Experimental and numerical study of cw green laser crystallization of a-Si:H thin films

Crystallization and grain growth technique of thin film silicon are among the most promising methods for improving efficiency and lowering cost of solar cells. A major advantage of laser crystallization and annealing over conventional heating methods is its ability to limit rapid heating and cooling to thin surface layers. Laser energy is used to heat the amorphous silicon thin film, melting it and changing the microstructure to polycrystalline silicon (poly-Si) as it cools. Depending on the laser density, the vaporization temperature can be reached at the center of the irradiated area. In these cases ablation effects are expected and the annealing process becomes ineffective. The heating process in the a-Si thin film is governed by the general heat transfer equation. The two dimensional non-linear heat transfer equation with a moving heat source is solve numerically using the finite element method (FEM), particularly COMSOL Multiphysics. The numerical model help to establish the density and the process speed range needed to assure the melting and crystallization without damage or ablation of the silicon surface. The samples of a-Si obtained by physical vapour deposition were irradiated with a cw-green laser source (Millennia Prime from Newport-Spectra) that delivers up to 15 W of average power. The morphology of the irradiated area was characterized by confocal laser scanning microscopy (Leica DCM3D) and Scanning Electron Microscopy (SEM Hitachi 3000N). The structural properties were studied by micro-Raman spectroscopy (Renishaw, inVia Raman microscope).

Por Don Francisco Fernando Valterra y Verenguer Giron de Rebolledo... en el pleyto que por especial comission de S.M. pende... con Don Miguel Jofre Valterra y Blanes... sobre la succession en propiedad del Condado de la Villanueva...

Sign. : A-I2

Alegacion en Derecho por el Mariscal de campo D. Pedro Maza de Lizana ... de Novelda sobre pretender estos se declaren por nulos ... los Capitulos de Poblacion de dicha villa ...

Precede al tít.: "Jesus, Maria, Joseph, S. Joaquin y S. Ana"

Por Don Francisco Fernando Valterra y Berenguer Giron de Rebolledo... con Don Joseph Valterra y Blanes... sobre la succession en propiedad del mayorazgo fundado de Torres-Torres por Don Juan Valterra...

Sign.: A-G2

Fundamentos y reflecciones[sic] que suplica Don Fernando Vallterra y Berenguer Giròn de Rebolledo regidor perpetuo ... en la causa que ... sigue con D. Vicente Castelvi y Monsoriu sobre la succession en el mayorazgo del condado de Villanueva ..

Precede al tit. : "San Antonio de Padua"

Dictamen juridico de el derecho que assiste a el Marques de Albudeyte, Don Luis Teixeyro de Valcarce y Vozmediano... en el expediente consultivo... con Don Juan de Sandoval... y con el curador... del Conde de Montealegre...

Precede al Tit. : "Jesús, María y Joseph..."

Allegaciones en drecho, en favor de la villa de Morella, contra el lugar de Sorita

En v. de h. 12 consta 7 de diciembre de 1594

Satisfaccion que en grado de revista propone Don Marcos Marbeuf a los fundamentos que en grado de apelacion expuso Don Joseph Loustau litigando contra Doña Francisca Soler... con... Don Marcos...

Texto fechado en Valencia el 28 de Abril de 1757

Informe juridico por Alexandro Ripoll en nombre de Feliciana Anton... en el pleyto con Doña Luisa Ortiz y su marido Don Juan Miguel Espuche... sobre que paguen a mis partes dentro de nueve dias...

El texto alude a una demanda fechada el 14 de agosto de 1722

Alegacion juridica en grado de revista por D. Mariano Manglano y Rocafull...con D. Francisco de Leon y Anglesola... y con D. Pedro Quevedo Baron de Llauri...sobre incompatibilidad...de poder retener los dos mayorazgos fundados por D. Geronimo Vich.

Precede al tit. : "J.M.J. S. Vicente Ferrer y el B. Juan de Ribera"

Relacion i memorial ajustado a ... los autos, e informaciones hechas por ... Don Rodrigo Marin i Rubio Obispo ... de Jaen, i a pedimiento de la ... i que se declaren por de dicho santo martyr los huessos que se hallaron en la bobeda de el altar mayor de la ... cathedral de Baeza ... el año ... de mil setenciento i veinte i nueve

Sign.: A-L2

Acusacion fiscal que en la causa sobre falsificacion de vales reales

Sign.: []1, A-L2

Nos doctor en derechos Miguèl Oriòl Presbitero en Barcelona, Residente Juez Executor, y Comissionado ... en virtud de un despacho expedido del Tribunal Apostolico, y Real de dicha Gracia del Excusado ... Sabed que ... se han seguido autos, por parte de Don Francisco Xavier Centellas y Carròs ... con Don Felix Magarola ...

Texto fechado en Barcelona en 30 de Abril de 1766

Breve discurso en que ajustandose las disposiciones de Drecho al Hecho... en la causa pretende la Villa de Onil... se desprecie la demanda que tiene... el Marques de Dos Aguas... sobre la mutua peticion... que tiene expuestas en ella...

Precede al tít.: "Jesus Maria y Joseph y S."