High-Resolution Chemical Depth Profiling of Solid Material Using a Miniature Laser Ablation/Ionization Mass Spectrometer

High-resolution chemical depth profiling measurements of copper films are presented. The 10 μm thick copper test samples were electrodeposited on a Si-supported Cu seed under galvanostatic conditions in the presence of particular plating additives (SPS, Imep, PEI, and PAG) used in the semiconductor industry for the on-chip metallization of interconnects. To probe the trend of these plating additives toward inclusion into the deposit upon growth, quantitative elemental mass spectrometric measurements at trace level concentration were conducted by using a sensitive miniature laser ablation ionization mass spectrometer (LIMS), originally designed and developed for in situ space exploration. An ultrashort pulsed laser system (τ ∼ 190 fs, λ = 775 nm) was used for ablation and ionization of sample material. We show that with our LIMS system, quantitative chemical mass spectrometric analysis with an ablation rate at the subnanometer level per single laser shot can be conducted. The measurement capabilities of our instrument, including the high vertical depth resolution coupled with high detection sensitivity of ∼10 ppb, high dynamic range ≥10(8), measurement accuracy and precision, is of considerable interest in various fields of application, where investigations with high lateral and vertical resolution of the chemical composition of solid materials are required, these include, e.g., wafers from semiconductor industry or studies on space weathered samples in space research.

Genre et protection sociale

L'histoire du genre, en pleine explosion, permet elle aussi de repenser la protection sociale, bien au-delà de la maternité, de la famille et du travail féminin

Siege und Niederlagen, Irrtümer und Erkenntnisse nach 30 Jahren Geschlechtergeschichte. Eine Bilanz

Die Geschlechtergeschichte blickt mittlerweile auf eine mehr als fünf Jahrzehnte überspannende Entwicklung zurück. Wenn Geschlechtergeschichte inzwischen auch bis in die Schulbücher und in die Einführungen zum Geschichtsstudium Eingang gefunden hat, nimmt sie im Fach dennoch weiterhin eine ambivalente Position ein: Sie war einerseits an wichtigen theoretischen Entwicklungen maßgeblich beteiligt (Alltagsgeschichte, historische Anthropologie, linguistic turn, cultural turn, postcolonial turn), andererseits haftet ihr bis heute der Ruch der politisch gefärbten und daher tendenziösen und „unsoliden“ Wissenschaft an. Im Panel soll es darum gehen, wichtige Stationen der Entwicklung der Geschlechtergeschichte (von der Frauen- zur Geschlechtergeschichte, von der feministischen zur akademischen Forschung, von der Etablierung zur Kritik der Kategorie Geschlecht, vom Um-Schreiben der Geschichte zur Historiographie der Geschlechtergeschichte usw.) nachzuvollziehen sowie die wichtigsten Erträge der geschlechtergeschichtlichen Forschung zu beleuchten und Felder zu benennen, in denen die geschlechtergeschichtliche Forschung die Geschichtswissenschaft insgesamt beeinflusst und verändert hat. Dies soll in zwei Etappen realisiert werden: Im ersten Panel sollen wichtige Leistungen der Geschlechtergeschichte innerhalb der Geschichtswissenschaft beleuchtet und deren Rezeption innerhalb der pluralisierten geschichtswissenschaftlichen Ansätze diskutiert werden. In einem zweiten Schritt sollen wichtige Entwicklungen innerhalb der Geschlechtergeschichte themen- bzw. problemspezifisch präsentiert und diskutiert werden. Dies soll in Form einer round table-Diskussion erfolgen. Dabei richtet sich der Blick v.a. auf den bundesdeutschen Raum, ohne aber internationale Entwicklungen dabei außer Acht zu lassen.