Fabrication and Characterization of Efficient Optical Filter Arrays Implemented by 3D Nanoimprint

In dieser Arbeit werden optische Filterarrays für hochqualitative spektroskopische Anwendungen im sichtbaren (VIS) Wellenlängenbereich untersucht. Die optischen Filter, bestehend aus Fabry-Pérot (FP)-Filtern für hochauflösende miniaturisierte optische Nanospektrometer, basieren auf zwei hochreflektierenden dielektrischen Spiegeln und einer zwischenliegenden Resonanzkavität aus Polymer. Jeder Filter erlaubt einem schmalbandigem spektralen Band (in dieser Arbeit Filterlinie genannt) ,abhängig von der Höhe der Resonanzkavität, zu passieren. Die Effizienz eines solchen optischen Filters hängt von der präzisen Herstellung der hochselektiven multispektralen Filterfelder von FP-Filtern mittels kostengünstigen und hochdurchsatz Methoden ab. Die Herstellung der multiplen Spektralfilter über den gesamten sichtbaren Bereich wird durch einen einzelnen Prägeschritt durch die 3D Nanoimprint-Technologie mit sehr hoher vertikaler Auflösung auf einem Substrat erreicht. Der Schlüssel für diese Prozessintegration ist die Herstellung von 3D Nanoimprint-Stempeln mit den gewünschten Feldern von Filterkavitäten. Die spektrale Sensitivität von diesen effizienten optischen Filtern hängt von der Genauigkeit der vertikalen variierenden Kavitäten ab, die durch eine großflächige ‚weiche„ Nanoimprint-Technologie, UV oberflächenkonforme Imprint Lithographie (UV-SCIL), ab. Die Hauptprobleme von UV-basierten SCIL-Prozessen, wie eine nichtuniforme Restschichtdicke und Schrumpfung des Polymers ergeben Grenzen in der potenziellen Anwendung dieser Technologie. Es ist sehr wichtig, dass die Restschichtdicke gering und uniform ist, damit die kritischen Dimensionen des funktionellen 3D Musters während des Plasmaätzens zur Entfernung der Restschichtdicke kontrolliert werden kann. Im Fall des Nanospektrometers variieren die Kavitäten zwischen den benachbarten FP-Filtern vertikal sodass sich das Volumen von jedem einzelnen Filter verändert , was zu einer Höhenänderung der Restschichtdicke unter jedem Filter führt. Das volumetrische Schrumpfen, das durch den Polymerisationsprozess hervorgerufen wird, beeinträchtigt die Größe und Dimension der gestempelten Polymerkavitäten. Das Verhalten des großflächigen UV-SCIL Prozesses wird durch die Verwendung von einem Design mit ausgeglichenen Volumen verbessert und die Prozessbedingungen werden optimiert. Das Stempeldesign mit ausgeglichen Volumen verteilt 64 vertikal variierenden Filterkavitäten in Einheiten von 4 Kavitäten, die ein gemeinsames Durchschnittsvolumen haben. Durch die Benutzung der ausgeglichenen Volumen werden einheitliche Restschichtdicken (110 nm) über alle Filterhöhen erhalten. Die quantitative Analyse der Polymerschrumpfung wird in iii lateraler und vertikaler Richtung der FP-Filter untersucht. Das Schrumpfen in vertikaler Richtung hat den größten Einfluss auf die spektrale Antwort der Filter und wird durch die Änderung der Belichtungszeit von 12% auf 4% reduziert. FP Filter die mittels des Volumengemittelten Stempels und des optimierten Imprintprozesses hergestellt wurden, zeigen eine hohe Qualität der spektralen Antwort mit linearer Abhängigkeit zwischen den Kavitätshöhen und der spektralen Position der zugehörigen Filterlinien.

An Inquiry of Changes in Environmental Governance by Community-driven Process

Urban environmental depletion has been a critical problem among industrialized-transformed societies, especially at the local level where administrative authorities’ capacity lags behind changes. Derived from governance concept, the idea of civil society inclusion is highlighted. Focusing on an agglomerated case study, Bang Plee Community in Thailand, this research investigates on a non-state sector, 201-Community organization, as an agent for changes to improve urban environments on solid waste collection. Two roles are contested: as an agent for neighborhood internal change and as an intermediary toward governance changes in state-civil society interaction. By employing longitudinal analysis via a project intervention as research experiment, the outcomes of both roles are detected portrayed in three spheres: state, state-civil society interaction, and civil society sphere. It discovers in the research regarding agglomerated context that as an internal changes for environmental betterment, 201-Community organization operation brings on waste reduction at the minimal level. Community-based organization as an agent for changes – despite capacity input it still limited in efficiency and effectiveness – can mobilize fruitfully only at the individual and network level of civil society sectors, while fails managing at the organizational level. The positive outcomes result by economic waste incentive associated with a limited-bonded group rather than the rise of awareness at large. As an intermediary agent for shared governance, the community-based organization cannot bring on mutual dialogue with state as much as cannot change the state’s operation arena of solid waste management. The findings confine the shared governance concept that it does not applicable in agglomerated locality as an effective outcome, both in terms of being instrumental toward civil society inclusion and being provocative of internal change. Shared environmental governance as summarized in this research can last merely a community development action. It distances significantly from civil society inclusion and empowerment. However, the research proposes that community-based environmental management and shared governance toward civil society inclusion in urban environmental improvement are still an expectable option and reachable if their factors and conditions of key success and failure are intersected with a particular context. Further studies demand more precise on scale, scope, and theses factors of environmental management operation operated by civil society sectors.