Le poteau d’utilité publique, icône d’un autre siècle?

Le réseau de distribution aérien, ou plus simplement le réseau de poteaux de bois et ses câbles, est encore aujourd’hui omniprésent dans la majorité des villes du Québec. Pour plusieurs, le réseau de poteaux d’utilité publique semble appartenir à une autre époque. Pourtant, les poteaux et câbles ne sont pas près de disparaître, au contraire, ils ne cessent de se transformer. Depuis peu, de plus en plus d’équipements s’ajoutent sur le réseau: boîtiers techniques, nombre de câbles, appareillages au sommet des poteaux, antennes de communication, etc. Bien que les équipements du réseau de distribution aérien soient des éléments produits industriellement, ceux-ci intègrent rarement les services du design industriel au moment de leur conception initiale. Cette recherche étudie le système de distribution aérien sous l’angle de la « pensée design ». L’intention de cette étude est d’analyser les impacts de la présence du réseau aérien en milieux urbains et a pour objectif d’orienter les pratiques de conception de ce type d’équipements. Pour ce faire, dans une optique transdisciplinaire, diverses approches ont été sollicitées dont: l’approche systémique, l’approche paysage et les approches des partenaires des réseaux. Au moyen d’une recherche documentaire et d’observations faites sur le terrain, la recherche vise à dresser un portrait général du réseau de distribution aérien et les défis qui y sont associés. La recherche expose, dans un état des lieux, les résultats issus des questions analytiques de recherche suivantes: de quoi est composé le réseau de distribution aérien, quels sont les intervenants sur le réseau, quelles sont leurs interactions, quels sont les points de vue des différentes catégories d’acteurs en relation avec le réseau, quels sont les impacts reliés à la présence du réseau en milieux urbains et quelle a été son évolution au fil des années. Dans la perspective de l’approche design, chercher à comprendre une problématique de façon plus large permet de s’assurer que l’on répond au bon problème, que l’on considère tous les facteurs en cause visant ainsi à réduire les répercussions négatives sur les contextes de vie actuels et futurs. Les principaux constats de cette recherche démontrent que la composition du réseau de distribution, avant même de considérer les nouveaux usages et l’ajout de nouveaux équipements, présente des lacunes importantes. La gestion entre les divers partenaires du réseau de distribution pose aussi problème. L’ajout de nouveaux équipements sur le réseau, combiné aux multiples équipements apparaissant sur les voies publiques laisse entrevoir l’atteinte d’un niveau de saturation des milieux urbains. Les façons de faire hermétiques et «cristallisées» des partenaires du réseau ne collent pas avec les initiatives et aspirations générales en matière d’aménagement. En étudiant la problématique du réseau de distribution par le biais de la pensée design, l’approche design cherche à déceler, de façon proactive, les opportunités de design qui permettront de mieux gérer l’apparition et l’intégration des nouveaux équipements sur les poteaux. Cette démarche permet d’envisager des solutions qui visent à limiter les répercussions collatérales une fois en contexte et qui, du même coup, adressent des problématiques connexes. Finalement, à la lumière de l’état des lieux, cette recherche propose des critères de conception de futurs réseaux de distribution, élaborés dans l’esprit de l’approche design.

Compliance measurement-guided medication management programs in hypertension : a systematic review

Objectif principal: Il n’est pas démontré que les interventions visant à maîtriser voire modérer la médicamentation de patients atteints d’hypertension peuvent améliorer leur gestion de la maladie. Cette revue systématique propose d’évaluer les programmes de gestion contrôlée de la médicamentation pour l’hypertension, en s’appuyant sur la mesure de l’observance des traitements par les patients (CMGM). Design: Revue systématique. Sources de données: MEDLINE, EMBASE, CENTRAL, résumés de conférences internationales sur l’hypertension et bibliographies des articles pertinents. Méthodes: Des essais contrôlés randomisés (ECR) et des études observationnelles (EO) ont été évalués par 2 réviseurs indépendants. L’évaluation de la qualité (de ce matériel) a été réalisée avec l’aide de l’outil de Cochrane de mesure du risque de biais, et a été estimée selon une échelle à quatre niveaux de qualité Une synthèse narrative des données a été effectuée en raison de l'hétérogénéité importante des études. Résultats: 13 études (8 ECR, 5 EO) de 2150 patients hypertendus ont été prises en compte. Parmi elles, 5 études de CMGM avec l’utilisation de dispositifs électroniques comme seule intervention ont relevé une diminution de la tension artérielle (TA), qui pourrait cependant être expliquée par les biais de mesure. L’amélioration à court terme de la TA sous CMGM dans les interventions complexes a été révélée dans 4 études à qualité faible ou modérée. Dans 4 autres études sur les soins intégrés de qualité supérieure, il n'a pas été possible de distinguer l'impact de la composante CMGM, celle-ci pouvant être compromise par des traitements médicamenteux. L’ensemble des études semble par ailleurs montrer qu’un feed-back régulier au médecin traitant peut être un élément essentiel d’efficacité des traitements CMGM, et peut être facilement assuré par une infirmière ou un pharmacien, grâce à des outils de communication appropriés. Conclusions: Aucune preuve convaincante de l'efficacité des traitements CMGM comme technologie de la santé n’a été établie en raison de designs non-optimaux des études identifiées et des ualités méthodologiques insatisfaisantes de celles-ci. Les recherches futures devraient : suivre les normes de qualité approuvées et les recommandations cliniques actuelles pour le traitement de l'hypertension, inclure des groupes spécifiques de patients avec des problèmes d’attachement aux traitements, et considérer les résultats cliniques et économiques de l'organisation de soins ainsi que les observations rapportées par les patients.

Piratage, musique et internet : la solution se trouve-t-elle dans le modèle américain ?

L’échange de fichiers musicaux par Internet permet de faire très exactement ce que toute loi sur le droit d’auteur cherche à interdire : priver de leurs droits les compositeurs, interprètes et agents de distribution des œuvres musicales. Pour l’industrie du disque, le défi est à la fois d’ordre juridique et d’ordre technique. Les lois actuelles sur le droit d’auteur suffiront-elles d’une part à protéger ses intérêts, et dans le cas où les tribunaux acquiesceraient à ses nombreuses demandes, lui faudra-t-il d’autre part tenter de mettre un frein aux progrès technologiques grâce auxquels les internautes peuvent télécharger massivement et en toute impunité leurs pièces musicales préférées? La jurisprudence américaine montre bien que dans les cas où on a cherché aux États-Unis à se servir de la loi sur le droit d’auteur pour bloquer l’utilisation d’une technologie innovatrice, les tribunaux, pour des motifs politiques et juridiques, n’ont fait preuve d’aucune sympathie pour les titulaires de droits d’auteur. En fait, lorsque les tribunaux ont cherché à trop restreindre l’utilisation d’un nouveau mode de dissémination des œuvres, le Congrès est intervenu pour rétablir l’équilibre entre les intérêts des créateurs et ceux des utilisateurs de cette technologie. Au Canada, le droit protège très bien les compositeurs et les interprètes, mais beaucoup moins bien les compagnies de disques. En ce moment, la loi canadienne sur le droit d’auteur accorde à ces dernières un droit d’auteur limité sur leurs produits. Elles peuvent multiplier les exemplaires d’un disque, et le « reproduire sur un support matériel quelconque ». C’est ici que naissent les difficultés : les compagnies productrices de disques n’ont pas un droit clairement identifié à l’égard d’une « représentation » de l’œuvre musicale ou d’une « exécution publique » ou d’une « transmission au public par télécommunication ». Le Parlement canadien aura des choix importants à faire.

La protection des données sur Internet en droit suisse

La protection des données personnelles en Suisse trouve son fondement dans la constitution et se concrétise avant tout dans une loi fédérale adoptée avant l'avènement d'Internet et la généralisation de la transmission d'informations personnelles sur des réseaux numériques. Cette réglementation est complétée par les engagements internationaux de la Suisse et notamment la Convention européenne des Droits de l'Homme du Conseil de l'Europe. L'article délimite tout d'abord le champ d'application de la législation, qui joue un rôle pour le traitement de données personnelles par des particuliers comme par les autorités de l'administration fédérale. Suit une brève analyse des principes fondamentaux (licéité, bonne foi, proportionnalité, finalité, exactitude, communication à l'étranger, sécurité, droit d'accès) et de leur application sur Internet. Enfin, la protection du contenu des messages électroniques privés est brièvement abordée sous l'angle du secret des télécommunications et à la lumière d'une jurisprudence récente du Tribunal fédéral.

T-strip-fed High-Permittivity Rectangular Dielectric Resonator Antenna for Broadband Applications

rectangular low-density, high-permittivity dielectric resona or antenna (DRA) excited by T-shaped microstrip feed offering a 2:1 VSWR bandwidth of -22% at 2.975 GHz is reported. The design methoaology and experimental results of the antenna are discussed. The excellent gain and radiation performance of the proposed antenna project: it as a potential candidate for telecommunication applications

Fluorescence characterization and gain studies on a dye-doped graded index polymer optical-fiber preform

Preparation of an appropriate optical-fiber preform is vital for the fabrication of graded-index polymer optical fibers (GIPOF), which are considered to be a good choice for providing inexpensive high bandwidth data links, for local area networks and telecommunication applications. Recent development of the interfacial gel polymerization technique has caused a dramatic reduction in the total attenuation in GIPOF, and this is one of the potential methods to prepare fiber preforms for the fabrication of dye-doped polymer-fiber amplifiers. In this paper, the preparation of a dye-doped graded-index poly(methyl methacrylate) (PMMA) rod by the interfacial gel polymerization method using a PMMA tube is reported. An organic compound of high-refractive index, viz., diphenyl phthalate (DPP), was used to obtain a graded-index distribution, and Rhodamine B (Rh B), was used to dope the PMMA rod. The refractive index profile of the rod was measured using an interferometric technique and the index exponent was estimated. The single pass gain of the rod was measured at a pump wavelength of 532 nm. The extent of doping of the Rh B in the preform was studied by axially exciting a thin slice of the rod with white light and measuring the spatial variation of the fluorescence intensity across the sample.

Numerical Simulation of Two-Part Underwater Towing System

The motion instability is an important issue that occurs during the operation of towed underwater vehicles (TUV), which considerably affects the accuracy of high precision acoustic instrumentations housed inside the same. Out of the various parameters responsible for this, the disturbances from the tow-ship are the most significant one. The present study focus on the motion dynamics of an underwater towing system with ship induced disturbances as the input. The study focus on an innovative system called two-part towing. The methodology involves numerical modeling of the tow system, which consists of modeling of the tow-cables and vehicles formulation. Previous study in this direction used a segmental approach for the modeling of the cable. Even though, the model was successful in predicting the heave response of the tow-body, instabilities were observed in the numerical solution. The present study devises a simple approach called lumped mass spring model (LMSM) for the cable formulation. In this work, the traditional LMSM has been modified in two ways. First, by implementing advanced time integration procedures and secondly, use of a modified beam model which uses only translational degrees of freedoms for solving beam equation. A number of time integration procedures, such as Euler, Houbolt, Newmark and HHT-α were implemented in the traditional LMSM and the strength and weakness of each scheme were numerically estimated. In most of the previous studies, hydrodynamic forces acting on the tow-system such as drag and lift etc. are approximated as analytical expression of velocities. This approach restricts these models to use simple cylindrical shaped towed bodies and may not be applicable modern tow systems which are diversed in shape and complexity. Hence, this particular study, hydrodynamic parameters such as drag and lift of the tow-system are estimated using CFD techniques. To achieve this, a RANS based CFD code has been developed. Further, a new convection interpolation scheme for CFD simulation, called BNCUS, which is blend of cell based and node based formulation, was proposed in the study and numerically tested. To account for the fact that simulation takes considerable time in solving fluid dynamic equations, a dedicated parallel computing setup has been developed. Two types of computational parallelisms are explored in the current study, viz; the model for shared memory processors and distributed memory processors. In the present study, shared memory model was used for structural dynamic analysis of towing system, distributed memory one was devised in solving fluid dynamic equations.

“Fabrication and characterization of polymer optical fibers for photonic device applications

Although the main application of optical fibers are in the field of telecommunication, optical fiber based sensors of various designs are becoming valuable devices for wide industrial applications. The advantages of optical fiber-based sensors include high sensitivity, insensitivity to electromagnetic radiation; spark free, light weight and minimal intrusiveness due to their relatively small size and deployment in harsh and hostile environments. It has been proved that POI-7 based sensors can be employed to detect a great variety of parameters including temperature, humidity, pressure, refractive index etc. The proposed thesis presented in six chapters deals with the work carried on dye doped and undoped POF for photonic device applications such as amplifier, laser and sensor

RRNS-convolutional encoded concatenated code for OFDM based wireless communication

The modern telecommunication industry demands higher capacity networks with high data rate. Orthogonal frequency division multiplexing (OFDM) is a promising technique for high data rate wireless communications at reasonable complexity in wireless channels. OFDM has been adopted for many types of wireless systems like wireless local area networks such as IEEE 802.11a, and digital audio/video broadcasting (DAB/DVB). The proposed research focuses on a concatenated coding scheme that improve the performance of OFDM based wireless communications. It uses a Redundant Residue Number System (RRNS) code as the outer code and a convolutional code as the inner code. The bit error rate (BER) performances of the proposed system under different channel conditions are investigated. These include the effect of additive white Gaussian noise (AWGN), multipath delay spread, peak power clipping and frame start synchronization error. The simulation results show that the proposed RRNS-Convolutional concatenated coding (RCCC) scheme provides significant improvement in the system performance by exploiting the inherent properties of RRNS.

Decimation Filter Design Toolbox for Multi-Standard Wireless Transceivers using MATLAB.

The demand for new telecommunication services requiring higher capacities, data rates and different operating modes have motivated the development of new generation multi-standard wireless transceivers. A multi-standard design often involves extensive system level analysis and architectural partitioning, typically requiring extensive calculations. In this research, a decimation filter design tool for wireless communication standards consisting of GSM, WCDMA, WLANa, WLANb, WLANg and WiMAX is developed in MATLAB® using GUIDE environment for visual analysis. The user can select a required wireless communication standard, and obtain the corresponding multistage decimation filter implementation using this toolbox. The toolbox helps the user or design engineer to perform a quick design and analysis of decimation filter for multiple standards without doing extensive calculation of the underlying methods.

Reinforcement Learning solution for Unit Commitment Problem through pursuit method

Unit commitment is an optimization task in electric power generation control sector. It involves scheduling the ON/OFF status of the generating units to meet the load demand with minimum generation cost satisfying the different constraints existing in the system. Numerical solutions developed are limited for small systems and heuristic methodologies find difficulty in handling stochastic cost functions associated with practical systems. This paper models Unit Commitment as a multi stage decision task and Reinforcement Learning solution is formulated through one efficient exploration strategy: Pursuit method. The correctness and efficiency of the developed solutions are verified for standard test systems

A Multi-Mode Sigma-Delta ADC for GSM/WCDMA/ WLAN Applications

The demand for new telecommunication services requiring higher capacities, data rates and different operating modes have motivated the development of new generation multi-standard wireless transceivers. In multistandard design, sigma-delta based ADC is one of the most popular choices. To this end, in this paper we present cascaded 2-2-2 reconfigurable sigma-delta modulator that can handle GSM, WCDMA and WLAN standards. The modulator makes use of a low-distortion swing suppression topology which is highly suitable for wide band applications. In GSM mode, only the first stage (2nd order Σ-Δ ADC) is used to achieve a peak SNDR of 88dB with oversampling ratio of 160 for a bandwidth of 200KHz and for WCDMA mode a 2-2 cascaded structure (4th order) is turned on with 1-bit in the first stage and 2-bit in the second stage to achieve 74 dB peak SNDR with over-sampling ratio of 16 for a bandwidth of 2MHz. Finally, a 2-2-2 cascaded MASH architecture with 4-bit in the last stage is proposed to achieve a peak SNDR of 58dB for WLAN for a bandwidth of 20MHz. The novelty lies in the fact that unused blocks of second and third stages can be made inactive to achieve low power consumption. The modulator is designed in TSMC 0.18um CMOS technology and operates at 1.8 supply voltage

Genetic algorithm based indicator sequence method for exon prediction

Considerable research effort has been devoted in predicting the exon regions of genes. The binary indicator (BI), Electron ion interaction pseudo potential (EIIP), Filter method are some of the methods. All these methods make use of the period three behavior of the exon region. Even though the method suggested in this paper is similar to above mentioned methods , it introduces a set of sequences for mapping the nucleotides selected by applying genetic algorithm and found to be more promising

Development and microwave characterization of selected biocompatible materials and conducting polymers

The 20th century witnessed the extensive use of microwaves in industrial, scientific and medical fields. The major hindrance to many developments in the ISM field is the lack of knowledge about the effect of microwaves on materials used in various applications. The study of the interaction of microwaves with materials demanded the knowledge of the dielectric properties of these materials. However, the dielectric properties of many of these materials are still unknown or less studied. This thesis is an effort to shed light into the dielectric properties of some materials which are used in medical, scientific and industrial fields. Microwave phantoms are those materials used in microwave simulation applications. Effort has been taken to develop and characterize low cost, eco-friendly phantoms from Biomaterials and Bioceramics. The interaction of microwaves with living tissues paved way to the development of materials for electromagnetic shielding. Materials with good conductivity/absorption properties could be used for EMI shielding applications. Conducting polymer materials are developed and characterized in this context. The materials which are developed and analyzed in this thesis are Biomaterials, Bioceramics and Conducting polymers. The use of materials of biological origin in scientific and medical applications provides an eco-friendly pathway. The microwave characterization of the materials were done using cavity material perturbation method. Low cost and ecofriendly biomaterial films were developed from Arrowroot and Chitosan. The developed films could be used in applications such as microwave phantom material, capsule material in pharmaceutical applications, trans-dermal patch material and eco-friendly Band-Aids. Bioceramics with better bioresorption and biocompatibility were synthesized. Bioceramics such as Hydroxyapatite, Beta tricalcium phosphate and Biphasic Calcium Phosphate were studied. The prepared bioceramics could be used as phantom material representing Collagen, Bone marrow, Human abdominal wall fat and Human chest fat. Conducting polymers- based on Polyaniline, are developed and characterized. The developed materials can be used in electromagnetic shielding applications such as in anechoic chambers, transmission cables etc

Air-gap based vertical cavity micro-opto-electro-mechanical Fabry-Perot filters

Mikrooptische Filter sind heutzutage in vielen Bereichen in der Telekommunikation unersetzlich. Wichtige Einsatzgebiete sind aber auch spektroskopische Systeme in der Medizin-, Prozess- und Umwelttechnik. Diese Arbeit befasst sich mit der Technologieentwicklung und Herstellung von luftspaltbasierenden, vertikal auf einem Substrat angeordneten, oberflächenmikromechanisch hergestellten Fabry-Perot-Filtern. Es werden zwei verschiedene Filtervarianten, basierend auf zwei verschiedenen Materialsystemen, ausführlich untersucht. Zum einen handelt es sich dabei um die Weiterentwicklung von kontinuierlich mikromechanisch durchstimmbaren InP / Luftspaltfiltern; zum anderen werden neuartige, kostengünstige Siliziumnitrid / Luftspaltfilter wissenschaftlich behandelt. Der Inhalt der Arbeit ist so gegliedert, dass nach einer Einleitung mit Vergleichen zu Arbeiten und Ergebnissen anderer Forschergruppen weltweit, zunächst einige theoretische Grundlagen zur Berechnung der spektralen Reflektivität und Transmission von beliebigen optischen Schichtanordnungen aufgezeigt werden. Auß erdem wird ein kurzer theoretischer Ü berblick zu wichtigen Eigenschaften von Fabry-Perot-Filtern sowie der Möglichkeit einer mikromechanischen Durchstimmbarkeit gegeben. Daran anschließ end folgt ein Kapitel, welches sich den grundlegenden technologischen Aspekten der Herstellung von luftspaltbasierenden Filtern widmet. Es wird ein Zusammenhang zu wichtigen Referenzarbeiten hergestellt, auf denen diverse Weiterentwicklungen dieser Arbeit basieren. Die beiden folgenden Kapitel erläutern dann ausführlich das Design, die Herstellung und die Charakterisierung der beiden oben erwähnten Filtervarianten. Abgesehen von der vorangehenden Epitaxie von InP / GaInAs Schichten, ist die Herstellung der InP / Luftspaltfilter komplett im Institut durchgeführt worden. Die Herstellungsschritte sind ausführlich in der Arbeit erläutert, wobei ein Schwerpunktthema das trockenchemische Ä tzen von InP sowie GaInAs, welches als Opferschichtmaterial für die Herstellung der Luftspalte genutzt wurde, behandelt. Im Verlauf der wissenschaftlichen Arbeit konnten sehr wichtige technische Verbesserungen entwickelt und eingesetzt werden, welche zu einer effizienteren technologischen Herstellung der Filter führten und in der vorliegenden Niederschrift ausführlich dokumentiert sind. Die hergestellten, für einen Einsatz in der optischen Telekommunikation entworfenen, elektrostatisch aktuierbaren Filter sind aus zwei luftspaltbasierenden Braggspiegeln aufgebaut, welche wiederum jeweils 3 InP-Schichten von (je nach Design) 357nm bzw. 367nm Dicke aufweisen. Die Filter bestehen aus im definierten Abstand parallel übereinander angeordneten Membranen, die über Verbindungsbrücken unterschiedlicher Anzahl und Länge an Haltepfosten befestigt sind. Da die mit 357nm bzw. 367nm vergleichsweise sehr dünnen Schichten freitragende Konstrukte mit bis zu 140 nm Länge bilden, aber trotzdem Positionsgenauigkeiten im nm-Bereich einhalten müssen, handelt es sich hierbei um sehr anspruchsvolle mikromechanische Bauelemente. Um den Einfluss der zahlreichen geometrischen Strukturparameter studieren zu können, wurden verschiedene laterale Filterdesigns implementiert. Mit den realisierten Filter konnte ein enorm weiter spektraler Abstimmbereich erzielt werden. Je nach lateralem Design wurden internationale Bestwerte für durchstimmbare Fabry-Perot-Filter von mehr als 140nm erreicht. Die Abstimmung konnte dabei kontinuierlich mit einer angelegten Spannung von nur wenigen Volt durchgeführt werden. Im Vergleich zu früher berichteten Ergebnissen konnten damit sowohl die Wellenlängenabstimmung als auch die dafür benötigte Abstimmungsspannung signifikant verbessert werden. Durch den hohen Brechungsindexkontrast und die geringe Schichtdicke zeigen die Filter ein vorteilhaftes, extrem weites Stopband in der Größ enordnung um 550nm. Die gewählten, sehr kurzen Kavitätslängen ermöglichen einen freien Spektralbereich des Filters welcher ebenfalls in diesen Größ enordnungen liegt, so dass ein weiter spektraler Einsatzbereich ermöglicht wird. Während der Arbeit zeigte sich, dass Verspannungen in den freitragenden InPSchichten die Funktionsweise der mikrooptischen Filter stark beeinflussen bzw. behindern. Insbesondere eine Unterätzung der Haltepfosten und die daraus resultierende Verbiegung der Ecken an denen sich die Verbindungsbrücken befinden, führte zu enormen vertikalen Membranverschiebungen, welche die Filtereigenschaften verändern. Um optimale Ergebnisse zu erreichen, muss eine weitere Verbesserung der Epitaxie erfolgen. Jedoch konnten durch den zusätzlichen Einsatz einer speziellen Schutzmaske die Unterätzung der Haltepfosten und damit starke vertikale Verformungen reduziert werden. Die aus der Verspannung resultierenden Verformungen und die Reaktion einzelner freistehender InP Schichten auf eine angelegte Gleich- oder Wechselspannung wurde detailliert untersucht. Mittels Weisslichtinterferometrie wurden lateral identische Strukturen verglichen, die aus unterschiedlich dicken InP-Schichten (357nm bzw. 1065nm) bestehen. Einen weiteren Hauptteil der Arbeit stellen Siliziumnitrid / Luftspaltfilter dar, welche auf einem neuen, im Rahmen dieser Dissertation entwickelten, technologischen Ansatz basieren. Die Filter bestehen aus zwei Braggspiegeln, die jeweils aus fünf 590nm dicken, freistehenden Siliziumnitridschichten aufgebaut sind und einem Abstand von 390nm untereinander aufweisen. Die Filter wurden auf Glassubstraten hergestellt. Der Herstellungsprozess ist jedoch auch mit vielen anderen Materialien oder Prozessen kompatibel, so dass z.B. eine Integration mit anderen Bauelemente relativ leicht möglich ist. Die Prozesse dieser ebenfalls oberflächenmikromechanisch hergestellten Filter wurden konsequent auf niedrige Herstellungskosten optimiert. Als Opferschichtmaterial wurde hier amorph abgeschiedenes Silizium verwendet. Der Herstellungsprozess beinhaltet die Abscheidung verspannungsoptimierter Schichten (Silizium und Siliziumnitrid) mittels PECVD, die laterale Strukturierung per reaktiven Ionenätzen mit den Gasen SF6 / CHF3 / Ar sowie Fotolack als Maske, die nasschemische Unterätzung der Opferschichten mittels KOH und das Kritisch-Punkt-Trocken der Proben. Die Ergebnisse der optischen Charakterisierung der Filter zeigen eine hohe Ü bereinstimmung zwischen den experimentell ermittelten Daten und den korrespondierenden theoretischen Modellrechnungen. Weisslichtinterferometermessungen der freigeätzten Strukturen zeigen ebene Filterschichten und bestätigen die hohe vertikale Positioniergenauigkeit, die mit diesem technologischen Ansatz erreicht werden kann.