1 resultado para process parameter monitoring
em Université Laval Mémoires et thèses électroniques
Filtro por publicador
- Aberystwyth University Repository - Reino Unido (1)
- Acceda, el repositorio institucional de la Universidad de Las Palmas de Gran Canaria. España (1)
- AMS Tesi di Dottorato - Alm@DL - Università di Bologna (8)
- AMS Tesi di Laurea - Alm@DL - Università di Bologna (3)
- Aquatic Commons (10)
- ArchiMeD - Elektronische Publikationen der Universität Mainz - Alemanha (4)
- Archimer: Archive de l'Institut francais de recherche pour l'exploitation de la mer (1)
- Archive of European Integration (1)
- Archivo Digital para la Docencia y la Investigación - Repositorio Institucional de la Universidad del País Vasco (1)
- Aston University Research Archive (22)
- Biblioteca de Teses e Dissertações da USP (1)
- Biblioteca Digital | Sistema Integrado de Documentación | UNCuyo - UNCUYO. UNIVERSIDAD NACIONAL DE CUYO. (1)
- Biblioteca Digital da Produção Intelectual da Universidade de São Paulo (7)
- Biblioteca Digital da Produção Intelectual da Universidade de São Paulo (BDPI/USP) (5)
- Biblioteca Digital de Teses e Dissertações Eletrônicas da UERJ (3)
- Bioline International (1)
- BORIS: Bern Open Repository and Information System - Berna - Suiça (10)
- Boston University Digital Common (2)
- Brock University, Canada (3)
- Bucknell University Digital Commons - Pensilvania - USA (3)
- Bulgarian Digital Mathematics Library at IMI-BAS (8)
- CaltechTHESIS (4)
- Cambridge University Engineering Department Publications Database (15)
- CentAUR: Central Archive University of Reading - UK (21)
- Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid Portal (16)
- Cochin University of Science & Technology (CUSAT), India (3)
- Comissão Econômica para a América Latina e o Caribe (CEPAL) (3)
- CORA - Cork Open Research Archive - University College Cork - Ireland (7)
- Corvinus Research Archive - The institutional repository for the Corvinus University of Budapest (1)
- Dalarna University College Electronic Archive (5)
- Deakin Research Online - Australia (42)
- Digital Commons - Michigan Tech (5)
- Digital Commons at Florida International University (8)
- Digital Peer Publishing (1)
- DigitalCommons@The Texas Medical Center (5)
- Doria (National Library of Finland DSpace Services) - National Library of Finland, Finland (5)
- Duke University (3)
- Ecology and Society (1)
- eResearch Archive - Queensland Department of Agriculture; Fisheries and Forestry (4)
- FUNDAJ - Fundação Joaquim Nabuco (2)
- Glasgow Theses Service (2)
- Greenwich Academic Literature Archive - UK (7)
- Harvard University (1)
- Helda - Digital Repository of University of Helsinki (3)
- Indian Institute of Science - Bangalore - Índia (17)
- Institutional Repository of Leibniz University Hannover (1)
- Instituto Politécnico de Leiria (1)
- Instituto Politécnico de Viseu (1)
- Instituto Politécnico do Porto, Portugal (7)
- Iowa Publications Online (IPO) - State Library, State of Iowa (Iowa), United States (1)
- Massachusetts Institute of Technology (1)
- Plymouth Marine Science Electronic Archive (PlyMSEA) (1)
- Publishing Network for Geoscientific & Environmental Data (60)
- QSpace: Queen's University - Canada (4)
- QUB Research Portal - Research Directory and Institutional Repository for Queen's University Belfast (70)
- Queensland University of Technology - ePrints Archive (344)
- Repositório Alice (Acesso Livre à Informação Científica da Embrapa / Repository Open Access to Scientific Information from Embrapa) (1)
- Repositório Científico da Universidade de Évora - Portugal (4)
- Repositório Científico do Instituto Politécnico de Lisboa - Portugal (1)
- Repositório digital da Fundação Getúlio Vargas - FGV (2)
- Repositório Institucional da Universidade de Aveiro - Portugal (2)
- Repositório Institucional da Universidade de Brasília (1)
- Repositório Institucional da Universidade Estadual de São Paulo - UNESP (1)
- Repositorio Institucional de la Universidad de Málaga (1)
- Repositório Institucional UNESP - Universidade Estadual Paulista "Julio de Mesquita Filho" (84)
- SAPIENTIA - Universidade do Algarve - Portugal (3)
- Universidad de Alicante (3)
- Universidad del Rosario, Colombia (1)
- Universidad Politécnica de Madrid (23)
- Universidade Complutense de Madrid (1)
- Universidade de Lisboa - Repositório Aberto (2)
- Universidade Estadual Paulista "Júlio de Mesquita Filho" (UNESP) (1)
- Universidade Federal de Uberlândia (1)
- Universidade Federal do Rio Grande do Norte (UFRN) (8)
- Universidade Técnica de Lisboa (1)
- Universitat de Girona, Spain (2)
- Universitätsbibliothek Kassel, Universität Kassel, Germany (5)
- Université de Lausanne, Switzerland (3)
- Université de Montréal, Canada (3)
- Université Laval Mémoires et thèses électroniques (1)
- University of Connecticut - USA (1)
- University of Michigan (3)
- University of Queensland eSpace - Australia (10)
- University of Washington (1)
- WestminsterResearch - UK (1)
Resumo:
Dans ce projet de recherche, le dépôt des couches minces de carbone amorphe (généralement connu sous le nom de DLC pour Diamond-Like Carbon en anglais) par un procédé de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (ou PECVD pour Plasma Enhanced Chemical Vapor deposition en anglais) a été étudié en utilisant la Spectroscopie d’Émission Optique (OES) et l’analyse partielle par régression des moindres carrés (PLSR). L’objectif de ce mémoire est d’établir un modèle statistique pour prévoir les propriétés des revêtements DLC selon les paramètres du procédé de déposition ou selon les données acquises par OES. Deux séries d’analyse PLSR ont été réalisées. La première examine la corrélation entre les paramètres du procédé et les caractéristiques du plasma pour obtenir une meilleure compréhension du processus de dépôt. La deuxième série montre le potentiel de la technique d’OES comme outil de surveillance du procédé et de prédiction des propriétés de la couche déposée. Les résultats montrent que la prédiction des propriétés des revêtements DLC qui était possible jusqu’à maintenant en se basant sur les paramètres du procédé (la pression, la puissance, et le mode du plasma), serait envisageable désormais grâce aux informations obtenues par OES du plasma (particulièrement les indices qui sont reliées aux concentrations des espèces dans le plasma). En effet, les données obtenues par OES peuvent être utilisées pour surveiller directement le processus de dépôt plutôt que faire une étude complète de l’effet des paramètres du processus, ceux-ci étant strictement reliés au réacteur plasma et étant variables d’un laboratoire à l’autre. La perspective de l’application d’un modèle PLSR intégrant les données de l’OES est aussi démontrée dans cette recherche afin d’élaborer et surveiller un dépôt avec une structure graduelle.