1 resultado para 090205 Hybrid Vehicles and Powertrains
em Savoirs UdeS : plateforme de diffusion de la production intellectuelle de l’Université de Sherbrooke - Canada
Filtro por publicador
- Aberystwyth University Repository - Reino Unido (1)
- Academic Archive On-line (Jönköping University; Sweden) (1)
- Academic Archive On-line (Stockholm University; Sweden) (2)
- Academic Research Repository at Institute of Developing Economies (1)
- Acceda, el repositorio institucional de la Universidad de Las Palmas de Gran Canaria. España (1)
- AMS Tesi di Dottorato - Alm@DL - Università di Bologna (7)
- AMS Tesi di Laurea - Alm@DL - Università di Bologna (4)
- Aquatic Commons (6)
- ArchiMeD - Elektronische Publikationen der Universität Mainz - Alemanha (6)
- Archive of European Integration (22)
- Archivo Digital para la Docencia y la Investigación - Repositorio Institucional de la Universidad del País Vasco (3)
- Aston University Research Archive (25)
- Biblioteca de Teses e Dissertações da USP (3)
- Biblioteca Digital da Câmara dos Deputados (1)
- Biblioteca Digital da Produção Intelectual da Universidade de São Paulo (6)
- Biblioteca Digital da Produção Intelectual da Universidade de São Paulo (BDPI/USP) (5)
- Biblioteca Digital de Teses e Dissertações Eletrônicas da UERJ (8)
- BORIS: Bern Open Repository and Information System - Berna - Suiça (14)
- Boston University Digital Common (2)
- Brock University, Canada (1)
- CaltechTHESIS (3)
- Cambridge University Engineering Department Publications Database (27)
- CentAUR: Central Archive University of Reading - UK (22)
- Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid Portal (24)
- Cochin University of Science & Technology (CUSAT), India (1)
- Coffee Science - Universidade Federal de Lavras (2)
- Comissão Econômica para a América Latina e o Caribe (CEPAL) (1)
- CORA - Cork Open Research Archive - University College Cork - Ireland (4)
- CUNY Academic Works (4)
- Dalarna University College Electronic Archive (3)
- Deakin Research Online - Australia (60)
- Digital Commons - Michigan Tech (9)
- Digital Commons at Florida International University (13)
- Digital Peer Publishing (1)
- Digital Repository at Iowa State University (1)
- DigitalCommons@The Texas Medical Center (9)
- DigitalCommons@University of Nebraska - Lincoln (1)
- Doria (National Library of Finland DSpace Services) - National Library of Finland, Finland (1)
- DRUM (Digital Repository at the University of Maryland) (4)
- Duke University (6)
- eResearch Archive - Queensland Department of Agriculture; Fisheries and Forestry (8)
- Glasgow Theses Service (2)
- Greenwich Academic Literature Archive - UK (3)
- Helda - Digital Repository of University of Helsinki (7)
- Illinois Digital Environment for Access to Learning and Scholarship Repository (2)
- Indian Institute of Science - Bangalore - Índia (36)
- Instituto Politécnico do Porto, Portugal (6)
- Iowa Publications Online (IPO) - State Library, State of Iowa (Iowa), United States (2)
- Lume - Repositório Digital da Universidade Federal do Rio Grande do Sul (1)
- Massachusetts Institute of Technology (1)
- National Center for Biotechnology Information - NCBI (26)
- Nottingham eTheses (2)
- Plymouth Marine Science Electronic Archive (PlyMSEA) (1)
- Portal de Revistas Científicas Complutenses - Espanha (3)
- QSpace: Queen's University - Canada (3)
- QUB Research Portal - Research Directory and Institutional Repository for Queen's University Belfast (35)
- Queensland University of Technology - ePrints Archive (145)
- RCAAP - Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (2)
- Repositório Científico da Universidade de Évora - Portugal (1)
- Repositório Científico do Instituto Politécnico de Lisboa - Portugal (4)
- Repositório digital da Fundação Getúlio Vargas - FGV (5)
- Repositório Digital da UNIVERSIDADE DA MADEIRA - Portugal (1)
- Repositório do Centro Hospitalar de Lisboa Central, EPE - Centro Hospitalar de Lisboa Central, EPE, Portugal (1)
- Repositório Institucional da Universidade de Aveiro - Portugal (4)
- Repositório Institucional da Universidade de Brasília (1)
- Repositório Institucional da Universidade Estadual de São Paulo - UNESP (1)
- Repositório Institucional da Universidade Federal do Rio Grande do Norte (1)
- Repositório Institucional da Universidade Tecnológica Federal do Paraná (RIUT) (1)
- Repositório Institucional UNESP - Universidade Estadual Paulista "Julio de Mesquita Filho" (115)
- Research Open Access Repository of the University of East London. (1)
- Royal College of Art Research Repository - Uninet Kingdom (1)
- RUN (Repositório da Universidade Nova de Lisboa) - FCT (Faculdade de Cienecias e Technologia), Universidade Nova de Lisboa (UNL), Portugal (1)
- SAPIENTIA - Universidade do Algarve - Portugal (2)
- Savoirs UdeS : plateforme de diffusion de la production intellectuelle de l’Université de Sherbrooke - Canada (1)
- The Scholarly Commons | School of Hotel Administration; Cornell University Research (1)
- Universidad de Alicante (3)
- Universidad del Rosario, Colombia (5)
- Universidad Politécnica de Madrid (44)
- Universidade Complutense de Madrid (1)
- Universidade de Lisboa - Repositório Aberto (1)
- Universidade Federal de Uberlândia (1)
- Universidade Federal do Pará (2)
- Universidade Federal do Rio Grande do Norte (UFRN) (11)
- Universidade Metodista de São Paulo (7)
- Universitat de Girona, Spain (3)
- Universitätsbibliothek Kassel, Universität Kassel, Germany (2)
- Université de Lausanne, Switzerland (2)
- Université de Montréal, Canada (11)
- Université Laval Mémoires et thèses électroniques (1)
- University of Michigan (51)
- University of Queensland eSpace - Australia (12)
- University of Washington (1)
- WestminsterResearch - UK (5)
Resumo:
Résumé : Le transistor monoélectronique (SET) est un dispositif nanoélectronique très attractif à cause de son ultra-basse consommation d’énergie et sa forte densité d’intégration, mais il n’a pas les capacités suffisantes pour pouvoir remplacer complètement la technologie CMOS. Cependant, la combinaison de la technologie SET avec celle du CMOS est une voie intéressante puisqu’elle permet de profiter des forces de chacune, afin d’obtenir des circuits avec des fonctionnalités additionnelles et uniques. Cette thèse porte sur l’intégration 3D monolithique de nanodispositifs dans le back-end-of-line (BEOL) d’une puce CMOS. Cette approche permet d’obtenir des circuits hybrides et de donner une valeur ajoutée aux puces CMOS actuelles sans altérer le procédé de fabrication du niveau des transistors MOS. L’étude se base sur le procédé nanodamascène classique développé à l’UdeS qui a permis la fabrication de dispositifs nanoélectroniques sur un substrat de SiO2. Ce document présente les travaux réalisés sur l’optimisation du procédé de fabrication nanodamascène, afin de le rendre compatible avec le BEOL de circuits CMOS. Des procédés de gravure plasma adaptés à la fabrication de nanostructures métalliques et diélectriques sont ainsi développés. Le nouveau procédé nanodamascène inverse a permis de fabriquer des jonctions MIM et des SET métalliques sur une couche de SiO2. Les caractérisations électriques de MIM et de SET formés avec des jonctions TiN/Al2O3 ont permis de démontrer la présence de pièges dans les jonctions et la fonctionnalité d’un SET à basse température (1,5 K). Le transfert de ce procédé sur CMOS et le procédé d’interconnexions verticales sont aussi développés par la suite. Finalement, un circuit 3D composé d’un nanofil de titane connecté verticalement à un transistor MOS est réalisé et caractérisé avec succès. Les résultats obtenus lors de cette thèse permettent de valider la possibilité de co-intégrer verticalement des dispositifs nanoélectroniques avec une technologie CMOS, en utilisant un procédé de fabrication compatible.