Mixed-domain simulation and hybrid wafer-level packaging of RF-MEMS devices for wireless applications

In questa tesi verranno trattati sia il problema della creazione di un ambiente di simulazione a domini fisici misti per dispositivi RF-MEMS, che la definizione di un processo di fabbricazione ad-hoc per il packaging e l’integrazione degli stessi. Riguardo al primo argomento, sarà mostrato nel dettaglio lo sviluppo di una libreria di modelli MEMS all’interno dell’ambiente di simulazione per circuiti integrati Cadence c . L’approccio scelto per la definizione del comportamento elettromeccanico dei MEMS è basato sul concetto di modellazione compatta (compact modeling). Questo significa che il comportamento fisico di ogni componente elementare della libreria è descritto per mezzo di un insieme limitato di punti (nodi) di interconnessione verso il mondo esterno. La libreria comprende componenti elementari, come travi flessibili, piatti rigidi sospesi e punti di ancoraggio, la cui opportuna interconnessione porta alla realizzazione di interi dispositivi (come interruttori e capacità variabili) da simulare in Cadence c . Tutti i modelli MEMS sono implementati per mezzo del linguaggio VerilogA c di tipo HDL (Hardware Description Language) che è supportato dal simulatore circuitale Spectre c . Sia il linguaggio VerilogA c che il simulatore Spectre c sono disponibili in ambiente Cadence c . L’ambiente di simulazione multidominio (ovvero elettromeccanico) così ottenuto permette di interfacciare i dispositivi MEMS con le librerie di componenti CMOS standard e di conseguenza la simulazione di blocchi funzionali misti RF-MEMS/CMOS. Come esempio, un VCO (Voltage Controlled Oscillator) in cui l’LC-tank è realizzato in tecnologia MEMS mentre la parte attiva con transistor MOS di libreria sarà simulato in Spectre c . Inoltre, nelle pagine successive verrà mostrata una soluzione tecnologica per la fabbricazione di un substrato protettivo (package) da applicare a dispositivi RF-MEMS basata su vie di interconnessione elettrica attraverso un wafer di Silicio. La soluzione di packaging prescelta rende possibili alcune tecniche per l’integrazione ibrida delle parti RF-MEMS e CMOS (hybrid packaging). Verranno inoltre messe in luce questioni riguardanti gli effetti parassiti (accoppiamenti capacitivi ed induttivi) introdotti dal package che influenzano le prestazioni RF dei dispositivi MEMS incapsulati. Nel dettaglio, tutti i gradi di libertà del processo tecnologico per l’ottenimento del package saranno ottimizzati per mezzo di un simulatore elettromagnetico (Ansoft HFSSTM) al fine di ridurre gli effetti parassiti introdotti dal substrato protettivo. Inoltre, risultati sperimentali raccolti da misure di strutture di test incapsulate verranno mostrati per validare, da un lato, il simulatore Ansoft HFSSTM e per dimostrate, dall’altro, la fattibilit`a della soluzione di packaging proposta. Aldilà dell’apparente debole legame tra i due argomenti sopra menzionati è possibile identificare un unico obiettivo. Da un lato questo è da ricercarsi nello sviluppo di un ambiente di simulazione unificato all’interno del quale il comportamento elettromeccanico dei dispositivi RF-MEMS possa essere studiato ed analizzato. All’interno di tale ambiente, l’influenza del package sul comportamento elettromagnetico degli RF-MEMS può essere tenuta in conto per mezzo di modelli a parametri concentrati (lumped elements) estratti da misure sperimentali e simulazioni agli Elementi Finiti (FEM) della parte di package. Infine, la possibilità offerta dall’ambiente Cadence c relativamente alla simulazione di dipositivi RF-MEMS interfacciati alla parte CMOS rende possibile l’analisi di blocchi funzionali ibridi RF-MEMS/CMOS completi.

Morphological transitions in molecular and polymeric materials: patterning, fabrication, devices

This thesis individuates and characterizes irreversible transformations occurring in specific organic and oligomeric/polymeric thin films. These transformations are dewetting in discotic liquid crystals thin films and dewetting and smoothing in oligomeric and polyemeric films. Irreversible transformations are extensively characterized by means of optical and atomic force microscopy. In the case of discotic liquid crystals films the morphological characterization is performed sinchronically with electrical measurements of current during dewetting.

Experimental and numerical analyses about the efficiency of flow through devices for the sediment controll in urban runoff

As land is developed, the impervious surfaces that are created increase the amount of runoff during rainfall events, disrupting the natural hydrologic cycle, with an increment in volume of runoff and in pollutant loadings. Pollutants deposited or derived from an activity on the land surface will likely end up in stormwater runoff in some concentration, such as nutrients, sediment, heavy metals, hydrocarbons, gasoline additives, pathogens, deicers, herbicides and pesticides. Several of these pollutants are particulate-bound, so it appears clear that sediment removal can provide significant water-quality improvements and it appears to be important the knowledge of the ability of stromwater treatment devices to retain particulate matter. For this reason three different units which remove sediments have been tested through laboratory. In particular a roadside gully pot has been tested under steady hydraulic conditions, varying the characteristics of the influent solids (diameter, particle size distribution and specific gravity). The efficiency in terms of particles retained has been evaluated as a function of influent flow rate and particles characteristics; results have been compared to efficiency evaluated applying an overflow rate model. Furthermore the role of particles settling velocity in efficiency determination has been investigated. After the experimental runs on the gully pot, a standard full-scale model of an hydrodynamic separator (HS) has been tested under unsteady influent flow rate condition, and constant solid concentration at the input. The results presented in this study illustrate that particle separation efficiency of the unit is predominately influenced by operating flow rate, which strongly affects the particles and hydraulic residence time of the system. The efficiency data have been compared to results obtained from a modified overflow rate model; moreover the residence time distribution has been experimentally determined through tracer analyses for several steady flow rates. Finally three testing experiments have been performed for two different configurations of a full-scale model of a clarifier (linear and crenulated) under unsteady influent flow rate condition, and constant solid concentration at the input. The results illustrate that particle separation efficiency of the unit is predominately influenced by the configuration of the unit itself. Turbidity measures have been used to compare turbidity with the suspended sediments concentration, in order to find a correlation between these two values, which can allow to have a measure of the sediments concentration simply installing a turbidity probe.