Design of miniaturized wireless sensor mote and actuator for building monitoring and control

In this paper, a wireless sensor network mote hardware design and implementation are introduced for building deployment application. The core of the mote design is based on the 8 bit AVR microcontroller, Atmega1281 and 2.4 GHz wireless communication chip, CC2420. The module PCB fabrication is using the stackable technology providing powerful configuration capability. Three main layers of size 25 mm2 are structured to form the mote; these are RF, sensor and power layers. The sensors were selected carefully to meet both the building monitoring and design requirements. Beside the sensing capability, actuation and interfacing to external meters/sensors are provided to perform different management control and data recording tasks. Experiments show that the developed mote works effectively in giving stable data acquisition and owns good communication and power performance.

Development of miniaturized wireless sensor nodes suitable for building energy management and modelling

Buildings consume 40% of Ireland's total annual energy translating to 3.5 billion (2004). The EPBD directive (effective January 2003) places an onus on all member states to rate the energy performance of all buildings in excess of 50m2. Energy and environmental performance management systems for residential buildings do not exist and consist of an ad-hoc integration of wired building management systems and Monitoring & Targeting systems for non-residential buildings. These systems are unsophisticated and do not easily lend themselves to cost effective retrofit or integration with other enterprise management systems. It is commonly agreed that a 15-40% reduction of building energy consumption is achievable by efficiently operating buildings when compared with typical practice. Existing research has identified that the level of information available to Building Managers with existing Building Management Systems and Environmental Monitoring Systems (BMS/EMS) is insufficient to perform the required performance based building assessment. The cost of installing additional sensors and meters is extremely high, primarily due to the estimated cost of wiring and the needed labour. From this perspective wireless sensor technology provides the capability to provide reliable sensor data at the required temporal and spatial granularity associated with building energy management. In this paper, a wireless sensor network mote hardware design and implementation is presented for a building energy management application. Appropriate sensors were selected and interfaced with the developed system based on user requirements to meet both the building monitoring and metering requirements. Beside the sensing capability, actuation and interfacing to external meters/sensors are provided to perform different management control and data recording tasks associated with minimisation of energy consumption in the built environment and the development of appropriate Building information models(BIM)to enable the design and development of energy efficient spaces.

Electromagnetic tracking and steering for catheter navigation

This thesis explores the use of electromagnetics for both steering and tracking of medical instruments in minimally invasive surgeries. The end application is virtual navigation of the lung for biopsy of early stage cancer nodules. Navigation to the peripheral regions of the lung is difficult due to physical dimensions of the bronchi and current methods have low successes rates for accurate diagnosis. Firstly, the potential use of DC magnetic fields for the actuation of catheter devices with permanently magnetised distal attachments is investigated. Catheter models formed from various materials and magnetic tip formations are used to examine the usefulness of relatively low power and compact electromagnets. The force and torque that can be exerted on a small permanent magnet is shown to be extremely limited. Hence, after this initial investigation we turn our attention to electromagnetic tracking, in the development of a novel, low-cost implementation of a GPS-like system for navigating within a patient. A planar magnetic transmitter, formed on a printed circuit board for a low-profile and low cost manufacture, is used to generate a low frequency magnetic field distribution which is detected by a small induction coil sensor. The field transmitter is controlled by a novel closed-loop system that ensures a highly stable magnetic field with reduced interference from one transmitter coil to another. Efficient demodulation schemes are presented which utilise synchronous detection of each magnetic field component experienced by the sensor. The overall tracking accuracy of the system is shown to be less than 2 mm with an orientation error less than 1°. A novel demodulation implementation using a unique undersampling approach allows the use of reduced sample rates to sample the signals of interest without loss of tracking accuracy. This is advantageous for embedded microcontroller implementations of EM tracking systems. The EM tracking system is demonstrated in the pre-clinical environment of a breathing lung phantom. The airways of the phantom are successfully navigated using the system in combination with a 3D computer model rendered from CT data. Registration is achieved using both a landmark rigid registration method and a hybrid fiducial-free approach. The design of a planar magnetic shield structure for blocking the effects of metallic distortion from below the transmitter is presented which successfully blocks the impact of large ferromagnetic objects such as operating tables. A variety of shielding material are analysed with MuMetal and ferrite both providing excellent shieling performance and an increased signal to noise ratio. Finally, the effect of conductive materials and human tissue on magnetic field measurements is presented. Error due to induced eddy currents and capacitive coupling is shown to severely affect EM tracking accuracy at higher frequencies.

Error recovery in cyberphysical digital microfluidic biochips

Droplet-based digital microfluidics technology has now come of age, and software-controlled biochips for healthcare applications are starting to emerge. However, today's digital microfluidic biochips suffer from the drawback that there is no feedback to the control software from the underlying hardware platform. Due to the lack of precision inherent in biochemical experiments, errors are likely during droplet manipulation; error recovery based on the repetition of experiments leads to wastage of expensive reagents and hard-to-prepare samples. By exploiting recent advances in the integration of optical detectors (sensors) into a digital microfluidics biochip, we present a physical-aware system reconfiguration technique that uses sensor data at intermediate checkpoints to dynamically reconfigure the biochip. A cyberphysical resynthesis technique is used to recompute electrode-actuation sequences, thereby deriving new schedules, module placement, and droplet routing pathways, with minimum impact on the time-to-response. © 2012 IEEE.

Modelling and optimization of a pneumatic microfeeder system

This paper presents modelling and design optimization of a microfeeder which, as part of a microassembly system, is used for contactless object delivery. The microfeeder consists of an array of microactuators which are controlled by electrostatic actuation and used for maneuvering outcoming air jet for object hovering and delibery. The airflow behaviour in the microactuator is analysed by means of fluid mechanics and Computational Fluid Dynamics (CFD) simulation from three aspects, theoretical analysis, initial design assessment, and design modifications. The focus is put on the basic types of the microfeeder structure and the effects of structural details to the systematic performance. The structural pattern of the microactuator for forming airflow nozzle is identified and two design plans are proposed as basic structure patterns of pneumatic microactuators. The optimized design numerically shows the ability of delivering objects. This paper analyses the flow distribution pattern in microactuators and points out a way for effective design of pneumatic microfeeder systems. The optimization strategy provided by the present paper has close relevance to the design and manufacture of pneumatic microfeeder systems.

Kinematic Design of a 6-DOF Parallel Manipulator with Decoupled Translation and Rotation

A new three-limb, six-degree-of-freedom (DOF) parallel manipulator (PM), termed a selectively actuated PM (SA-PM), is proposed. The end-effector of the manipulator can produce 3-DOF spherical motion, 3-DOF translation, 3-DOF hybrid motion, or complete 6-DOF spatial motion, depending on the types of the actuation (rotary or linear) chosen for the actuators. The manipulator architecture completely decouples translation and rotation of the end-effector for individual control. The structure synthesis of SA-PM is achieved using the line geometry. Singularity analysis shows that the SA-PM is an isotropic translation PM when all the actuators are in linear mode. Because of the decoupled motion structure, a decomposition method is applied for both the displacement analysis and dimension optimization. With the index of maximal workspace satisfying given global conditioning requirements, the geometrical parameters are optimized. As a result, the translational workspace is a cube, and the orientation workspace is nearly unlimited.

Transferência de tecnologia: as práticas actuais e uma metodologia para análise subjectiva das instituições

O domínio científico da investigação é a Gestão da Inovação e a Gestão da Transferência de Conhecimento e de Tecnologia, tendo como tema central as relações entre empresas e agentes de inovação que fazem da Transferência de Tecnologia uma das suas actividades, pelo que se tenta caracterizar e validar uma Metodologia de análise subjectiva adequada ao estudo daqueles agentes, enquanto disseminadores de conhecimento, e as formas de maximizar a sua actuação quando tenta atender às necessidades das empresas, tais como a transferência de conhecimento e de tecnologias, ao mesmo tempo que valoriza o seu conhecimento. O trabalho proposto tem como objectivo principal contribuir para o fomento de estudos que permitam classificar as acções dos Agentes de Inovação na sua vertente de disseminador do conhecimento, requerendo assim entender as relações subjacentes aos processos de criação, transferência e difusão de conhecimento. Este contributo passa pelo estudo das formas de aplicação de mecanismos específicos na gestão das relações daqueles agentes, quando estes actuam em parceria com as empresas. Tem ainda em vista contribuir com este estudo para o desenvolvimento de ferramentas que auxiliem as políticas governamentais no que diz respeito às questões de gestão da inovação e da transferência de conhecimento e de tecnologia. Os seguintes objectivos específicos são propostos: - Evidenciar as práticas actuais que promovem a interacção nas diversas fases do processo assim como a existência de práticas transversais àqueles; - Validar uma Metodologia que, utilizando os conhecimentos anteriores, possibilite a identificação de “bottlenecks” no processo e aponte um conceito de solução para a eliminação destes bottlenecks, apontando medidas para a melhoria dos processos e recursos existentes para valorização do conhecimento gerado pela I&D e atender às necessidades das empresas, sem causar prejuízo à própria investigação e outras actividades da Instituição de I&D. Propomos uma Metodologia de análise que, além de identificar facilitadores críticos (no sentido de serem os mais importantes) para aquele cenário no que toca ao relacionamento com Empresas, também pode descrever um conceito de solução baseado na reengenharia de processos e procedimentos e introdução e utilização de novos conceitos, como os de Gestão de Informação, para aquela Instituição. Para isso procuraremos validar, baseado no conhecimento disponível e aplicação em casos reais, um conjunto de regras de boas práticas que, agrupadas nos facilitadores actuais de TT, reflictam o estado da arte na Gestão da Transferência de Tecnologia e ajudem a caracterizar as Instituições de I&D no que toca ao relacionamento com a envolvente Empresarial.

Híbridos orgânicos-inorgânicos para aplicações de baixo custo em óptica integrada

O objectivo desta tese é a utilização de materiais híbridos orgânicos-inorgânicos, designados por di-ureiasis modificados pela adição de tetra-propóxido de zircónio (Zr(i-OPr)4) estabilizado com ácido metacrílico (CH2=C(CH3)COOH), obtidos pela via sol-gel, para aplicações em dispositivos ópticos integrados de baixo custo. A estrutura local dos di-ureiasis com diferentes concentrações de propóxido de zircónio (20 a 80 % mol) foi estudada por difracção de raios-X, espalhamento de raios X a baixos ângulos, microscopia de força atómica, ressonância magnética nuclear dos núcleos dos átomos de 29Si e 13C, espectroscopia no infravermelho por transformada de Fourier, espectroscopia de Raman por transformada de Fourier e termogravimetria. A influência dos parâmetros de síntese, concentração de tetra propóxido de zircónio e rácio tetra propóxido de zircónio: ácido metacrilico na estrutura e propriedades das amostras em monólito e filmes finos (depositados pela técnica de deposição por rotação do substrato) foram avaliadas, permitindo obter amostras transparentes, fotopolimerizáveis e estáveis termicamente até aos 100 ºC. Foram determinadas as propriedades dos guias planares em substratos de vidro borosilicato e silício oxidado (1

MASGriP – a Multi-Agent Smart Grid Simulation Platform

The increasing number of players that operate in power systems leads to a more complex management. In this paper a new multi-agent platform is proposed, which simulates the real operation of power system players. MASGriP – A Multi-Agent Smart Grid Simulation Platform is presented. Several consumer and producer agents are implemented and simulated, considering real characteristics and different goals and actuation strategies. Aggregator entities, such as Virtual Power Players and Curtailment Service Providers are also included. The integration of MASGriP agents in MASCEM (Multi-Agent System for Competitive Electricity Markets) simulator allows the simulation of technical and economical activities of several players. An energy resources management architecture used in microgrids is also explained.

Sistemas de supervisão e controlo de autómatos: soluções baseadas em OPC E IEC 60870-5-104

Atualmente, no segmento metro-ferroviário, há uma tendência para que todos os equipamentos que constituem os sistemas auxiliares de uma estação (escadas mecânicas, elevadores, bloqueadores, validadores de bilhética, ventiladores, bombas, entre outros) sejam dotados de inteligência. Tipicamente, um conjunto de equipamentos são ligados a um autómato que permite o controlo local e remoto e é vulgar que, sendo de fabricantes diferentes, suportem tecnologias distintas. Um sistema de supervisão que permita o acesso à informação disponibilizada por cada um dos autómatos, ou à atuação sobre um deles, terá por isso que implementar e suportar diversos protocolos de comunicação de forma a não ficar limitado a um tipo de tecnologia. De forma a diminuir os custos de desenvolvimento e operação de um sistema de supervisão e controlo e facilitar a integração de novos equipamentos, com diferentes características, têm sido procuradas soluções que garantam uma mais fácil comunicação entre os diversos módulos intervenientes. Nesta dissertação são implementadas soluções baseadas em clientes OPC-DA e OPC-AE e no protocolo IEC 60870-5-104, permitindo que os sistemas de supervisão e de controlo comuniquem com os equipamentos através destes três módulos. Os principais aspectos inovadores estão associados à implementação de uma arquitetura multiprotocolo usando as novas tendências de supervisão e controlo baseadas em soluções distribuídas.

Piezoresistive cantilevers with an integrated bimorph actuator

Scanning Probe Microscopy (SPM) has become of fundamental importance for research in area of micro and nano-technology. The continuous progress in these fields requires ultra sensitive measurements at high speed. The imaging speed limitation of the conventional Tapping Mode SPM is due to the actuation time constant of piezotube feedback loop that keeps the tapping amplitude constant. In order to avoid this limit a deflection sensor and an actuator have to be integrated into the cantilever. In this work has been demonstrated the possibility of realisation of piezoresistive cantilever with an embedded actuator. Piezoresistive detection provides a good alternative to the usual optical laser beam deflection technique. In frames of this thesis has been investigated and modelled the piezoresistive effect in bulk silicon (3D case) for both n- and p-type silicon. Moving towards ultra-sensitive measurements it is necessary to realize ultra-thin piezoresistors, which are well localized to the surface, where the stress magnitude is maximal. New physical effects such as quantum confinement which arise due to the scaling of the piezoresistor thickness was taken into account in order to model the piezoresistive effect and its modification in case of ultra-thin piezoresistor (2D case). The two-dimension character of the electron gas in n-type piezoresistors lead up to decreasing of the piezoresistive coefficients with increasing the degree of electron localisation. Moreover for p-type piezoresistors the predicted values of the piezoresistive coefficients are higher in case of localised holes. Additionally, to the integration of the piezoresistive sensor, actuator integrated into the cantilever is considered as fundamental for realisation of fast SPM imaging. Actuation of the beam is achieved thermally by relying on differences in the coefficients of thermal expansion between aluminum and silicon. In addition the aluminum layer forms the heating micro-resistor, which is able to accept heating impulses with frequency up to one megahertz. Such direct oscillating thermally driven bimorph actuator was studied also with respect to the bimorph actuator efficiency. Higher eigenmodes of the cantilever are used in order to increase the operating frequencies. As a result the scanning speed has been increased due to the decreasing of the actuation time constant. The fundamental limits to force sensitivity that are imposed by piezoresistive deflection sensing technique have been discussed. For imaging in ambient conditions the force sensitivity is limited by the thermo-mechanical cantilever noise. Additional noise sources, connected with the piezoresistive detection are negligible.

Micro-electromechanical structural design and optimization of vertical cavity photonic devices with wide continuous tuning

Diese Arbeit umfaßt das elektromechanische Design und die Designoptimierung von weit durchstimmbaren optischen multimembranbasierten Bauelementen, mit vertikal orientierten Kavitäten, basierend auf der Finiten Element Methode (FEM). Ein multimembran InP/Luft Fabry-Pérot optischer Filter wird dargestellt und umfassend analysiert. In dieser Arbeit wird ein systematisches strukturelles Designverfahren dargestellt. Genaue analytische elektromechanischer Modelle für die Bauelemente sind abgeleitet worden. Diese können unschätzbare Werkzeuge sein, um am Anfang der Designphase schnell einen klaren Einblick zur Verfügung zu stellen. Mittels des FEM Programms ist der durch die nicht-lineare Verspannung hervorgerufene versteifende Effekt nachgeforscht und sein Effekt auf die Verlängerung der mechanischen Durchstimmungsstrecke der Bauelemente demonstriert worden. Interessant war auch die Beobachtung, dass die normierte Relation zwischen Ablenkung und Spannung ein unveränderliches Profil hat. Die Deformation der Membranflächen der in dieser Arbeit dargestellten Bauelementformen erwies sich als ein unerwünschter, jedoch manchmal unvermeidbarer Effekt. Es zeigt sich aber, dass die Wahl der Größe der strukturellen Dimensionen den Grad der Membrandeformation im Falle der Aktuation beeinflusst. Diese Arbeit stellt ein elektromechanisches in FEMLAB implementierte quasi-3D Modell, das allgemein für die Modellierung dünner Strukturen angewendet werden kann, dar; und zwar indem man diese als 2D-Objekte betrachtet und die dritte Dimension als eine konstante Größe (z.B. die Schichtdicke) oder eine Größe, welche eine mathematische Funktion ist, annimmt. Diese Annahme verringert drastisch die Berechnungszeit sowie den erforderlichen Arbeitsspeicherbedarf. Weiter ist es für die Nachforschung des Effekts der Skalierung der durchstimmbaren Bauelemente verwendet worden. Eine neuartige Skalierungstechnik wurde abgeleitet und verwendet. Die Ergebnisse belegen, dass das daraus resultierende, skalierte Bauelement fast genau die gleiche mechanische Durchstimmung wie das unskalierte zeigt. Die Einbeziehung des Einflusses von axialen Verspannungen und Gradientenverspannungen in die Berechnungen erforderte die Änderung der Standardimplementierung des 3D Mechanikberechnungsmodus, der mit der benutzten FEM Software geliefert wurde. Die Ergebnisse dieser Studie zeigen einen großen Einfluss der Verspannung auf die Durchstimmungseigenschaften der untersuchten Bauelemente. Ferner stimmten die Ergebnisse der theoretischen Modellrechnung mit den experimentellen Resultaten sehr gut überein.

GaInAsP-basierende Resonatorstrukturen

Physikalische Grundlagenforschung und anwendungsorientierte physikalische Forschung auf den Gebieten nanoskaliger kristalliner und amorpher fester Körper haben in vielfacher Weise eine große Bedeutung. Neben dem Verständnis für die Struktur der Materie und die Wechselwirkung von Objekten von der Größe einiger Atome ist die Erkenntnis über die physikalischen Eigenschaften nanostrukturierter Systeme von hohem Interesse. Diese Forschung eröffnet die Möglichkeit, die mit der Mikroelektronik begonnene Miniaturisierung fortzusetzen und wird darüber hinaus neue Anwendungsfelder eröffnen. Das Erarbeiten der physikalischen Grundlagen der Methoden zur Herstellung und Strukturierung ist dabei zwingend notwendig, da hier Wirkungsprinzipien dominieren, die erst bei Strukturgrößen im Nanometerbereich auftreten oder hinreichend stark ausgeprägt sind. Insbesondere Halbleitermaterialien sind hier von großem Interesse. Die in dieser Arbeit untersuchten Resonatorstrukturen, die auf dem kristallinen Verbindungshalbleitermaterial GaInAsP/InP basieren, erschließen wichtige Anwendungsfelder im Bereich der optischen Datenübertragung sowie der optischen Sensorik. Hergestellt wird das Halbleitermaterial mit der Metallorganischen Gasphasenepitaxie. Die experimentell besimmten Kenngrößen lassen Rückschlüsse auf die Güte der Materialien, die quantenmechanischen Wirkungsprinzipien und die Bauelementcharakteristik zu und führen zu optimal angepassten Kristallstrukturen. Auf Basis dieser optimierten Materialien wurde ein durchstimmbarer Fabry-Perot-Filter hergestellt, der aus einer Kombination aus InP-Membranen und Luftspalten besteht und elektromechanisch aktuiert werden kann. Das GaInAsP dient hierbei als wenige hundert nm dicke Opferschicht, die ätztechnisch hochselektiv beseitigt wird. Die Qualität der Grenzflächen zum InP ist entscheidend für die Qualität der freigeätzten Kavitäten und damit für die mechanische Gesamtstabilität der Struktur. Der in dieser Arbeit beschriebene Filter hat eine Zentralwellenlänge im Bereich von 1550 nm und weist einen Durchstimmbereich von 221 nm auf. Erzielt wurde dieser Wert durch ein konsistentes Modell der wirkenden Verspannungskomponenten und einer optimierten epitaktischen Kontrolle der Verspannungsparameter. Das realisierte Filterbauelement ist vielversprechend für den Einsatz in der optischen Kommunikation im Bereich von WDM (wavelength division multiplexing) Anwendungen. Als weitere Resonatorstrukur wurde ein Asymmetrisch gekoppelter Quantenfilm als optisch aktives Medium, bestehend aus GaInAsP mit variierender Materialkomposition und Verspannung, untersucht, um sein Potential für eine breitbandige Emission zu untersuchen und mit bekannten Modellen zu vergleichen. Als Bauelementdesign wurde eine kantenemittierende Superlumineszenzleuchtdiode gewählt. Das Ergebnis ist eine Emissionskurve von 100 nm, die eine höhere Unabhängigkeit vom Injektionsstrom aufweist als andere bekannte Konzepte. Die quantenmechanischen Wirkungsprinzipien - im wesentlichen die Kopplung der beiden asymmetrischen Potentialtöpfe und die damit verbundene Kopplung der Wellenfunktionen - werden qualitativ diskutiert. Insgesamt bestätigt sich die Eignung des Materials GaInAsP auch für neuartige, qualitativ höchst anspruchsvolle Resonatorstrukturen und die Bedeutung der vorgestellten und untersuchten Resonatorkonzepte. Die vorgestellten Methoden, Materialien und Bauelemente liefern aufgrund ihrer Konzeption und der eingehenden experimentellen Untersuchungen einen Beitrag sowohl zu den zugrunde liegenden mechanischen, optoelektronischen und quantenmechanischen Wirkungsprinzipien der Strukturen, als auch zur Realisierung neuer optoelektronischer Bauelemente.

Chemical gas sensors based on functionalized self-actuated piezo-resistive cantilevers

Der Schwerpunkt dieser Arbeit liegt in der Anwendung funktionalisierter Mikrocantilever mit integrierter bimorpher Aktuation und piezo-resistiver Detektion als chemische Gassensoren für den schnellen, tragbaren und preisgünstigen Nachweis verschiedener flüchtiger Substanzen. Besondere Beachtung erfährt die Verbesserung der Cantilever-Arbeitsleistung durch den Betrieb in speziellen Modi. Weiterer Schwerpunkt liegt in der Untersuchung von spezifischen Sorptionswechselwirkungen und Anwendung von innovativen Funktionsschichten, die bedeutend auf die Sensorselektivität wirken.

Mikromechanisch durchstimmbare, dielektrische Fabry-Pérot-Filter im nahen Infrarot-Bereich: Konzept, Herstellung und Charakterisierung

Das Ziel der vorliegenden Arbeit war die Herstellung und Charakterisierung mikromechanisch durchstimmbarer, dielektrischer Fabry-Pérot-Filter im nahen Infrarot-Bereich bei einer Zentralwellenlänge von λc = 950 nm. Diese Bauelemente wurden auf Basis kostengünstiger Technologien realisiert, dank deren Entwicklung extreme Miniaturisierung und gleichzeitig hohe spektrale Anforderungen möglich sind. Der Vorteil solcher Filter liegt darin, dass sie direkt in einen Photodetektor integriert werden können und mit ganz wenigen Komponenten zu einem kompakten Spektrometermodul zusammengesetzt werden können. Die Baugröße ist nur durch die Größe des Photodetektors limitiert und die gesamte Intensität des einfallenden Lichts kann vorteilhaft auf eine einzelne Filtermembran des Fabry-Pérot-Filters fokussiert werden. Für den Filteraufbau werden zwei hochreflektierende, dielektrische DBR-Spiegel, ein organisches Opferschichtmaterial, welches zur Erzeugung einer Luftkavität im Filter dient, und zwei unterschiedliche Elektroden aus ITO und Aluminium verwendet. Die mikromechanische Auslenkung der freigelegten Filtermembran geschieht mittels elektrostatischer Aktuation, wobei auf diese Weise die Kavitätshöhe des Fabry-Pérot-Filters geändert wird und somit dieser im erforderlichen Spektralbereich optisch durchgestimmt wird. Das in dieser Arbeit gewählte Filterkonzept stellt eine Weiterentwicklung eines bereits bestehenden Filterkonzepts für den sichtbaren Spektralbereich dar. Zum Einen wurden in dieser Arbeit das vertikale und das laterale Design der Filterstrukturen geändert. Eine entscheidende Änderung lag im mikromechanisch beweglichen Teil des Fabry-Pérot-Filters. Dieser schließt den oberen DBR-Spiegel und ein aus dielektrischen Schichten und der oberen Aluminium-Elektrode bestehendes Membranhaltesystem ein, welches später durch Entfernung der Opferschicht freigelegt wird. Die Fläche des DBR-Spiegels wurde auf die Fläche der Filtermembran reduziert und auf dem Membranhaltesystem positioniert. Zum Anderen wurde im Rahmen dieser Arbeit der vertikale Schichtaufbau des Membranhaltesystems variiert und der Einfluss der gewählten Materialien auf die Krümmung der freistehenden Filterstrukturen, auf das Aktuationsverhalten und auf die spektralen Eigenschaften des gesamten Filters untersucht. Der Einfluss der mechanischen Eigenschaften dieser Materialien spielt nämlich eine bedeutende Rolle bei der Erhaltung der erforderlichen optischen Eigenschaften des gesamten Filters. Bevor Fabry-Pérot-Filter ausgeführt wurden, wurde die mechanische Spannung in den einzelnen Materialien des Membranhaltesystems bestimmt. Für die Messung wurde Substratkrümmungsmethode angewendet. Es wurde gezeigt, dass die Plasmaanregungsfrequenzen der plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidung bei einer Prozesstemperatur von 120 °C die mechanische Spannung von Si3N4 enorm beeinflussen. Diese Ergebnisse wurden im Membranhaltesystem umgesetzt, wobei verschiedene Filter mit unterschiedlichen mechanischen Eigenschaften des Membranhaltesystems gezeigt wurden. Darüber hinaus wurden optische Eigenschaften der Filter unter dem Einfluss des lateralen Designs der Filterstrukturen untersucht. Bei den realisierten Filtern wurden ein optischer Durchstimmbereich von ca. 70 nm und eine spektrale Auflösung von 5 nm erreicht. Die erreichte Intensität der Transmissionslinie liegt bei 45-60%. Diese Parameter haben für den späteren spektroskopischen Einsatz der realisierten Fabry-Pérot-Filter eine hohe Bedeutung. Die Anwendung soll erstmalig in einem „Proof of Concept“ stattfinden, wobei damit die Oberflächentemperatur eines GaAs-Wafers über die Messung der spektralen Lage seiner Bandlücke bestimmt werden kann.