Modeling and optimization of semiconductor manufacturing process with neural networks

A neural network-based process model is proposed to optimize the semiconductor manufacturing process. Being different from some works in several research groups which developed neural network-based models to predict process quality with a set of process variables of only single manufacturing step, we applied this model to wafer fabrication parameters control and wafer lot yield optimization. The original data are collected from a wafer fabrication line, including technological parameters and wafer test results. The wafer lot yield is taken as the optimization target. Learning from historical technological records and wafer test results, the model can predict the wafer yield. To eliminate the "bad" or noisy samples from the sample set, an experimental method was used to determine the number of hidden units so that both good learning ability and prediction capability can be obtained.

Polarization multiplexed write-once-read-many optical data storage in bacteriorhodopsin films

In polymeric films of bacteriorhodopsin (BR) a photoconversion product, which was named the F620 state, was observed on excitation of the film with 532 nm nanosecond laser pulses. This photoproduct shows a strong nonlinear absorption. Such BR films can be used for write-once-read-many (WORM) optical data storage. We demonstrate that a photoproduct similar or even identical to that obtained with nanosecond pulses is generated on excitation with 532 mn femtosecond pulses. This photoproduct also shows strong anisotropic absorption, which facilitates polarization storage of data. The product is thermally stable and is irretrievable to the initial B state either by photochemical reaction or through a thermal pathway. The experimental results indicate that the product is formed by a two-photon absorption process. Optical WORM storage is demonstrated by use of two polarization states, but more polarization states may be used. The combination of polarization data multiplexing and extremely short recording time in the femtosecond range enables very high data volumes to be stored within a very short time. (c) 2005 Optical Society of America.

Numerical Simulation of Heat Transfer and Kinetics in the Bulk Growth of Silicon Carbide

The growth process of 2-inch silicon carbide (SiC) single crystals by the physical vapor transport method (or modified Lely method) has been modeled and simulated. The comprehensive process model incorporates the calculations of radio frequency (RF) induction heating, heat and mass transfer and growth kinetics. The transport equations for electromagnetic field, heat transfer, and species transport are solved using a finite volume-based numerical scheme called MASTRAPP (Multizone Adaptive Scheme for Transport and Phase Change Process). Temperature distribution for a 2-inch growth system is calculated, and the effects of induction heating frequency and current on the temperature distribution and growth rate are investigated. The predicted results have been compared with the experimental data.

中国主要森林生态系统碳储量和碳收支评估

森林作为陆地生态系统中主要的植被类型在全球碳循环研究中有着十分重要的作用，而森林资源清样调查资料以其系统性、科学性、连续性等优点在森林生态系统碳循环研究中具有十分重要的地位。本研究以中国主要森林植被类型为研究对象，基于中国森林资源清样调查资料（FID），采用建立的生物气候生产力模型和反映林龄和蓄积量共同影响的生产力回归模型分别估计了中国油松林和主要造林树种的生产力;利用改进的材积源生物量法估算了中国主要森林植被类型的碳储量;并基于多元线性回归方法和因子分析法探讨了林业用地以及气候因子对中国森林植被碳储量的影响;同时，结合生物地球化学循环模型CENTURY模型评估了中国森林生态系统的碳收支。主要研究结果如下： 1建立了中国油松林生物气候生产力模型NPPa=［0.331n（V／A）+0.18］*3000（1-e-0.00096‘哪，根据油松林的森林资源清样调查资料和气候资料估算的中国油松林生产力平均为7.82Mg•ha-1•yr-1，其变化幅度为3.32-11.87Mg•ha-1•yr-1，其分布表现为南高北低的趋势。生产力较高的区域主要分布在东部和南部（四川、湖北、河南、辽宁等省），均大于7.7Mg•ha-1•yr-1;生产力较低的区域主要分布在北部和西部较为干旱的区域（内蒙古），NPP均低于5.5Mg•ha-1•yr-1：油松林集中分布区（陕西、山西）生产力处于中等水平，在5.5-7.7Mg•ha-1•yr-1之间。 2基于森林资源清样调查资料评估了中国五种主要造林树种（落叶松Larix，油松Pinusstabulaeformis，马尾松Pinusmassoniana，杉木Cunninghamialanceolata，杨树Populus）的生产力，分别为8.43、5.75、4.42、4.41、7.33Mg•ha-1•yr-1，低于世界平均生产力水平，主要原因可能是这五种造林树种大都处于未成熟阶段，表明中国造林树种在提高中国森林生态系统的固碳能力方面有很大的潜力。 3基于两次（第三次和第四次）森林资源清查资料和改进的材积源生物量法评估了中国森林的碳储量，分别为3.48和3.78PgC（1Pg＝1015g）。 基于多元线性回归模型探讨了林业用地变化对森林植被碳储量的影响。分析表明：在森林平均林龄减小的情况下，森林植被碳储量有增加的趋势;而森林碳储量随森林面积的增加而增加。当平均林龄增加10年，全国森林面积增加1*104ha时，全国森林植被的碳储量将增加54.51Tg（1Tg＝1012g），表明我国森林植被碳储量取决于自然和人为因素共同作用。 采用因子分析方法探讨了气候变化对森林植被碳储量的影响，分析表明：气温是森林植被碳储量的主要限制因子。当气温升高时，森林植被碳储量有降低的趋势;降水与森林植被碳储量呈正相关，随降水的增加森林植被碳储量增加。在年均温升高4℃，年降水量增加10％;年均温升高4℃，年降水量不变;年均温升高4℃，年降水量减少10％三种气候变化情景下，我国森林植被碳储量的增加量分别为：9.19Tg、6.67Tg和4.15Tg。 4基于生物地球化学循环模型模拟的中国森林生态系统的碳收支为0.17PgC，中国森林表现为一个巨大的碳汇。其中，西南地区森林碳收支占44％，华东及西北地区的森林碳收支总和不足14%。

一种基于Agent的自适应软件过程模型

传统的软件过程模型大多是静态的、机械的、被动的,它们要求软件工程人员在描述软件过程时预期所有可能发生的情况,并且显式地定义这些问题的解决方案.当软件过程所处的环境发生变化时,软件过程无法自适应地对这些变更作出相应的调整.提出了一种基于Agent的自适应软件过程模型.在这种软件过程模型中,软件过程被描述为一组相互独立而对等的实体——软件过程Agent.这些软件过程Agent能够对软件过程环境的变化主动地、自治地作出反应,动态地确定和变更其行为以实现软件开发的目标.

一种基于模型融合的CMM实施过程建模方法

提出了一种基于模型融合的CMM实施过程建模方法.该方法使用软件过程工程元模型SPEM建立CMM过程模型CPM和企业过程模型EPM,通过融合CPM和EPM来获得CMM实施过程模型C IPM.文中利用带标记的有向图描述过程模型,给出了模型融合方法,并进行了一致性证明.最后通过一个过程模型融合原型工具和实例说明了方法的应用情况.

基于模拟的企业过程模型自动优化技术研究

企业过程模型参数自动优化是一个多参数多目标的系统优化问题.采用线性加权法将其转换成多参数单目标问题的求解,提出基于计算机模拟的企业过程模型参数的自动寻优方法.它将传统的共轭梯度法FR（fletcher reeves）和禁忌搜索算法TS（tabu search）结合起来,采用FR法进行局部寻优,由TS法实现从当前局部最优点向全域范围内的更优区域转移,循环往复达到求出全域范围最优点的目的.改进了FR法与TS法,克服了各自的缺陷,并提出禁忌区域表的概念,从而加速寻优过程.它适用于任意多维曲面的多极值问题最优求解,对企业进行BPR（business process reengineering）和实施ERP（enterprise resource planning）管理有较大的指导意义.

一种基于XML的工作流过程模型的设计和实现

1.引言面对数字经济时代带来的不断增长的竞争压力,企业逐步寻求新的商业运作模式以适应这种变化。随着信息技术和Internet技术的迅猛发展,为适应这种变化提供了条件。企业不再满足于孤立、零散的办公自动化和计算机应用,而是需要综合的、集成化的解决方案。作为一种对常规性事务进行管理、集成的技术,工作流管理系统(Workflow ManagementSystem,WMS)的出现是必然的。如何建立企业业务过程模型是工作流管理系统的核心问题。

用计算机辅助创新软件解决产品技术创新问题的研究

本文简要介绍了发明问题解决理论TRIZ和机算机辅助创新软件Pro/Innovator的主要内容,建立了基于创新理论TRIZ和CAI软件的创新问题解决流程模型,作为特例建立了Pro/Innovator1.0的简化流程图,最后用软件完成了一个工程实例问题的创新设计。

基于智能可重构装配线制造系统的产品装配序列规划研究

研究了基于智能装配单元的可重构装配线制造系统环境中的产品装配建模方法与装配序列表达机制,提出由产品层次装配模型与生产线装配工艺齿状结构描述相结合的重构装配线装配序列规划与表达方法。

基于PMAC开放式数控系统软件开发

基于PC和多轴运动控制器的开放式数控系统是理想的开放式数控系统。介绍了基于PMAC的开放式数控系统结构形式,PMAC的差补、位置控制、伺服功能、以PMAC和PC机为硬件平台搭建了数控系统,并对其硬件构成和软件设计结构进行了分析。着重从软件设计的角度,介绍了PTALK控件的功能和作用,对数控系统软件构成进行了详细的阐述。并设计出了友好的用户界面,在实际应用中具有重要意义。

卷烟厂制丝线生产过程建模与计划仿真

对当前卷烟厂制丝线计划与调度管理中存在的不足进行了介绍,并在建立制丝生产线生产过程模型的基础上,提出了用于解决问题的计划仿真系统,对所采用的仿真策略进行了详细介绍。采用这一策略实现的仿真系统能够很方便的适应于其他行业类型的仿真。

基于时间Petri网的制造过程模型研究

分析了时间Petri网的激发规则、托肯可用时间和抑制弧等特性,以及制造过程中随机故障的特征。提出不同的时间关联方式对应的多种建模方法,考虑不同的故障发现模式、不同的作业处理策略,建立相应的单机制造过程模型。在此基础上采用模块化和层次化方法可以构建复杂制造过程的时间着色Petri网模型,并可以转换成仿真模型,进一步分析随机机器故障对制造过程性能的影响。