Effets des recuits ultra-rapides (10^5 K/s) sur la formation des siliciures métalliques en phase solide

La synthèse de siliciures métalliques sous la forme de films ultra-minces demeure un enjeu majeur en technologie CMOS. Le contrôle du budget thermique, afin de limiter la diffusion des dopants, est essentiel. Des techniques de recuit ultra-rapide sont alors couramment utilisées. Dans ce contexte, la technique de nanocalorimétrie est employée afin d'étudier, in situ, la formation en phase solide des siliciures de Ni à des taux de chauffage aussi élevés que 10^5 K/s. Des films de Ni, compris entre 9.3 et 0.3 nm sont déposés sur des calorimètres avec un substrat de a-Si ou de Si(100). Des mesures de diffraction de rayons X, balayées en température à 3 K/s, permettent de comparer les séquences de phase obtenues à bas taux de chauffage sur des échantillons de contrôle et à ultra-haut taux de chauffage sur les calorimètres. En premier lieu, il est apparu que l'emploi de calorimètres de type c-NC, munis d'une couche de 340 nm de Si(100), présente un défi majeur : un signal endothermique anormal vient fausser la mesure à haute température. Des micro-défauts au sein de la membrane de SiNx créent des courts-circuits entre la bande chauffante de Pt du calorimètre et l'échantillon métallique. Ce phénomène diminue avec l'épaisseur de l'échantillon et n'a pas d'effet en dessous de 400 °C tant que les porteurs de charge intrinsèques au Si ne sont pas activés. Il est possible de corriger la mesure de taux de chaleur en fonction de la température avec une incertitude de 12 °C. En ce qui a trait à la formation des siliciures de Ni à ultra-haut taux de chauffage, l'étude montre que la séquence de phase est modifiée. Les phases riches en m étal, Ni2Si et théta, ne sont pas détectées sur Si(100) et la cinétique de formation favorise une amorphisation en phase solide en début de réaction. Les enthalpies de formation pour les couches de Ni inférieures à 10 nm sont globalement plus élevées que dans le cas volumique, jusqu' à 66 %. De plus, les mesures calorimétriques montrent clairement un signal endothermique à haute température, témoignant de la compétition que se livrent la réaction de phase et l'agglomération de la couche. Pour les échantillons recuits a 3 K/s sur Si(100), une épaisseur critique telle que décrite par Zhang et Luo, et proche de 4 nm de Ni, est supposée. Un modèle est proposé, basé sur la difficulté de diffusion des composants entre des grains de plus en plus petits, afin d'expliquer la stabilité accrue des couches de plus en plus fines. Cette stabilité est également observée par nanocalorimétrie à travers le signal endothermique. Ce dernier se décale vers les hautes températures quand l'épaisseur du film diminue. En outre, une 2e épaisseur critique, d'environ 1 nm de Ni, est remarquée. En dessous, une seule phase semble se former au-dessus de 400 °C, supposément du NiSi2.

Le processus d’élaboration des politiques publiques comme espace d’autodétermination : les cas de l’Accord de Kelowna et de la Loi sur le contrôle par les Premières Nations de leur système d’éducation

L’objectif du présent mémoire est double. D’une part, il cherche à identifier les facteurs qui permettent au gouvernement canadien et aux peuples autochtones de s’entendre sur des politiques publiques, malgré la persistance d’une logique coloniale. Nous verrons que l’atteinte d’une entente est conditionnelle à la légitimité du processus d’élaboration de la politique publique d’un point de vue autochtone. D’autre part, ce travail invite à penser le processus d’élaboration des politiques publiques comme espace potentiel d’autodétermination. Étant donné la malléabilité des règles qui encadrent l’élaboration des politiques publiques en contexte canadien, le gouvernement – s’il en a la volonté - peut modeler le processus d’élaboration de façon à le rendre plus égalitaire et donc plus légitime d’un point de vue autochtone. Il sera démontré que, dans une optique de changements progressifs, un tel processus d’élaboration peut permettre aux peuples autochtones de regagner une certaine autonomie décisionnelle et ainsi atténuer les rapports de pouvoir inégalitaires. Notre cadre théorique a été construit à l’aide de différents courants analytiques, issus notamment des littératures sur le colonialisme, sur les politiques publiques et sur la légitimité. La comparaison de deux études de cas, soit les processus d’élaboration de l’Accord de Kelowna et du projet de loi C-33, Loi sur le contrôle par les Premières Nations de leur système d’éducation, permettra d’illustrer nos arguments et d’en démontrer l’applicabilité pratique. En somme, nous verrons comment la première étude de cas permet de concevoir l’élaboration des politiques publiques comme espace potentiel d’autodétermination, et comment la deuxième, au contraire, démontre que cette sphère peut encore en être une d’oppression.