Modelagem dos processos químicos em plasmas de misturas gasosas usadas na corrosão de silício. Parte 2: SF6 / O2

In this work, a numerical modeling analysis of the gas-phase decomposition of SF6 / O2 mixtures, in the presence of silicon, was performed. The relative importance of individual processes and the effect of the parameters' uncertainties were determined. The model was compared with experimental data for the plasma etching of silicon and with the calculated results for the CF4 / O2 system. In both systems the main etching agent is the fluorine atom and the concentration of the major species depends on the composition of the mixture. The etching rate is greater for SF6 / O2.

Estudo do efeito de tratamentos térmicos em catalisadores de PtRu/C frente à reação de oxidação de hidrogênio na presença de CO

In this work the effects of time and temperature of thermal treatments under reducing atmosphere (H2) on PtRu/C catalysts for the hydrogen oxidation reaction (HOR) in the presence of CO on a proton exchange membrane fuel cell (PEMFC) single cells have been studied. It can be seen that the increase of the treatment temperature leads to an increasing sintering of the catalyst particles with reduction of the active area, although the catalyst treated at 550 ºC presents more CO tolerance for the HOR.

Patogenicidade de Corynespora cassiicola em soja, limiares térmicos e temperatura ótima para a germinação de conídios em meio de cultura

Ensaios em câmara climatizada e laboratório, foram conduzidos para demonstrar a patogenicidade de Corynespora cassiicola em soja. Para esse estudo, utilizou-se um isolado monosporico obtido de folhas de soja de Primavera do Leste, MT. Os conídios analisados ao mi croscópio ótico a presentaram morfologia semelhante a do gênero Corynespora. A mensuração de 200 conídios desenvolvidos em meio de cultura, obteve-se as seguintes medidas 8-12 x 20 - 280 µm, média de 10 x 150 µm. O isolado foi inoculado no cultivar CD 219 RR para comprovar a sua patogenicidade. Pela comparação dos sintomas com as descrições da literatura e pelo reisolamento do patógeno, seguido de sua caracterização morfológica, confirmou-se à patogenicidade do isolado de C. cassiicola. Para identificar os limiares térmicos inferior (Lti) e superior (Lts) e a temperatura ótima e o limiar térmico superior (Lt s) para a germinação de esporos de C. cassiicola, foi conduzido um ensaio em placas de Petri, com meio de cultur a Czapekága r. Foram testados: ( a ) tempo de exposiçã o de 6 , 1 2 e 24 hora s e (b) temperaturas mínimas de 5, 6, 7, 8, 9 e 10 ºC, intermediárias de 15, 20, 25, 30 e 35ºC e superiores de 36, 37, 38, 39, 40 e 41ºC. Os dados foram submetidos a análise de variância e regressão. Os conídios germinaram em uma ampla gama de tempera tura tendo como valores de Lti 7ºC, ótima de 23ºC e valores de Lts 39ºC.

Limiares térmicos para a germinação de conídios de Cercospora sojina em dois regimes luminosos

O objetivo desse trabalho foi avaliar a germinação de conídios horas, verificou-se que a maior germinação ocorreu na temperatura de Cercospora sojina em diferentes temperaturas com luz contínua de 23,8 ºC, para 6 horas foi de 24,3 ºC, para 9 horas foi de 22,9 ºC e no escuro, visando a determinar os limiares térmicos inferior e e para 12 horas foi de 22,4ºC. Quando as placas foram incubadas superior e a temperatura ótima. Os conídios foram depositados na no escuro, verificou-se que a maior germinação dos conídios para superfície das placas de petri contendo substrato ágar-água. Em o tempo de exposição de 3 horas foi na temperatura de 23,8 ºC, seguida foram incubadas em DBO com luz contínua e no escuro para 6 horas foi de 23,4 ºC, para 9 horas foi de 22,9 ºC e para 12 nas temperaturas (0; 5; 10; 15; 20; 25; 30; 35 e 40 ºC) e retiradas horas 22,7 ºC. A temperatura ótima para a germinação de conídios nos tempos de exposição (3, 6, 9 e 12 horas). Para os conídios de na luz contínua foi de 22,4 ºC e no escuro de 23 ºC, sendo o limiar C. sojina submetidos à luz contínua no tempo de exposição de 3 térmico inferior de 0 ºC e o superior de 40 ºC.

Comportamento de frangos de corte submetidos a diferentes ambientes térmicos

É um desafio manter o ambiente térmico, e como as aves alteram seu comportamento em resposta a este ambiente, entender o comportamento dos animais ajuda neste controle. Neste contexto, objetivou-se, com o presente trabalho, avaliar o comportamento de frangos de corte, durante as duas primeiras semanas de vida, submetidos a diversas variações de temperatura do ar em câmaras climáticas. Os animais foram filmados por câmeras de vídeo, possibilitando o monitoramento das aves no estudo dos comportamentos característicos de agrupamento, presença no bebedouro, presença no comedouro e presença em áreas intermediárias. Os resultados mostraram que, em condições de estresse térmico por frio, as aves apresentaram tendência de permanecer maior parte do tempo agrupadas, afetando assim o desenvolvimento e a eficiência produtiva destes animais.

Cinética da degradação da cor de solução hidrossolúvel comercial de urucum, submetida a tratamentos térmicos

Soluções comerciais hidrossolúveis de urucum foram submetidas a diferentes tratamentos de tempo/temperatura, a fim de se investigar a estabilidade da cor nestas condições. A cor foi medida em um espectrofotômetro COMCOR 1500 Plus no sistema Lab Hunter e os resultados são discutidos neste artigo, assim como as alterações de concentração do sal de norbixina e os parâmetros de cor L, a e b Hunter. Os resultados foram analisados quanto à ordem da reação e a dependência da temperatura pôde ser descrita pelo modelo de Arrhenius, com valores de energia de ativação entre 11 e 25 kcal/mol. As alterações de cor observadas foram o aumento de luminosidade do amarelo e diminuição do vermelho. As reações de degradação do sal de nobixina foram de 2a ordem e de 1a ordem para os outros parâmetros de cor.

Determinación de trazas de tierras raras en minerales de flourita por el método de análisis instrumental por activación con neutrónes térmicos

Tesis (Maestría en Ciencias, con especialidad en Ingeniería Nuclear). U. A. N. L.

Análisis de cemento por el método de análisis por activación con neutrones térmicos [por] Oscar Villarreal Reyes.

Tesis (Maestría en Ciencias, con especialidad en Ingeniería Nuclear). U. A. N. L.

Distribución espacial de los neutrones térmicos en un medio moderador hidrogenado

Tesis (Maestría en Ciencias, con especialidad en Ingeniería Nuclear). U.A.N.L.

Tratamientos térmicos de los aceros

Tesis (Maestro en Ciencias de la Mecánica con Especialidad de los Materiales) UANL, 1999.

Estudio del efecto de la aplicación de pretratamientos térmicos de envejecido en la soldabilidad de una superaleación inconel 939.

Tesis (Doctor en Ingeniería de Materiales) UANL, 2012.

Développement et caractérisation de sources de neutres réactifs pour l’étude des interactions plasmas-surfaces

L’objectif de ce mémoire de maîtrise est de développer et de caractériser diverses sources de neutres réactifs destinées à des études fondamentales des interactions plasmas-surfaces. Ce projet s’inscrit dans le cadre d’une vaste étude de la physique des interactions plasmas-parois mises en jeu dans les procédés de gravure par plasma des matériaux de pointe. Une revue de la littérature scientifique sur les diverses méthodes permettant de générer des faisceaux de neutres réactifs nous a permis de sélectionner deux types de sources. La première, une source pyrolitique, a été caractérisée par spectrométrie de masse en utilisant le C2F6 comme molécule mère. Nous avons montré que le C2F6 était dissocié à plus de 90% à 1000ºC et qu’il formait du CF4, lui-même dissocié en CF2 vers 900ºC. Ces résultats ont été validés à l’aide d’un modèle basé sur des calculs d’équilibres chimiques, qui a aussi prédit la formation de F à 1500ºC. La seconde source, un plasma entretenu par une onde électromagnétique de surfaces, a été caractérisée par spectroscopie optique d’émission et par interférométrie haute fréquence. Dans le cas du plasma d’argon créé par un champ électromagnétique (>GHz), nos travaux ont révélé une distribution en énergie des électrons à trois températures avec Te-low>Te-high

Analyse des processus de dérive lors de la gravure profonde du silicium dans des plasmas SF6 et C4F8

L’objectif de ce mémoire de maîtrise est de développer des outils de diagnostics non-invasifs et de caractériser in-situ les dérives de procédé dans un réacteur industriel utilisé en production pour la gravure profonde du silicium par le procédé Bosch. Ce dernier repose sur l’alternance d’un plasma de SF6 pour la gravure isotrope du Si et d’un plasma de C4F8 pour la passivation des parois dans l’optique d’obtenir des tranchées profondes et étroites. Dans un premier temps, nous avons installé une sonde courant-tension sur la ligne de transmission du signal rf au porte-substrat pour l’étude de son impédance caractéristique et un spectromètre optique pour l’étude de l’émission optique du plasma. Nos travaux ont montré que l’évolution temporelle de l’impédance constitue un excellent moyen pour identifier des changements dans la dynamique du procédé, notamment une gravure complète de la photorésine. De plus, à partir des spectres d’émission, nous avons pu montrer que des produits carbonés sont libérés du substrat et des parois lors de l’alternance passivation/gravure et que ceux-ci modifient considérablement la concentration de fluor atomique dans le plasma. Dans un second temps, nous avons développé un réacteur à « substrat-tournant » pour l’analyse in-situ des interactions plasma-parois dans le procédé Bosch. Nos travaux sur ce réacteur visaient à caractériser par spectrométrie de masse l’évolution temporelle des populations de neutres réactifs et d’ions positifs. Dans les conditions opératoires étudiées, le SF6 se dissocie à près de 45% alors que le degré de dissociation du C4F8 atteint 70%. Le SF6 est avant tout dissocié en F et SF3 et l’ion dominant est le SF3+ alors que le C4F8 est fragmenté en CF, CF3 et CF4 et nous mesurons plusieurs ions significatifs. Dans les deux cas, la chaîne de dissociation demeure loin d’être complète. Nous avons noté une désorption importante des parois de CF4 lors du passage du cycle de passivation au cycle de gravure. Un modèle d’interactions plasmas-parois est proposé pour expliquer cette observation.

Space and time characterization of laser-induced plasmas for applications in chemical analysis and thin film deposition

Après des décennies de développement, l'ablation laser est devenue une technique importante pour un grand nombre d'applications telles que le dépôt de couches minces, la synthèse de nanoparticules, le micro-usinage, l’analyse chimique, etc. Des études expérimentales ainsi que théoriques ont été menées pour comprendre les mécanismes physiques fondamentaux mis en jeu pendant l'ablation et pour déterminer l’effet de la longueur d'onde, de la durée d'impulsion, de la nature de gaz ambiant et du matériau de la cible. La présente thèse décrit et examine l'importance relative des mécanismes physiques qui influencent les caractéristiques des plasmas d’aluminium induits par laser. Le cadre général de cette recherche forme une étude approfondie de l'interaction entre la dynamique de la plume-plasma et l’atmosphère gazeuse dans laquelle elle se développe. Ceci a été réalisé par imagerie résolue temporellement et spatialement de la plume du plasma en termes d'intensité spectrale, de densité électronique et de température d'excitation dans différentes atmosphères de gaz inertes tel que l’Ar et l’He et réactifs tel que le N2 et ce à des pressions s’étendant de 10‾7 Torr (vide) jusqu’à 760 Torr (pression atmosphérique). Nos résultats montrent que l'intensité d'émission de plasma dépend généralement de la nature de gaz et qu’elle est fortement affectée par sa pression. En outre, pour un délai temporel donné par rapport à l'impulsion laser, la densité électronique ainsi que la température augmentent avec la pression de gaz, ce qui peut être attribué au confinement inertiel du plasma. De plus, on observe que la densité électronique est maximale à proximité de la surface de la cible où le laser est focalisé et qu’elle diminue en s’éloignant (axialement et radialement) de cette position. Malgré la variation axiale importante de la température le long du plasma, on trouve que sa variation radiale est négligeable. La densité électronique et la température ont été trouvées maximales lorsque le gaz est de l’argon et minimales pour l’hélium, tandis que les valeurs sont intermédiaires dans le cas de l’azote. Ceci tient surtout aux propriétés physiques et chimiques du gaz telles que la masse des espèces, leur énergie d'excitation et d'ionisation, la conductivité thermique et la réactivité chimique. L'expansion de la plume du plasma a été étudiée par imagerie résolue spatio-temporellement. Les résultats montrent que la nature de gaz n’affecte pas la dynamique de la plume pour des pressions inférieures à 20 Torr et pour un délai temporel inférieur à 200 ns. Cependant, pour des pressions supérieures à 20 Torr, l'effet de la nature du gaz devient important et la plume la plus courte est obtenue lorsque la masse des espèces du gaz est élevée et lorsque sa conductivité thermique est relativement faible. Ces résultats sont confirmés par la mesure de temps de vol de l’ion Al+ émettant à 281,6 nm. D’autre part, on trouve que la vitesse de propagation des ions d’aluminium est bien définie juste après l’ablation et près de la surface de la cible. Toutefois, pour un délai temporel important, les ions, en traversant la plume, se thermalisent grâce aux collisions avec les espèces du plasma et du gaz.

Time evolution of the electron density and temperature in laser-produced plasmas from YBa2Cu3O7

Laser radiation at 1.06 µm from a pulsed Nd:YAG laser was focused onto a multielement YBa2Cu3O7 target in vacuum and the plasma thus generated was studied using time-resolved spectroscopic techniques. Line broadening of the Ba I emission line at 553.5 nm was monitored as a function of time elapsed after the incidence of a laser pulse on the target. Measured line profiles of barium species were used to infer the electron density and temperature, and the time evolution of these important plasma parameters has been worked out.