-graduação em Ciência e Tecnologia de Materiais - FC

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This Master's thesis is devoted to semiconductor samples study using time-resolved photoluminescence. This method allows investigating recombination in semiconductor samples in order to develop quality of optoelectronic device. An additional goal was the method accommodation for low-energy-gap materials. The first chapter gives a brief intercourse into the basis of semiconductor physics. The key features of the investigated structures are noted. The usage area of the results covers saturable semiconductor absorber mirrors, disk lasers and vertical-external-cavity surface-emittinglasers. The experiment set-up is described in the second chapter. It is based on up-conversion procedure using a nonlinear crystal and involving the photoluminescent emission and the gate pulses. The limitation of the method was estimated. The first series of studied samples were grown at various temperatures and they suffered rapid thermal annealing. Further, a latticematched and metamorphically grown samples were compared. Time-resolved photoluminescence method was adapted for wavelengths up to 1.5 µm. The results allowed to specify the optimal substrate temperature for MBE process. It was found that the lattice-matched sample and the metamorphically grown sample had similar characteristics.

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A record broadly tunable high-power external cavity InAs/GaAs quantum-dot diode laser with a tuning range of 202 nm (1122 nm-1324 nm) is demonstrated. A maximum output power of 480 mW and a side-mode suppression ratio greater than 45 dB are achieved in the central part of the tuning range. We exploit a number of strategies for enhancing the tuning range of external cavity quantum-dot lasers. Different waveguide designs, laser configurations and operation conditions (pump current and temperature) are investigated for optimization of output power and tunability. (C) 2010 Optical Society of America

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This thesis presents a detailed, experiment-based study of generation of ultrashort optical pulses from diode lasers. Simple and cost-effective techniques were used to generate high power, high quality optical short pulses at various wavelength windows. The major achievements presented in the thesis is summarised as follows. High power pulses generation is one of the major topics discussed in the thesis. Although gain switching is the simplest way for ultrashort pulse generation, it proves to be quite effective to deliver high energy pulses on condition that the pumping pulses with extremely fast rising time and high enough amplitude are applied on specially designed pulse generators. In the experiment on a grating-coupled surface emitting laser (GCSEL), peak power as high as 1W was achieved even when its spectral bandwidth was controlled within 0.2nm. Another experiment shows violet picosecond pulses with peak power as high as 7W was achieved when the intensive electrical pulses were applied on optimised DC bias to pump on InGaN violet diode laser. The physical mechanism of this phenomenon, as we considered, may attributed to the self-organised quantum dots structure in the laser. Control of pulse quality, including spectral quality and temporal profile, is an important issue for high power pulse generation. The ways to control pulse quality described in the thesis are also based on simple and effective techniques. For instance, GCSEL used in our experiment has a specially designed air-grating structure for out-coupling of optical signals; hence, a tiny flat aluminium mirror was placed closed to the grating section and resulted in a wavelength tuning range over 100nm and the best side band suppression ratio of 40dB. Self-seeding, as an effective technique for spectral control of pulsed lasers, was demonstrated for the first time in a violet diode laser. In addition, control of temporal profile of the pulse is demonstrated in an overdriven DFB laser. Wavelength tuneable fibre Bragg gratings were used to tailor the huge energy tail of the high power pulse. The whole system was compact and robust. The ultimate purpose of our study is to design a new family of compact ultrafast diode lasers. Some practical ideas of laser design based on gain-switched and Q-switched devices are also provided in the end.

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Pulse generation often requires a stabilized cavity and its corresponding mode structure for initial phase-locking. Contrastingly, modeless cavity-free random lasers provide new possibilities for high quantum efficiency lasing that could potentially be widely tunable spectrally and temporally. Pulse generation in random lasers, however, has remained elusive since the discovery of modeless gain lasing. Here we report coherent pulse generation with modeless random lasers based on the unique polarization selectivity and broadband saturable absorption of monolayer graphene. Simultaneous temporal compression of cavity-free pulses are observed with such a polarization modulation, along with a broadly-tunable pulsewidth across two orders of magnitude down to 900 ps, a broadly-tunable repetition rate across three orders of magnitude up to 3 MHz, and a singly-polarized pulse train at 41 dB extinction ratio, about an order of magnitude larger than conventional pulsed fiber lasers. Moreover, our graphene-based pulse formation also demonstrates robust pulse-to-pulse stability and widewavelength operation due to the cavity-less feature. Such a graphene-based architecture not only provides a tunable pulsed random laser for fiber-optic sensing, speckle-free imaging, and laser-material processing, but also a new way for the non-random CW fiber lasers to generate widely tunable and singly-polarized pulses.

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The development of ultra-long (UL) cavity (hundreds of meters to several kilometres) mode-locked fibre lasers for the generation of high-energy light pulses with relatively low (sub-megahertz) repetition rates has emerged as a new rapidly advancing area of laser physics. The first demonstration of high pulse energy laser of this type was followed by a number of publications from many research groups on long-cavity Ytterbium and Erbium lasers featuring a variety of configurations with rather different mode-locked operations. The substantial interest to this new approach is stimulated both by non-trivial underlying physics and by the potential of high pulse energy laser sources with unique parameters for a range of applications in industry, bio-medicine, metrology and telecommunications. It is well known, that pulse generation regimes in mode-locked fibre lasers are determined by the intra-cavity balance between the effects of dispersion and non-linearity, and the processes of energy attenuation and amplification. The highest per-pulse energy has been achieved in normal-dispersion UL fibre lasers mode-locked through nonlinear polarization evolution (NPE) for self-modelocking operation. In such lasers are generated the so-called dissipative optical solitons. The uncompensated net normal dispersion in long-cavity resonatorsusually leads to very high chirp and, consequently, to a relatively long duration of generated pulses. This thesis presents the results of research Er-doped ultra-long (more than 1 km cavity length) fibre lasers mode-locked based on NPE. The self-mode-locked erbium-based 3.5-km-long all-fiber laser with the 1.7 µJ pulse energy at a wavelength of 1.55 µm was developed as a part of this research. It has resulted in direct generation of short laser pulses with an ultralow repetition rate of 35.1 kHz. The laser cavity has net normal-dispersion and has been fabricated from commercially-available telecom fibers and optical-fiber elements. Its unconventional linear-ring design with compensation for polarization instability ensures high reliability of the self-mode-locking operation, despite the use of a non polarization-maintaining fibers. The single pulse generation regime in all-fibre erbium mode-locking laser based on NPE with a record cavity length of 25 km was demonstrated. Modelocked lasers with such a long cavity have never been studied before. Our result shows a feasibility of stable mode-locked operation even for an ultra-long cavity length. A new design of fibre laser cavity – “y-configuration”, that offers a range of new functionalities for optimization and stabilization of mode-locked lasing regimes was proposed. This novel cavity configuration has been successfully implemented into a long-cavity normal-dispersion self-mode-locked Er-fibre laser. In particular, it features compensation for polarization instability, suppression of ASE, reduction of pulse duration, prevention of in-cavity wave breaking, and stabilization of the lasing wavelength. This laser along with a specially designed double-pass EDFA have allowed us to demonstrate anenvironmentally stable all-fibre laser system able to deliver sub-nanosecond high-energy pulses with low level of ASE noise.