874 resultados para Process parameters


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This paper reports the fabrication and electrical characterization of high tuning range AlSi RF MEMS capacitors. We present experimental results obtained by a surface micromachining process that uses dry etching of sacrificial amorphous silicon to release Al-1%Si membranes and has a low thermal budget (<450 °C) being compatible with CMOS post-processing. The proposed silicon sacrificial layer dry etching (SSLDE) process is able to provide very high Si etch rates (3-15 μm/min, depending on process parameters) with high Si: SiO2 selectivity (>10,000:1). Single- and double-air-gap MEMS capacitors, as well as some dedicated test structures needed to calibrate the electro-mechanical parameters and explore the reliability of the proposed technology, have been fabricated with the new process. S-parameter measurements from 100 MHz up to 2 GHz have shown a capacitance tuning range higher than 100% with the double-air-gap architecture. The tuning range can be enlarged with a proper DC electrical bias of the capacitor electrodes. Finally, the reported results make the proposed MEMS tuneable capacitor a good candidate for above-IC integration in communications applications. © 2004 Elsevier B.V. All rights reserved.

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采用喷射成形方法制备了Al-8.5Fe-1.4V-1.7Si(8009)耐热铝合金,研究了喷射成形工艺参数及沉积坯件的热挤压工艺对材料的微观组织及性能的影响。结果表明:喷射成形工艺能够有效地抑制8009合金中粗大的富铁相的析出,获得均匀细小的组织;当射成形工艺参数选择适当时,沉积坯件具有良好的成形性与致密度,在随后的热挤压过程中,通过较低的挤压比即可使材料达到全致密。合金经过热挤压后,在室温及高温下均具有良好的力学性能。

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A new Er(3+)/Yb(3+) co-doped phosphate glass has been prepared, which exhibits good chemical durability and spectralproperties. Planar graded index waveguides have been fabricated in the glass by (Ag+)-Na(+) ion exchange in a mixed melt of silver nitrate and potassium nitrate. Ion exchange is carried out by varying the process parameters such as temperature, diffusion time, and molten salt compositions. The diffusion parameters, diffusion coefficients, and activation energy are determined by the guidelines of fabricated waveguides, which are determined by the input prism coupling technique.

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Os efluentes contendo cádmio podem ser gerados dos por várias indústrias. A aplicação de ambas as tecnologias osmose inversa (OI) e nanofiltração (NF) para o tratamento de efluentes contendo o íon cádmio para reduzir a degradação ambiental foram estudadas no presente trabalho. Amostras sintéticas contendo o íon cádmio em várias concentrações foram preparadas e submetidas aos tratamentos por OI e NF em escala laboratorial. Assim, dividiu-se o processo de remoção em três etapas: 1- analisou-se os processos de osmose inversa e nanofiltração em termos da rejeição do íon cádmio, onde se correlacionou e avaliou os principais parâmetros de processos (concentração da solução alimentação, fluxo de permeado e pressão) e comparou-se os sistemas entre si. Nas etapas 2 e 3 avaliou-se os efeitos da salinidade utilizando os contra-íons zinco e sódio respectivamente, sobre a rejeição do íon cádmio no sistema de osmose inversa em soluções aquosas contendo misturas de sulfato de cádmio e sulfato de zinco, e sulfato de cádmio e sulfato de sódio. Mediu-se as concentrações de cádmio e zinco por espectroscopia de absorção atômica e as concentrações de sulfato e sódio por cromatografia de íons. Os resultados obtidos na primeira etapa dos experimentos mostram que a osmose inversa e nanofiltração são eficientes na remoção de cádmio, onde se obteve as taxas médias de rejeição de 92,4% e 96,6% respectivamente, sendo esses valores iguais em magnitude, tendo em vista os valores da incerteza padrão relativa associada a esses resultados. Em ambos os sitemas, os fluxos de permeado e as rejeições não sofreram influência do aumento da concentração de cádmio na solução alimentação.Na etapa 2, os resultados mostraram a diminuição da rejeição de cádmio com o aumento da concentração de sulfato de zinco na alimentação, sendo esse fenômeno atribuído a semelhança existente entre os íons Cd2+ e Zn2+ associados aos seus raios iônicos de hidratação e as energias de hidratação. Foram observadas as quedas do fluxo de permeado e das rejeições com o aumento da concentração de alimentação provavelmente devido ao efeito da polarização. Na etapa 3, a rejeição do íon cádmio não foi afetada pelo aumento da concentração de sulfato de sódio na alimentação, assim como os fluxos de permeado. Outro aspecto relacionado à rejeição é que a difusão do sódio através da membrana é favorecida frente à difusão do cádmio, sendo atribuído ao menor raio de hidratação do sódio

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Processos de produção precisam ser avaliados continuamente para que funcionem de modo mais eficaz e eficiente possível. Um conjunto de ferramentas utilizado para tal finalidade é denominado controle estatístico de processos (CEP). Através de ferramentas do CEP, o monitoramento pode ser realizado periodicamente. A ferramenta mais importante do CEP é o gráfico de controle. Nesta tese, foca-se no monitoramento de uma variável resposta, por meio dos parâmetros ou coeficientes de um modelo de regressão linear simples. Propõe-se gráficos de controle χ2 adaptativos para o monitoramento dos coeficientes do modelo de regressão linear simples. Mais especificamente, são desenvolvidos sete gráficos de controle χ2 adaptativos para o monitoramento de perfis lineares, a saber: gráfico com tamanho de amostra variável; intervalo de amostragem variável; limites de controle e de advertência variáveis; tamanho de amostra e intervalo de amostragem variáveis; tamanho de amostra e limites variáveis; intervalo de amostragem e limites variáveis e por fim, com todos os parâmetros de projeto variáveis. Medidas de desempenho dos gráficos propostos foram obtidas através de propriedades de cadeia de Markov, tanto para a situação zero-state como para a steady-state, verificando-se uma diminuição do tempo médio até um sinal no caso de desvios pequenos a moderados nos coeficientes do modelo de regressão do processo de produção. Os gráficos propostos foram aplicados a um exemplo de um processo de fabricação de semicondutores. Além disso, uma análise de sensibilidade dos mesmos é feita em função de desvios de diferentes magnitudes nos parâmetros do processo, a saber, no intercepto e na inclinação, comparando-se o desempenho entre os gráficos desenvolvidos e também com o gráfico χ2 com parâmetros fixos. Os gráficos propostos nesta tese são adequados para vários tipos de aplicações. Neste trabalho também foi considerado características de qualidade as quais são representadas por um modelo de regressão não-linear. Para o modelo de regressão não-linear considerado, a proposta é utilizar um método que divide o perfil não-linear em partes lineares, mais especificamente, um algoritmo para este fim, proposto na literatura, foi utilizado. Desta forma, foi possível validar a técnica proposta, mostrando que a mesma é robusta no sentido que permite tipos diferentes de perfis não-lineares. Aproxima-se, portanto um perfil não-linear por perfis lineares por partes, o que proporciona o monitoramento de cada perfil linear por gráficos de controle, como os gráficos de controle desenvolvidos nesta tese. Ademais apresenta-se a metodologia de decompor um perfil não-linear em partes lineares de forma detalhada e completa, abrindo espaço para ampla utilização.

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Haemophilus influenzae tipo b (Hib) é a principal causa de pneumonia bacteriana e meningite em crianças com menos de 5 anos de idade. A doença pode ser prevenida através da vacinação com uma vacina conjugada polissacarídeo-proteína, uma vez que a vacina de polissacarídeo não é eficaz. Desde 1999, o Ministério da Saúde incluiu a vacina conjugada Hib na rotina do calendário de imunização para crianças rotineiramente. Sendo este um processo de grande importância para as pessoas e demanda de produção significativa para o governo brasileiro, é necessário que os processos estejam de acordo com as normas nacionais e internacionais de regulamentação e devem ser validados. Uma operação validada assegura a produção de lotes uniformes que atendem as especificações exigidas, consequentemente, garantindo ao fabricante a capacidade de proporcionar um produto de qualidade. O trabalho propõe o desenvolvimento de uma metodologia que evidencie e garanta o processo de produção de um conjugado de polissacarídeo-proteína pelo método de conjugação química e que será produzido de forma consistente e de acordo com as suas especificações pré-definidas. Os atributos de qualidade garantem o não desabastecimento da vacina Haemophilus influenzae tipo b por desvios de processo, o que contribui com aumento do valor agregado ao produto em questão. Portanto, a metodologia de validação foi aplicada ao estudo de validação. O estudo baseou-se em três etapas. A primeira foi baseada em análise de parâmetros do processo de conjugação química para mapear e estabelecer intervalos críticos de controle quanto a estes parâmetros, a segunda fase foi realizada com a produção de três lotes consecutivos, em escala industrial, com monitorização regular dos parâmetros críticos mapeados anteriormente. A fase final consistiu em amostras recolhidas, em tempo pré-determinado, durante o processo de produção e de controle do produto final em tamanho 50% a mais que na rotina de produção. Estas amostras foram analisadas utilizando os métodos de análise que foram anteriormente validados, a fim de garantir a reprodutibilidade dos resultados. A robustez do processo foi assegurada uma vez que todos os parâmetros do processo avaliados apresentaram resultados dentro do padrão de conformidade com os resultados de controle determinados durante o processo, e no produto final para a população de amostragem dentro de especificações definidas pelas metodologias analíticas validadas garantindo os resultados. O trabalho proposto assegura status de processo validado para o conjugado polissacarídeo-proteína com excepcionais rendimentos obtidos, combinado com características químicas bem definidas

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The capability of manufacturing coatings is of central importance in engineering design. Many components require nowadays the application of additional layers, to enhance mechanical properties and protect against hostile environments. Supersonic Laser Deposition (SLD) is a novel coating method, based upon Cold Spray (CS) principles. In this technique the deposition velocities can be significantly lower than those required for effective bonding in CS applications. The addition of laser heat energy permits a change in the thermodynamic experience of impacting particles, thereby offering a greater opportunity for metallurgical bonding at lower velocities compared to the CS process technology. The work reported in this paper demonstrates the ability of the SLD process to deliver hard facing materials to engineering surfaces. Stellite-6 has been deposited on low carbon steel tubes over a range of process parameters, determining the appropriate target power and traverse speeds for coating deposition. Coating properties and parameters were examined to determine the main properties, micro-structure and processing cost. Their morphology was studied through optical microscopy, SEM and X-Ray Diffraction. The results have shown that SLD is capable of depositing Stellite-6, with enhanced properties compared to laser clad counterparts.

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A novel test method for the characterisation of flexible forming processes is proposed and applied to four flexible forming processes: Incremental Sheet Forming (ISF), conventional spinning, the English wheel and power hammer. The proposed method is developed in analogy with time-domain control engineering, where a system is characterised by its impulse response. The spatial impulse response is used to characterise the change in workpiece deformation created by a process, but has also been applied with a strain spectrogram, as a novel way to characterise a process and the physical effect it has on the workpiece. Physical and numerical trials to study the effects of process and material parameters on spatial impulse response lead to three main conclusions. Incremental sheet forming is particularly sensitive to process parameters. The English wheel and power hammer are strongly similar and largely insensitive to both process and material parameters. Spinning develops in two stages and is sensitive to most process parameters, but insensitive to prior deformation. Finally, the proposed method could be applied to modelling, classification of existing and novel processes, product-process matching and closed-loop control of flexible forming processes. © 2012 Elsevier B.V.

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In this paper, we use a pulsed rapid thermal processing (RTP) approach to create an emitter layer of hetero-junction solar cell. The process parameters and crystallization behaviour are studied. The structural, optical and electric properties of the crystallized films are also investigated. Both the depth of PN junction and the conductivity of the emitter layer increase with the number of RTP pulses increasing. Simulation results show that efficiencies of such solar cells can exceed 15% with a lower interface recombination rate, but the highest efficiency is 11.65% in our experiments.

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OLAND两阶段生物脱氮系统是一项正在开发且极具应用前景的处理高氨氮、低COD废水的新技术。在实验室水平,对OLAND系统限氧亚硝化阶段MBR反应器和厌氧氨氧化阶段SBR反应器的启动和运行进行了系统研究。MBR反应器控制参数在DO0.1-0.3mg/L,pH7.8±0.1,温度30±0.5℃,SRT无穷大的条件下,可实现在较高的容积负荷By=IO00mgN/L,水力停留时间HRT:ld下稳定的亚硝酸型硝化,使NH4+-N和NO2-N的出水比例达到理想的比值(1:1.20±0.20),保证厌氧氨氧化阶段SBR反应器的理想进水;SBR反应器在完全厌氧、pH7.8-8.2,温度30±0.5℃,SRT无穷大的条件下,无需外加任何有机碳源,在较高总氮负荷550mgN/L下,可实现NH4+-N和NO2--N同时稳定的去除,二者的消耗比例为1:(1.21±0.05),总氮去除率高达92%。采用巢式PCR、DGGE、 FISH等分子技术对MBR反应器硝化菌群随溶解氧的动态变化规律和SBR反应器厌氧氨氧化菌群结构、组成进行了研究,并探讨了硝化菌群与氮素组成变化之间的内在联系。结果表明:在限氧亚硝化阶段硝化菌群中氨氧化菌受溶解氧浓度的影响较大,其种群结构从反应器启动初期到稳定后期发生了非常明显的变化。亚硝酸氧化菌NOB的种群组成受溶氧影响并不明显,从启动初期到稳定后期其种群结构无明显变化。硝化菌群中氨氧化菌 AOB与亚硝酸氧化菌NOB的数量比例关系随溶解氧的降低而不断升高,从最初的3.6:1升高到稳定后期的5.5:1。MBR反应器优势硝化菌群主要由A、B、C三类氨氧化菌和硝化杆菌D、硝化螺菌F组成,其中优势菌C为维持MBR反应器稳定出水比例的主要功能菌。硝化菌群组成和结构的变化,带来了不同N素之间组成和比例的规律性变化。厌氧氨氧化阶段基本由厌氧氨氧化菌AnAOB和ANAMMOX两类菌组成,二者空间结构紧密,在反应器中的活菌数量比例分别为55%和42%。厌氧氨氧化菌AnAOB种群多样性相对比较丰富,主要由条带I和H所代表的两种优势菌组成;ANAMMOX菌种群多样性变化较小,其种群主要由优势菌K和J组成。对MBR和SBR反应器中的优势菌进行了克隆、测序和系统发育学分析,结果表明:限氧亚硝化阶段MBR反应器启动初期的优势菌A属于Nitrosomonadaceae科,是否是一个新属,还有待于进一步鉴定。运行中期优势菌B与Nitroso)nonaseurooaea亲缘关系最近,同源性高达99.1%,暂命名为Nilrosomonas sp.BI。稳定后期优势菌C与Nitrosomonas eutroPha亲缘关系最近,同源性为96.3%,暂命名为Nifrosomonas sp.cl。硝化杆菌属优势菌D与Nitrobacter alkalicus、Nitrobacter hambllrgensts和Nitlobac招rwinograsky 亲缘关系较近,同源性分别为95.5-97%、96.5~97%和95.8~96.8%。SBR反应器中AnAOB优势菌I与MBR反应器优势菌B亲缘关系最近,同源性高达98.7%,与Nitlosomonas euroPaea同源性为98.3%。根据序列比较和生理特性分析,优势菌I与优势菌B应为Nitrosomonas属两个不同的种,暂将优势菌I命名为Nitrosomonas sp.II。优势菌H与MBR反应器优势菌C亲缘关系最近,同源性达97.9%,与Nitrosomonas eutropha同源性为96.3%。结合其生理特性分析,二者应为Nitrosomonas属两个不同的种,暂将优势菌H命名为Nitrosomollas sp.Hl。ANAMMox优势菌K与未培养的 Planctomycete和已鉴定的另一种ANAMMoX菌尤uenenia sf况ttgartiensis亲缘关系较近,同源性分别为99.8%和96.6%。优势菌J与Gen bank收录的所有菌的相似性均低于76%,说明该菌是OLAND系统厌氧氨氧化阶段比较独特的菌,是迄今为止在厌氧反应过程中未发现的一个新菌。

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Size modification of Au nanoparticles (NPs), deposited on the Au-thick film surface and irradiated by slow highly charged ions (SHCI) 40Arq+ (3 6 q 6 12) with fixed low dose of 4.3 1011 ions/cm2 and various energy ranging from 74.64 to 290.64 keV at room temperature (293.15 K), was investigated by atomic force microscopy (AFM) and transmission electron microscopy (TEM). The effect of projectile kinetic energy on the modified size of NPs was explored by an appropriate choice of the fixed process parameters such as ion flux, irradiation temperature, incident angle, irradiation time, etc. The morphological changes of NPs were interpreted by models involving collisional mixing, Ostwald ripening (OR) and inverse Ostwald ripening (IOR) of spherical NPs on a substrate. A critical kinetic energy as well as a critical potential energy of the projectile in the Au NPs size modification process were observed.

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With the objective of making calcium alginate gel beads with small and uniform size, membrane emulsification coupled with internal gelation was proposed. Spherical gel beads with mean size of about 50 mum, and even smaller ones in water, and with narrow size distribution were successfully obtained. Experimental studies focusing mainly on the effect of process parameters on bead properties were performed. The size of the beads was mainly dependent on the diameter of the membrane pores. High transmembrane pressure made for large gel beads with wide size distribution. Low sodium alginate concentration produced nonspherical beads, whereas a high concentration was unsuitable for the production of small beads with narrow distribution. Thus 1.5% w/v was enough. A high surfactant concentration favored the formation of small beads, but the adverse effect on mass transfer should be considered in this novel process. (C) 2002 Wiley Periodicals, Inc.

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Lanthanum-zirconium-cerium composite oxide (La-2(Zr0.7Ce0.3)(2)O-7, LZ7C3) as a candidate material for thermal barrier coatings (TBCs) was prepared by electron beam-physical vapor deposition (EB-PVD). The composition, crystal structure, thermophysical properties, surface and cross-sectional morphologies and cyclic oxidation behavior of the LZ7C3 coating were studied. The results indicated that LZ7C3 has a high phase stability between 298 K and 1573 K, and its linear thermal expansion coefficient (TEC) is similar to that of zirconia containing 8 wt% yttria (8YSZ). The thermal conductivity of LZ7C3 is 0.87 W m(-1) K-1 at 1273 K, which is almost 60% lower than that of 8YSZ. The deviation of coating composition from the ingot can be overcome by the addition of excess CeO2 and ZrO2 during ingot preparation or by adjusting the process parameters.

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Bulk material and coatings of Lanthanum-Cerium Oxide (La2Ce2O7) with a fluorite structure were studied as a candidate material for thermal barrier coating (TBC). It has been showed that such material has the properties of low thermal conductivity about four times lower than YSZ, the difference in the thermal expansion coefficient between La2Ce2O7 and bond coat is smaller than that of YSZ in TBC systems, high phase stability between room temperature and 1673 K, about 300 K higher than that of the YSZ. The coating prepared by electron beam physical vapor deposition (EB-PVD) showed that it has good thermal cycling behavior, implying that Such material can be a promising thermal barrier coating material. The deviation of coating composition from ingot can be overcome by the addition of excess La2O3 during ingot preparation and/or by adjusting the process parameters.