光刻机硅片表面不平度原位检测技术

随着光刻特征尺寸的不断减小，硅片表面不平度对光刻性能的影响越来越显著．该文提出了一种新的硅片表面不平度的原位检测技术本文在分析特殊测试标记成像规律的基础上，讨论了测试标记的对准位置偏移量与硅片袁面起伏高度的变化规律，提出了一种新的硅片表面不平度原位检测技术．实验表明，该技术可实现硅片表面不平度及硅片表面形貌的高准确度原位测量．该技术考虑了光刻机承片台吸附力的非均匀性对硅片表面不平度的影响，更真实反映曝光工作状态下的硅片表面不平度大小．与现有的原位检测方法相比，硅片表面不平度的测量空间分辨率提高了1．67％

武汉东湖的轮虫

本文根据1973—1975、1979—1982年在武汉东湖进行的调查资料,并与1962—1963年他人的研究结果对比,总结了20年来,在东湖2个采样站上轮虫的种类演替和数量的变动。轮虫的种类明显地减少。Ⅰ站由1962—1963年的68种至1982年减为44种;Ⅱ站由56种减为49种。由原来Ⅰ站种类多于Ⅱ站演变为Ⅱ站多于Ⅰ站。轮虫的数量急剧增加。Ⅰ站轮虫的年平均值由1962—1963年的687个/升至1982年上升为3,555个/升;Ⅱ站由332个/升上升为1,538个/升。轮虫总数的变动曲线呈夏季和秋季二

武汉东湖浮游动物数量和生物量变动的研究

本文报道了东湖Ⅰ、Ⅱ站1974—1975,1979—1980四个周年浮游动物种类组成和现存量的调查结果。束湖浮游动物的种类在减少,Ⅰ、Ⅱ站间种类组成的差别亦在缩小。浮游动物现存量的总趋势为逐渐增加。年数量变动曲线一般有夏季和秋季两个高峰,秋季高峰比夏季高峰更为突出。浮游动物总数的消长完全受原生动物数量的支配。年生物量的变动曲线不甚规则,不同的年份,Ⅰ、Ⅱ站均有所不同,以冬、春两季的生物量较高。四年年平均生物量统计结果:Ⅰ站原生动物占浮游动物总量的18.93%,轮虫占25.25%,枝角类占46.02%,桡足

中国树鼩的寄生虫调查研究

树鼩是一种新开发的小型实验动物. 研究树鼩的寄生虫对保护树鼩群体, 保证准确的实验结果, 以及寻找人类疾病的动物模型等方面都有着重要的实用意义和理论意义. 关于缅甸、越南、婆罗洲、马来西亚、马来亚、印度、和印度尼西亚树鼩的体内外寄生虫研究, 国外学者已作过许多研究(Dunn, 1963, 1964; Van Peenen等, 1967;Durette-Desset等, 1975, 1981; File, 1974; Quentin等, 1975, 1977; Chabaud等, 1975;Ohbayashi等, 1983; Betteron等, 1977; Betterton, 1979, 1980; Myers, 1960; Orihel, 1966; Nandi, 1982; Manning等, 1972; Mallin等, 1972; Schmidt等, 1977; Houdemer, 1938; Heyneman 等, 1965; Jordan,1926; Durden 等, 1984)。

水污染对鱼类生态毒理影响研究的新进展

<正> 随着水污染的日趋严重,为适应水质监测、渔业等方面的需要,近年来,鱼类生态毒理学研究得到了迅速发展。有关鱼类生态毒理研究的进展情况,已分别有人就1975、1978年及1978～1979年作过综述报导。在此,作者对1984～1986年的鱼类生态毒理研究新进展作一综述。 一、概述 第二届国际海洋生物对污染物反应讨论会于1983年4月27日在美国明尼苏达州Woods Hole召开’会后由Stegeman,J.J.编辑出版了论文集《海洋生物对污染物

水污染对鱼类生态毒理影响研究进展(上)

<正> 关于水污染的生态研究,我所于1975、1978年已有两次综述报导。现就1978—1979年有关水污染对鱼类生态毒理影响的研究进展,分为概述、急性毒性、亚急性毒性、慢性毒性、模式和模拟研究等五个部份综述如下。

武汉东湖浮游植物的演变(1956-1975年)和富营养化问题

本文根据1956—1957、1962—1963和1973—1975年在湖北省武汉市东湖进行的三次调查资料,总结了过去二十年内在东湖两个代表性采样站上浮游植物群落生态学的主要变化(包括数量、种类组成、优势种类、多样性指数和初级生产力)。年平均总数在二十年内由每毫升几百个增为几千个。由甲藻和硅藻占优势逐步转变为以绿藻和蓝藻占优势,蓝藻中的大型种类明显增加。年数量变动曲线原来呈春季和秋季两个高峰,但60年代后,已变为夏、秋季的一个蓝藻高峰,而且数量大,延续时间长。浮游植物的年初级生产量和日最高初级生产量也有明显

西藏冰川上线蚓科一新属新种

<正> 1973—1975年间,中国科学院青藏高原综合科学考察队在西藏自治区波密县易贡若果冰川(海拔4600公尺)等地,采到这种冰蚯蚓。冰蚯蚓标本分别承中国科学院水生生物研究所曹文萱副教授和南京大学地理学系王富葆副教授送交我们进行分类研究;冰蚯蚓的显微摄影工作得到中国科学院水生生物研究所蒋燮治副教授的热情指导和该所何楚华、郑英两同志的大力协助,特此一并致以谢意。 冰蚯蚓标本共82条。其中成熟的个体为52条,9条分别用作横切、纵切和矢切玻片进行观察。10条用于解剖观察,我们认为这种冰蚯蚓确为一新属、新种,兹

环境生物学的回顾与展望

<正> 新中国成立后,在环境生物学方面开展了一些科学研究和调查工作,1973年第一次全国环境保护工作会议以后,这方面的工作有较多的开展,全国的大专院校、卫生部门、农业(包括林业和水产)的科学研究和生产单位、工业方面的科研设计单位和工矿企业,以及中国科学院的有关研究所,都开展了工作,不论在污染生态的调查和生物监测,生态毒理学领域的各项研究,还是生物处理废水、污水方面,都取得了一定成绩,这里特别值得提出的,中国科学院曾委托水生生物研究所分别于1975年10月及1978年2月在武汉举行过“环境保护生物监测与治理